周涛

作品数：4被引量：6H指数：2
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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：立方氮化硼薄膜光学带隙氮化硼薄膜离子注入红外光谱研究更多>>
发文领域：理学一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《物理学报》《Journal of Semiconductors》《光散射学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金北京市属高等学校人才强教计划资助项目更多>>
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立方氮化硼薄膜的光学带隙被引量：3
《物理学报》2008年第10期6631-6635,共5页邓金祥 汪旭洋 姚倩 周涛 张晓康 
北京市自然科学基金(批准号:4072007);国家自然科学基金(批准号:60376007);北京市属市管高等学校人才强教计划资助的课题~~
用射频溅射法在p型Si(100)衬底上沉积立方氮化硼(c-BN)薄膜,薄膜的成分由傅里叶变换红外谱标识,用紫外-可见分光光度计测量了c-BN薄膜的反射光谱,利用K-K(Kramers-Kroning)关系从反射谱计算出c-BN薄膜的光吸收系数,进而确定c-BN薄膜的...
关键词：立方氮化硼薄膜 光学带隙 K-K关系 
氮化硼薄膜的红外光谱研究被引量：2
《光散射学报》2008年第1期56-59,共4页邓金祥 王瑶 张晓康 周涛 汪旭洋 姚倩 陈光华 
北京市自然科学基金资助项目(项目编号:4072007);国家自然科学基金资助项目(项目编号:60376007);北京市属市管高等学校人才强教计划资助项目
用磁控溅射法制备六角氮化硼薄膜,在衬底温度、衬底偏压、工作气压等条件一定的情况下改变工作气体(氮气+氩气)中氮气的比例,以制备高质量的六角氮化硼薄膜,薄膜以红外吸收光谱标识。实验结果表明,工作气体中氮气的比例对制得的六角氮...
关键词：氮化硼薄膜 红外光谱 氮气比例 
立方氮化硼薄膜沉积过程的相变研究被引量：1
《物理学报》2007年第6期3418-3427,共10页陈浩 邓金祥 刘钧锴 周涛 张岩 陈光华 
国家自然科学基金(批准号:60376007)资助的课题~~
从能量和结构两个角度分析了BN四种相的转变过程,以及杂质和缺陷对立方氮化硼(c-BN)薄膜制备的影响.研究了从六角氮化硼(h-BN)到c-BN转变的一个可能的过程,即h-BN→菱形氮化硼(r-BN)→c-BN过程.对纯的h-BN到r-BN的转变需要克服一个很高...
关键词：立方氮化硼 能量势垒 缺陷 衬底偏压 
氮化硼薄膜的制备和离子注入掺杂
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期127-130,共4页邓金祥 陈浩 刘钧锴 田凌 张岩 周涛 何斌 陈光华 王波 严辉 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60376007)
通常人们对氮化硼薄膜的S掺杂,采用的是在氮化硼制备过程中就地掺杂的方法,文中则采用S离子注入方法.氮化硼薄膜用射频溅射法制得.实验结果表明,在氮化硼薄膜中注入S,可以实现氮化硼薄膜的n型掺杂;随着注入剂量的增加,氮化硼薄膜的电阻...
关键词：氮化硼薄膜 N型掺杂 离子注入 
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