金文贤

作品数：4被引量：6H指数：2
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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：室温红外探测器红外探测器电路系统硅气动式更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》《北京工业大学学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：北京市教委资助项目北京市教委基金资助项目更多>>
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新型室温红外探测器的微电容快速测试系统
《仪表技术与传感器》2005年第8期39-40,共2页金文贤 徐萍萍 徐晨 沈光地 
新型室温红外探测器对8～14μm红外辐射具有快速灵敏的响应,设计出用于该探测器的微电容测试系统,能够快速灵敏地将探测器输出的电容信号通过C-f、f-V变换电路转换为电压信号,然后由A/D转换电路变为数字信号后传到PC机进行信号处理。给...
关键词：微电容 红外探测器 快速检测 电路系统 
硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第1期67-71,共5页杨道虹 徐晨 董典红 张剑铭 阳启明 金文贤 沈光地 
北京市教委资助项目 (批准号 :KM2 0 0 3 10 0 0 5 0 0 9)~~
利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时 ,在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构 .研究表明 ,薄膜表面的生成物的分形属于典型的有限扩散集团凝聚模型 ,其分形维数值约为 1 6 6 7.实验还发现 。
关键词：分形 扫描电镜 腐蚀停止 分形维数 
一种新型键合工艺的理论和实验研究被引量：2
《北京工业大学学报》2004年第4期423-426,共4页杨道红 徐晨 董典红 李兰 吴畯苗 张剑铭 阳启明 金文贤 邹德恕 沈光地 
北京市教委基金资助项目(KM200310005009).
为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强...
关键词：微电子机械系统 硅/硅直接键合 乙醇 
激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用被引量：2
《功能材料与器件学报》2004年第2期236-238,共3页杨道虹 徐晨 董典红 金文贤 阳启明 张剑铭 沈光地 
北京市教委项目(No.KM200310005009)
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效...
关键词：MEMS ND:YAG激光 硅/玻璃 键合 
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