史鹏

作品数：5被引量：19H指数：2
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发文主题：热电偶薄膜热电偶先驱体铌酸钾钠薄膜型更多>>
发文领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《半导体光电》《压电与声光》《科学通报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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基片温度对基于Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的ZnO基TFT性能的影响
《半导体光电》2016年第3期331-337,共7页叶伟 任巍 史鹏 
国家自然科学基金项目(51332003,51202184);中国国际科学技术合作项目(2010DFB13640,2011DFA51880);中国“111工程”项目(B14040)
在不同基片温度(RT、300、400、500和600℃)下,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜和BZN薄膜。研究表明,所制备的BZN薄膜拥有非晶态结构,ZnO薄膜具有c轴择优取向,在基片温度为500℃时,获得低的漏电流(10-7 A/cm^2),比RT时的漏电流(10-4 A/...
关键词：铋基焦绿石BZN薄膜 ZnO基薄膜晶体管 射频磁控溅射 界面态密度 亚阈值摆幅 
太阳能电池的最终效率探讨被引量：11
《科学通报》2016年第9期964-970,共7页钱志成 戴晓 史鹏 尹万健 娄艳辉 邹贵付 
太阳能电池利用光伏效应将太阳能直接转换为电能,拥有可再生、清洁、安全、寿命长等优点,被认为是最有前途的可再生能源技术之一.虽然光电转化效率在10%~18%的太阳能电池已经实现大规模产业化应用,但如何进一步提升太阳能电池的光电转...
关键词：太阳能电池 转换效率 带隙 
BST薄膜的反应离子刻蚀研究
《压电与声光》2006年第1期64-66,共3页史鹏 姚熹 
国家科技部"九七三"计划基金资助项目(2002CB613305);中国-以色列国际合作基金资助项目
钙钛矿结构的钛酸锶钡(BST)薄膜作为优良的介电、铁电材料在新一代的微机械系统(MEMS)、动态存储器(DRAM)及其他器件上的广泛应用,使得BST薄膜的刻蚀特性越来越重要。该文利用反应离子刻蚀装置,研究了溶胶-凝胶工艺制备的钛酸锶钡薄膜在...
关键词：钛酸锶钡(BST) 薄膜 反应离子刻蚀 CHF3 
聚乙烯吡咯烷酮为稳定剂的PZT厚膜制备与性能被引量：2
《空军工程大学学报（自然科学版）》2005年第3期82-84,共3页车俊 姚熹 史鹏 
"973"计划资助项目(2002CB613305)
介绍了通过添加聚乙烯吡咯烷酮(PVP)制备PZT厚膜的方法。采用溶胶凝胶工艺,在700℃快速热处理4层即可获得厚度为1μm,表面平整没有裂纹的PZT厚膜。对PVP的作用机理进行分析,同时对厚膜的结构形貌和电性能进行研究测试。厚膜呈完全钙钛...
关键词：PZT 厚膜 铁电性能 PVP 溶胶-凝胶 
PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展被引量：6
《压电与声光》2003年第5期386-389,共4页史鹏 姚熹 吴小清 张良莹 
国家"八六三"基金(715-002-0250);西安交通大学培植项目"复合铁电薄膜红外探测器阵列"和"中国-以色列国际合作项目"
PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用,并对各种刻蚀法进行分析和对比。
关键词：PZT 铁电薄膜 刻蚀 微图形 
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