吴畯苗

作品数：5被引量：8H指数：2
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供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
发文主题：微机械红外探测器硅室温微传感器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微电子学与计算机》《北京工业大学学报》《仪表技术与传感器》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金北京市教委资助项目北京市教委基金资助项目更多>>
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微机械气动红外探测器的计算机仿真
《微电子学与计算机》2004年第7期168-170,180,共4页吴畯苗 邹德恕 沈光地 
国家自然科学基金项目(69976004);国家863计划项目(2002AA312070);国家973计划项目(G20000683-02);北京市教委项目(KM200310005009)
介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作模式的有限元模型,采用流体-热...
关键词：波长选择性 非致冷 气动式红外探测器 流体-热-结构耦合 
新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究被引量：1
《仪表技术与传感器》2004年第4期3-4,共2页杨道虹 徐晨 董典红 李兰 吴畯苗 张建铭 阳启明 邹德恕 沈光地 
北京市教委项目(KM200310005009)
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。...
关键词：MEMS 红外探测器 腐蚀 键合 光刻 制作工艺 
一种新型键合工艺的理论和实验研究被引量：2
《北京工业大学学报》2004年第4期423-426,共4页杨道红 徐晨 董典红 李兰 吴畯苗 张剑铭 阳启明 金文贤 邹德恕 沈光地 
北京市教委基金资助项目(KM200310005009).
为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强...
关键词：微电子机械系统 硅/硅直接键合 乙醇 
新型室温微机械红外探测器原理与设计被引量：3
《光电工程》2004年第2期34-36,43,共4页李兰 沈光地 邹德恕 刘铮 邓军 杨道虹 吴畯苗 
国家自然科学基金(69976004);北京市自然科学基金(4982005)资助项目
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的...
关键词：红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体 
硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析被引量：2
《传感器技术》2001年第3期48-50,53,共4页董欣 吴畯苗 邹德恕 史衍丽 邓军 杜金玉 高国 沈光地 
国家自然科学基金资助 !(699760 0 4);北京自然科学基金 !(4982 0 0 5 )
在微传感器和微机械结构的静电键合实验中 ,当加电压到键合片对上时 ,外电路的电流迅速上升到一定值后 ,不是逐渐减小 ,而是较缓慢的继续上升 ,或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析 ,认为键合的电流 -时间...
关键词：硅-玻璃 静电键合 电流-时间特性 微机械 微传感器 
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