郑立荣

作品数：18被引量：31H指数：3
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室更多>>
发文主题：铁电薄膜脉冲激光沉积SRBIPZT铁电材料更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微电子学与计算机》《中国激光》《压电与声光》《物理学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划上海市自然科学基金更多>>
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O^+注入SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的研究
《压电与声光》1999年第3期214-218,共5页曾建明 林成鲁 郑立荣 
国家"八六三"计划
研究了Ｈ＋注入对ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９（ＳＢＴ）铁电薄膜的晶体结构和电学性质的影响，并与含氢气氛退火作了比较，进而研究了Ｏ＋注入对ＳＢＴ铁电薄膜电学性质的影响。发现室温Ｏ＋注入，由于较严重的晶格损伤的存在，ＳＢＴ铁电薄...
关键词：集成铁电 离子注入 铁电薄膜 热靶注入 
钛酸铋薄膜的室温脉冲激光沉积研究
《压电与声光》1999年第2期131-135,共5页曾建明 张苗 高剑侠 宋志棠 郑立荣 王连卫 林成鲁 
国家"八六三"计划资助
在室温下，采用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）技术在７．６２ｃｍＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）衬底上制备了钛酸铋（Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２）薄膜。Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２薄膜的厚度和组分均匀性采用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）和扩展电阻技术...
关键词：脉冲激光沉积 钛酸铋薄膜 SRP RBS 铁电薄膜 
Pt/PZT/Pt电容的γ射线辐照积累剂量效应被引量：2
《功能材料与器件学报》1998年第4期286-290,共5页高剑侠 郑立荣 王连卫 林成鲁 朱德彰 
国家"863"新材料领域项目
研究了γ辐照积累剂量对ＰＺＴ铁电电容的电滞回线和ＣＶ特性的影响，结果表明，在积累剂量辐照过程中，由于辐照感生缺陷的影响，剩余极化和矫顽场增加，介电常数下降。根据实验结果和铁电材料的有关辐照理论，提出了剩余极化随积累...
关键词：铁电 辐照 剩余极化 介电常数 矫顽场 
脉冲准分子激光制备PCLT热释电薄膜被引量：4
《中国激光》1998年第5期473-476,共4页郑立荣 杨平雄 林成鲁 邹世昌 
全国自然科学重点基金资助项目(No.69738020)。
采用脉冲激光沉积的方法,在Pt/SiO_2/Si衬底上制备了掺Ca的(Pb,La)TiO_3薄膜。薄膜呈多晶结构,具有较好的铁电性和热释电性。由于掺Ca的作用,使薄膜的材料探测优值和电压响应优值几乎与单晶MgO衬底上的c轴取向的PbTiO_3或(Ph,La)TiO_3...
关键词：PCLT 脉冲激光沉积 铁电薄膜 热释电 
SBT铁电薄膜及其脉冲准分子激光制备被引量：2
《中国激光》1997年第5期397-400,共4页杨平雄 郑立荣 王连卫 林成鲁 周宁生 陆怀先 
采用脉冲准分子激光沉积法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上成功地制备了ＳＢＴ铁电薄膜，发现存在一个最佳沉积衬底温度约为４５０℃。在该温度下沉积的ＳＢＴ薄膜具有较饱和的方形电滞回线，其剩余极化Ｐｒ和矫顽电场Ｅｃ分别为８...
关键词：SBT 脉冲激光沉积 铁电薄膜 激光器 
SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜微结构及其抗疲劳等铁电特性的研究被引量：6
《物理学报》1997年第7期1449-1450,共2页杨平雄 邓红梅 郑立荣 林成鲁 
在低温Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上用脉冲准分子激光沉积技术结合氧气氛下７００℃退火获得高质量的ＳＢＴ薄膜，其择优取向为（００８）和（１１５）．薄膜厚度约为２００ｎｍ．铁电性能测试显示较饱和的、方形的电滞回线，其剩...
关键词：SBT薄膜 微结构 疲劳 铁电特性 铁电材料 薄膜 
PZT纳米晶薄膜的Sol-Gel法制备及铁电性质被引量：2
《材料研究学报》1997年第4期392-396,共5页宋世庚 谭辉 王学燕 符小荣 郑立荣 陶明德 林成鲁 
采用Sol-Gel法，以Zr的硝酸盐替代醇盐，引入PbTiO3过渡层的方法成功的制备了纳米晶铁电薄膜。并进行了差热、热重、结构、组分、铁电性能的测定、分析，
关键词：铁电薄膜 PZT 纳米晶 溶胶凝胶法 薄膜 
脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜电容特性研究被引量：1
《功能材料与器件学报》1997年第2期148-152,共5页杨平雄 郑立荣 倪如山 林成鲁 
用ＰＬＤ方法成功地制备了ＳＢＴ铁电薄膜，并制作成Ｐｔ／ＳＢＴ／Ｐｔ薄膜电容器。ＳＢＴ薄膜的晶面取向以（００８）和（１１５）为主。在５Ｖ电压下，极化反转，并且得到较饱和的电滞回线，剩余极化强度和矫顽电场分别为８４μＣ...
关键词：脉冲激光沉积 铁电薄膜 电容特性 
无疲劳SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的光学性质研究
《科学通报》1997年第11期1230-1231,共2页杨平雄 郑立荣 陈长清 金世荣 林成鲁 
层状钙钛矿SrBi_2Ta_2O_9(SBT)铁电薄膜具有无疲劳和在亚微米(<100 nm)厚度下仍具有体材料的优良电学性质等特性。
关键词：铁电薄膜 SBT薄膜 光学性质 钙钛矿型 
脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜的研究被引量：5
《科学通报》1997年第2期220-222,共3页杨平雄 郑立荣 林成鲁 
铁电薄膜存储器(FRAM)由于具有动态随机存储器(DRAM)快速读写功能和可擦写唯读存储器(EPROM)非挥发性,又具有抗辐照、功耗低等特性,已成为国际上固态器件研究的一个热点。铁电存储器常用的铁电材料是Pb(ZrTi)O_3(PZT)等氧化物钙钛矿结...
关键词：脉冲激光沉积 铁电薄膜 铁电材料 SBT 
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