曾建明

作品数：4被引量：8H指数：2
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室更多>>
发文主题：铁电薄膜铂底电极织构常压更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》《压电与声光》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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O^+注入SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的研究
《压电与声光》1999年第3期214-218,共5页曾建明 林成鲁 郑立荣 
国家"八六三"计划
研究了Ｈ＋注入对ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９（ＳＢＴ）铁电薄膜的晶体结构和电学性质的影响，并与含氢气氛退火作了比较，进而研究了Ｏ＋注入对ＳＢＴ铁电薄膜电学性质的影响。发现室温Ｏ＋注入，由于较严重的晶格损伤的存在，ＳＢＴ铁电薄...
关键词：集成铁电 离子注入 铁电薄膜 热靶注入 
不同工艺制备的铁电薄膜底电极Pt/Ti被引量：5
《稀有金属材料与工程》1999年第5期305-309,共5页宋志棠 曾建明 高剑侠 张苗 林成鲁 
国家"863"!715-002-0110;国家自然科学基金!6973020
采用高真空电子束蒸发与直流溅射在SiO2／Si基底上制备Pt／Ti底电极，对Pt／Ti在不同热处理温度下的结构与形貌进行对比研究。结果表明：由于采用不同的制备工艺，Pt晶粒在成核与生长方式上有所不同，导致了Pt薄膜在结构与形貌的差异。...
关键词：薄膜 织构 底电极 铁电薄膜 铂 
钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究
《压电与声光》1999年第2期131-135,共5页曾建明 张苗 高剑侠 宋志棠 郑立荣 王连卫 林成鲁 
国家"八六三"计划资助
在室温下，采用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）技术在７．６２ｃｍＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）衬底上制备了钛酸铋（Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２）薄膜。Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２薄膜的厚度和组分均匀性采用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）和扩展电阻技术...
关键词：脉冲激光沉积 钛酸铋薄膜 SRP RBS 铁电薄膜 
钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究被引量：3
《功能材料与器件学报》1997年第2期129-135,共7页曾建明 王弘 王民 尚淑霞 王卓 程建功 林成鲁 
本文报道了用常压金属有机化学气相沉积（ＡＰＭＯＣＶＤ）法在Ｓｉ衬底上制备高质量的钛酸钡铁电薄膜。钡的β二酮螯合物［Ｂａ（ＤＰＭ）２］和异丙氧基钛（ＴＩＰ）作为金属有机源，在衬底温度为７０００Ｃ时，在Ｓｉ（１００）衬...
关键词：MOCVD 铁电薄膜 钛酸钡 制备 物理性质 
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