张琳琳

作品数：5被引量：18H指数：2
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供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：磁控溅射TIN薄膜TIN反应磁控溅射ALN薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《天津师范大学学报（自然科学版）》《稀有金属》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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采用不同功率溅射制备氧化钛薄膜的研究
《天津师范大学学报（自然科学版）》2012年第1期31-34,38,共5页王丽格 黄美东 李洪玉 张琳琳 佟莉娜 杜姗 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学创新计划资助项目(52X09038)
常温下,利用射频(RF)反应磁控溅射方法在K9双面抛光玻璃基底上沉积氧化钛薄膜.采用光栅光谱仪对薄膜样品的透射谱进行测试,通过椭圆偏振光谱仪测试并拟合得到薄膜的厚度、折射率和消光系数等光学参数,借助掠入射角X-射线衍射对薄膜的结...
关键词：溅射功率 磁控溅射 氧化钛薄膜 光学性能 
基底温度对反应磁控溅射氮化铝薄膜的影响被引量：2
《稀有金属》2011年第5期715-718,共4页黄美东 张琳琳 王丽格 佟莉娜 李晓娜 董闯 
国家自然科学基金(61078059);教育部留学回国科研启动基金(52LB01)资助项目
采用反应磁控溅射法结合加热控温电源,在光学玻璃基底上制备氮化铝(AlN)薄膜,通过X射线衍射(XRD)技术对薄膜样品物相结构进行分析,利用纳米压痕仪测试薄膜样品的硬度及弹性模量,用椭圆偏振仪及光栅光谱仪测试了薄膜样品的光学性能,分析...
关键词：氮化铝薄膜 基底温度 反应磁控溅射法 
磁控溅射与电弧离子镀制备TiN薄膜的比较被引量：14
《天津师范大学学报（自然科学版）》2011年第2期32-37,共6页李鹏 黄美东 佟莉娜 张琳琳 王丽格 李晓娜 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038)
分别采用磁控溅射和电弧离子镀在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面沉积TiN膜层,利用纳米力学系统、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜进行测试,比较了两种方法所制备的薄膜的异同.结果表明:磁控溅射所制备的薄膜表面平整,但沉...
关键词：TIN 磁控溅射 电弧离子镀 
负偏压对反应磁控溅射AlN薄膜的影响被引量：1
《天津师范大学学报（自然科学版）》2011年第2期38-41,共4页张琳琳 黄美东 李鹏 王丽格 佟莉娜 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学推进计划资助项目(52X09038)
利用反应磁控溅射制备AlN薄膜,研究了基底负偏压对薄膜结构及其性能的影响.XRD和SEM结果表明:用此方法获得的AlN薄膜呈晶态,负偏压对AlN择优取向产生一定的影响,随着偏压的增大,薄膜表面晶粒尺寸有长大趋势.根据透射谱测试和包络线计算...
关键词：ALN薄膜 基底负偏压 反应磁控溅射法 
溅射沉积TiO_2薄膜结构及性能的基础研究被引量：1
《天津师范大学学报（自然科学版）》2010年第1期33-36,共4页吉亚萍 张琳琳 李鹏 侯兴刚 黄美东 
教育部留学回国科研启动基金资助项目(2008);天津师范大学中青年教师学术创新资助项目(52X09038)
采用超高真空反应射频磁控溅射方法,利用高纯Ti靶在光学玻璃基底上制备具有一定厚度的TiO2薄膜样品.通过扫描探针显微镜对其表面形貌进行观测和分析,利用XRD初步探讨了退火对薄膜结构及其透射率的影响,并研究了不同O2/Ar流量比对薄膜沉...
关键词：磁控溅射 TIO2薄膜 退火 
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