云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 仝召民

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Mechanic-Electric Coupling Characteristics of a Resonant Tunneling Diode: 《Journal of Semiconductors》2008年第10期1907-1912,共6页仝召民薛晨阳林沂杰陈尚; 国家自然科学基金(批准号:50535030,50775209);新世纪优秀人才支持计划资助项目~~; This paper reports the piezoresistive effect of a resonant tunneling diode （RTD） in a microstructure. The fourbeam structure is analyzed and fabricated by positing RTDs at the stress sensitive regions. Stress along ...; 关键词：piezoresistive effect RTD NDR mechanic-electric coupling

介观压阻效应及器件被引量：3: 《机械工程学报》2008年第11期26-33,共8页张文栋熊继军薛晨阳张斌珍仝召民; 国家自然科学基金(50405025;50535030);新世纪优秀人才支持计划(NCET)资助项目。; 介绍GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述介观压阻效应的四个过程,结合空气桥结构和欧姆接触技术,在[001]晶向半绝缘GaAs衬底上加工出来了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构(Resonan...; 关键词：介观压阻效应共振隧穿结构纳机电

基于SiCl_4/SF_6的GaAs/AlAs ICP选择性干法刻蚀: 《Journal of Semiconductors》2008年第6期1194-1197,共4页仝召民薛晨阳张斌珍王勇张文栋张雄文; 国家自然科学基金资助项目(批准号:50775209;50535030)~~; 报道了GaAs/AlAs的电感耦合等离子体(ICP)选择性干法刻蚀,刻蚀气体为SiCl4/SF6混合物.研究了在不同SiCl4/SF6气体配比、RF偏压电源功率和气室压力下,GaAs,AlAs的平均刻蚀速率与二者的选择比.合适的SiCl4/SF6气体比例(15/5sccm),低的RF...; 关键词：GAAS/ALAS ICP 选择性干法刻蚀 SiCl4/SF6

基于AlAs/InGaAs/GaAs共振隧穿效应的纳机电声传感器研制: 《功能材料与器件学报》2008年第1期23-27,共5页仝召民薛晨阳张斌珍刘俊乔慧郭慧芳; 国家自然科学基金资助项目(No.50405025No.50535030); 本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计。在加工工艺上,采用双空气桥技术和Au/Ge/Ni合金膜系欧姆接触技术有效降低了电容、电...; 关键词：AlAs/InGaAs/GaAs 拍子声传感器共振隧穿结构

RTD’s Relaxation Oscillation Characteristics with Applied Pressure被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2008年第1期39-44,共6页仝召民薛晨阳张斌珍刘俊乔慧; 国家自然科学基金资助项目(批准号:50405025,50535030)~~; The relaxation oscillation characteristics of a resonant tunneling diode （RTD） with applied pressure are reported. The oscillation circuit is simulated and designed by Pspice 8. 0, and the measured oscillation frequ...; 关键词：resonant tunneling diode relaxation oscillation Raman spectrum piezoresistive effect

基于GaAs/AlAs腐蚀自停止的新型水听器工艺被引量：1: 《纳米技术与精密工程》2007年第3期230-234,共5页仝召民薛晨阳张斌珍王勇; 国家自然科学基金资助项目(50405025;50535030); 针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点,进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠檬酸(C6H8O7.H2O)溶液与30%双氧水(H2O2)的混合物,当二...; 关键词：GAAS/ALAS 选择性湿法腐蚀一水柠檬酸 ANSYS

基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究被引量：5: 《传感技术学报》2006年第05B期2293-2296,共4页张文栋王建薛晨阳熊继军张斌珍仝召民; 国家自然科学基金资助(50405025;50375050); 实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于...; 关键词：RTD振荡器压力-频率特性 GAAS 悬臂式声传感器

基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制被引量：4: 《传感技术学报》2006年第05B期1844-1846,1851,共4页王建张文栋薛晨阳熊继军张斌珍仝召民; 国家自然科学基金资助(50405025;50375050); 为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传...; 关键词：共振隧穿二极管 GAAS 压力传感器控制孔工艺

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