胡晓珍

作品数：18被引量：53H指数：5
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供职机构：浙江海洋学院更多>>
发文主题：超精密超光滑表面硅晶片抛光直接数字控制更多>>
发文领域：金属学及工艺机械工程自动化与计算机技术动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《新技术新工艺》《应用力学学报》《可再生能源》《机械工程师》更多>>
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硬质PVC结皮发泡板生产装备结构设计被引量：1
《新技术新工艺》2014年第10期48-51,共4页胡晓珍 倪汉江 
浙江省教育厅项目(Y200906632);舟山市科技局资助项目(091016)
硬质PVC结皮发泡板需求量大、应用广。但由于PVC结皮发泡成型困难,限制了该生产线的开发。本文基于硬质PVC结皮发泡板挤出技术的研究,对生产线进行了总体方案布置,对生产线的挤出机动力传动系统、机筒和螺杆、冷却定型系统和牵引切割系...
关键词：PVC发泡板 生产装备 结构设计 
硬质PVC结皮发泡板的加工工艺研究被引量：1
《机械工程师》2014年第4期5-7,共3页胡晓珍 倪汉江 
浙江省教育厅项目(Y200906632);舟山市科技局项目(091016)
介绍了硬质PVC结皮发泡板材生产工艺流程,讨论了螺杆转速、挤出温度、挤出压力及机头、口模、冷却定型模结构等影响板材质量的主要工艺因素。采用新开发的硬质PVC板材生产设备,设置相对应的结皮发泡加工工艺参数,生产出具有优良性能的硬...
关键词：PVC 发泡板 加工工艺 
机构运动创新实验虚实方法的对比研究
《机械工程师》2014年第1期4-6,共3页马泽九 蔡立山 胡晓珍 
为提高实验开设的效率,高校采用"虚拟实验-实物实验"的方式开设机构运动方案创新设计实验。但虚拟实验结果指导实物实验的可靠性还有待验证。文中设计了一套基于Pro/E的虚拟装配实验系统,并采用M echanism模块进行机构运动仿真分析,虚...
关键词：机构运动 创新设计 虚拟实验 PRO E 
机械设计类课程设计的教学探索与实践被引量：4
《机械管理开发》2012年第2期153-154,156,共3页胡晓珍 
浙江海洋学院高等教育教学改革研究基金资助项目(200930)
机械设计类课程设计是机械专业必不可少的重要实践环节,提高课程设计的教学质量,对培养学生分析和解决工程设计问题的能力起着十分重要的作用。对于如何提高机械设计类课程设计的教学质量,从更新设计题目、改善设计环境、改变设计手段...
关键词：机械设计 课程设计 教学实践 
高精度大尺寸硅晶片的双面研磨抛光机改进设计被引量：6
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》2010年第6期586-590,共5页陈毓 胡晓珍 李伟 
随着IC设计技术和制造技术的发展和进步,集成电路芯片的集成度在不断提高,芯片密度呈指数增长趋势。硅晶片作为集成电路芯片的主要材料,尺寸越来越大。在分析国内双面抛光机典型机型原理和特点的基础上,针对运用于大尺寸甚至是直径400 m...
关键词：大尺寸硅晶片 高精度 双面研磨抛光机 改进设计 
新型恒速变向平动双面抛光机设计被引量：1
《新技术新工艺》2009年第5期49-52,共4页胡晓珍 陈毓 李伟 
常用行星式双面抛光机中工件及载体的内外缘速差会引起抛光垫变形,降低晶片平面度。本文设计了一种圆平动或摆动式新型双面抛光机,其工件平面相对于抛光盘的运动速度大小恒定,方向沿圆周轨迹的切线方向循序渐变,且能把抛光压力均匀压在...
关键词：恒速 变向 双面抛光机 
硅晶片抛光加工工艺的实验研究被引量：6
《机械设计与制造》2009年第4期139-141,共3页胡晓珍 李伟 
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加工,实验研究了不同加工参数对桂晶片表面粗糙度和材料去...
关键词：双面抛光 硅晶片 超光滑表面 加工工艺 
纳米级双面抛光机控制系统设计
《机床与液压》2009年第8期112-115,共4页胡晓珍 胡晓冬 李伟 
浙江省自然科学基金项目(M503049);浙江省科技厅重点项目(2004C21007);舟山市科技局项目(05114)
设计了纳米级双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台,图形化界面功能指示、高可靠性的实时操作系统、高精度光栅传感器、压力传感器...
关键词：超精密 双面抛光机 直接数字控制 
超精密双面抛光机结构的优化设计被引量：9
《制造技术与机床》2009年第3期54-57,共4页胡晓珍 李伟 
浙江省自然科学基金(M503049);浙江省科技厅重点项目(2004C21007);舟山市科技局项目(05114)
针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计。提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光...
关键词：超精密加工 双面抛光机 优化设计 
硅晶片抛光加工工艺的试验研究被引量：3
《新技术新工艺》2008年第4期41-43,共3页胡晓珍 李伟 
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工艺路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加工,通过试验,研究了不同加工参数对硅晶片表面粗...
关键词：双面抛光 硅晶片 超光滑表面 加工工艺 
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