金桂林

作品数:18被引量:14H指数:2
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发文主题:激光光致抗蚀剂碳化硅超细粉激光诱导更多>>
发文领域:电子电信化学工程理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《激光与红外》《激光杂志》《塑料工业》《合成树脂及塑料》更多>>
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波长与功率密度对激光烧蚀制备纳米粒子的影响被引量:1
《激光与红外》2005年第9期633-636,共4页金桂林 金晓英 朱莉 宋顺军 
用TEA CO2激光烧蚀方法制备了NiSO4/Ni(Ac)2纳米粒子,其化学成分与靶材原料十分相似,其中含少量Ni2O3.当采用被靶材物质直接吸收的激光谱线9P(18)、9R(18)时,纳米粒子的保成分性较好,得到粒径10~20nm、分散性良好的圆形粒子,其功率密...
关键词:激光烧蚀 纳米粒子 波长 功率密度 
激光烧蚀法制备NiSO_4/Ni(Ac)_2纳米粒子被引量:2
《应用激光》2003年第2期84-86,共3页金桂林 金晓英 陈建华 黄洪成 
硫酸镍与乙酸镍的混合晶体经研磨成 2 μm的颗粒后 ,压制成直径为 10mm的薄片作为靶材 ,以TEACO2 激光辐照 ,得到粒度为 10至 2 0nm的NiSO4/Ni(Ac) 2 纳米粒子 ,其中含少量Ni2 O3 。气体产物为水和乙酸。激光功率密度为 10 8W .cm-2 量...
关键词:激光烧蚀法 NiSO4 Ni(Ac)2 纳米粒子 硫酸镍 
用基态透明的物质进行激光合成超细粉
《激光与红外》2000年第5期269-273,共5页金桂林 张兆奎 金晓英 陈建华 沈伟 
用 TEA CO2 激光的被原料吸收或不被吸收的不同谱线辐照几种物质 ,如四甲基硅烷 ,三甲基氯硅烷 ,六甲基二硅胺烷等 ,比较其反应情况与产物的异同。认为对于振动基态透明的物质 ,可以由激光引发气体级联电离的机制生成高活性的低温等离...
关键词:激光合成 超细粉 等离子体 基态透明物质 
TEA CO_2激光波长与功率密度对于气相合成SiC超细粉的影响
《激光杂志》1999年第5期51-53,共3页金桂林 金晓英 张兆奎 陈建华 黄洪成 
用TEA CO2 激光的不同谱线辐照二甲基二氯硅烷与三甲基氯硅烷气体,只要激光功率密度超过相应的反应阈值,就都可以诱导气相化学反应,制得SiC超细粉,其中与物质吸收带重合的入射激光谱线通过多光子吸收机理引发化学反应,而...
关键词:激光波长 激光功率密度 超细粉 SiC 气相合成 
高灵敏度激光光致交联剂的研究
《应用激光》1999年第2期57-60,共4页金桂林 张兆奎 金晓英 蔡暄 
合成了具有不同分子骨架结构的二迭氮基芳香族化合物.它们的紫外吸收带发生红移,以它们为交联剂,与聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)以及光敏剂苯氧基二本甲酮(PB)构成光致抗蚀剂体系,在空气环境中,在氮分子激光辐照下进行交联反应。其...
关键词:光致交联剂 光致抗蚀剂 迭氮化合物 激光蚀剂 
连续与脉冲激光诱导气相反应制备超细粉被引量:3
《应用激光》1997年第1期11-13,共3页金桂林 张兆奎 金晓英 石庆红 陈鹏彬 
用连续以及脉冲的CO2激光诱导三甲基氯硅烷的气相化学反应,制备SiC超细粉.脉冲激光以及高的激光功率密度有助于减少副反应,得到高纯度、圆形、粒度小而均匀,疏松不团聚的超细粉。
关键词:激光 超细粉 碳化硅 三甲基氯硅烷 
FTIR光谱法原位快速跟踪不饱和聚酯树脂的固化反应
《合成树脂及塑料》1994年第1期7-9,14,共4页金晓英 金桂林 施善定 董迅 陈建华 
用富里哀变换红外光谱法原位跟踪不饱和聚酯树脂固化反应的动态过程。该方法能直接反映分子结构的变化,迅速准确地采集数据,尤其适用于快速反应体系。
关键词:FTIR光谱 不饱和聚酯 固化反应 
耐反应离子刻蚀的紫外激光光致抗蚀剂的研究被引量:1
《激光杂志》1994年第2期65-69,共5页金桂林 金晓英 施善定 蔡根寿 黄均文 
以芳香族双迭氮基化合物为交联剂,苯氧基二苯甲酮为光敏剂,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为基质树脂,合成了负型激光光致抗蚀剂。该体系能够在氮分子激光辐照下发生灵敏的光致交联反应,所生成的致密薄膜可以耐四氟化碳等离子体的反...
关键词:反应离子刻蚀 光致抗蚀剂 微电子学 
电场和气压对激光合成SiC超细粉末的影响被引量:2
《华东化工学院学报》1993年第5期648-652,共5页金桂林 金晓英 潘孝仁 金乾元 尤湧 
用TEA CO_2激光诱导四甲基硅烷(TMS)的气相反应,生成了纯而均匀的SiC超细粉末,粒径小于0.2μm。把反应物置于均匀外电场中,可以使引发化学反应时所需的激光功率密度阀值降低一倍。TMS气压可达到40kPa。讨论了气体分压比对反应速度、产...
关键词:电场 碳化硅 陶瓷粉末 激光诱导 
TEA CO_2激光制备碳化硅超细粉末被引量:1
《激光杂志》1993年第5期245-249,共5页金桂林 金晓英 潘孝仁 金乾元 徐华胜 
用TEA CO_2激光诱导四甲基硅烷的气相反应,合成了亚微米碳化硅粉末,工作气压为30~300torr(4-40×10~2Pa),激光功率密度为10~3W/cm^2量级。所得SiC颗粒纯弃高,球状,直径约0.2μm,体积分市均匀。粉末整体呈链状的疏松集合,可在乙醇中被...
关键词:激光 超细粉末 碳化硅 制备 
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