高志强

作品数：6被引量：27H指数：4
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发文主题：BST薄膜钛酸锶钡膜厚性能研究无机非金属材料更多>>
发文领域：电子电信理学轻工技术与工程交通运输工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《真空科学与技术学报》《电子元件与材料》《压电与声光》更多>>
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退火对BST薄膜光学特性影响的研究
《压电与声光》2006年第1期67-68,71,共3页高志强 杨传仁 陈宏伟 符春林 廖家轩 赵莉 
重大基金资助项目(Z01)
利用射频磁控溅射在硅和石英基片上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜。并用气氛炉和快速晶化炉对其进行退火,比较了退火前后的XRD谱和光致发光光谱,结果表明,退火后,氧缺位减少,发光光谱在紫外区的峰位发生红移,在可见光区的峰位却发生蓝...
关键词：BST 退火处理 XRD 光谱 
BST薄膜的膜厚与铁电性能关系研究被引量：6
《电子元件与材料》2005年第6期15-17,共3页陈宏伟 杨传仁 符春林 高志强 赵莉 
国家973资助项目(Z01)
采用射频磁控溅射法制备了Ba.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了不同膜厚的BST薄膜的介电偏压特性曲线和电滞回线。结果表明,当膜厚从250nm增加到650nm时,BST薄膜的εr、εr的电压变化率和最大极化强度分别从195,9%,4.7×10–6C/cm2逐渐增加到...
关键词：无机非金属材料 BST薄膜 膜厚 铁电性能 
BST薄膜的微结构研究被引量：4
《电子元件与材料》2005年第2期29-31,共3页陈宏伟 杨传仁 符春林 赵莉 高志强 
国家 973 资助项目 (Z01)
采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构.用优化的成膜工艺制备出成分与靶材基本一致,具有钙钛矿结构的BST多晶薄膜.利用扫描力...
关键词：无机非金属材料 钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射 微结构 电畴 BST薄膜 
Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的微结构及铁电性能研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2005年第2期96-99,共4页陈宏伟 杨传仁 符春林 赵莉 高志强 
国家973项目资助(Z01)
采用射频磁控溅射法制备了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(简称BST)薄膜材料,研究了BST薄膜的组成、晶体结构、表面形貌及介电性能。介电偏压特性曲线和电滞回线都表明其具有铁电性,厚度为500nm、晶粒尺寸为30nm的BST薄膜,介电系数电压变化率(...
关键词：性能研究 微结构 射频磁控溅射法 BST薄膜 电滞回线 特性曲线 电压变化率 薄膜材料 晶体结构 介电性能 表面形貌 晶粒尺寸 介电系数 铁电性 电调谐 不对称 偏压 
退火工艺对钛酸锶钡薄膜结构的影响被引量：9
《电子元件与材料》2004年第10期17-19,共3页赵莉 杨传仁 冷文建 陈宏伟 符春林 廖家轩 高志强 
国家"973"项目
采用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜,在500～750℃之间对薄膜快速退火.XRD分析表明:500℃时BST薄膜开始晶化为ABO3型钙钛矿结构,温度越高结晶越完整,晶粒越大.理论计算表明,薄膜在低温退火后...
关键词：无机陶瓷材料 BST薄膜 退火 择优取向 RMS XRD AFM 
钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究被引量：5
《功能材料》2004年第5期615-617,共3页陈宏伟 杨传仁 符春林 赵莉 高志强 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(Z01)
　采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr T)、频率特性(εr f)、电压特性(εr U)及损耗的温度特性(tgδ T)、频率特性(tgδ f),找出了BST薄膜的非线性、损...
关键词：钛酸锶钡 薄膜 膜厚 晶粒尺寸 介电性能 
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