常洪龙

作品数：78被引量：265H指数：10
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发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
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粘附和根切对模态局部化加速度计的影响
《科学技术与工程》2021年第35期15108-15113,共6页康昊 苏健军 常洪龙 
宁波市自然科学基金(202003N4045)。
为研究基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺对模态局部化加速度计的影响,通过分析释放和刻蚀工艺对模态局部化加速度计结构的影响以及对加速度计幅频特性和初始工作点的影响研究了粘附和根切对模态局部化加速度计的影响。结果表明:释放氧...
关键词：微机电系统 模态局部化 加速度计 根切 粘附 
微机电系统光学组件的系统级建模被引量：3
《光学精密工程》2012年第5期1069-1075,共7页李晓莹 李慧敏 常洪龙 何洋 焦文龙 
国家863高技术研究发展计划(MEMS重大专项)资助项目(No.2007AA04Z347;No.2009AA04Z320)
为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束...
关键词：微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言 
大输出微控制力矩陀螺的设计
《传感技术学报》2011年第8期1126-1130,共5页常洪龙 白滨 焦文龙 谢建兵 秦子明 苑伟政 
国家"863"计划项目(2009AA04Z320);西安应用材料创新基金项目(XA-AM-200801);国家自然科学基金项目(60976087);航空基金项目(20070853012)
为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输出。通过框架角振...
关键词：微机电系统 微控制力矩陀螺 陀螺阵列 姿态控制 
MEMS器件与电路共同仿真原型系统被引量：2
《光学精密工程》2010年第10期2206-2211,共6页苑伟政 牛昊彬 常洪龙 马炳和 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z347;No.2009AA04Z320)
为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为,建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统。首先,根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性,提出了MEMS器件与电路共同仿真的原理和方法,并依托国产电路仿真平台Zeni VLG建...
关键词：微机电系统 接口电路 共同仿真 加速度计 
MEMS系统级仿真中的一种变截面梁建模方法被引量：6
《微纳电子技术》2010年第8期484-489,502,共7页郝星 苑伟政 常洪龙 牛昊彬 焦文龙 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z347;2009AA04Z320)
根据矩阵结构分析理论和弹性力学理论建立了一种宽度随长度线性变化的变截面线性梁力学模型,采用硬件描述语言实现了其参数化系统级组件。基于该组件进行的系统级仿真结果与有限元仿真结果相比,静态分析和频域分析的最大误差分别为0.75%...
关键词：微机电系统(MEMS) 系统级建模 变截面梁 矩阵结构分析理论 加速度计 
Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2010年第2期167-170,共4页谢建兵 苑伟政 常洪龙 
国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2009AA04Z320);西安应用材料创新基金资助项目(XA-AM-200801)
研究了一种基于深反应离子刻蚀(DRIE)中notching效应的MEMS单步干法制造工艺.首先,基于DRIE刻蚀SOI硅片时notching现象产生的机理,设计了多种不同线宽的槽结构,验证notching效应的发生条件.实验结果表明,对于所采用的具有30μm器件层的...
关键词：notching效应 干法释放 绝缘体上硅 微机电系统 
含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化
《系统仿真学报》2010年第3期748-751,764,共5页徐景辉 苑伟政 常洪龙 虞益挺 马炳和 
863高技术资助项目(2007AA04Z347);国家自然科学基金(50775188)
针对含大规模输入输出端口的MEMS结构,提出分块叠加Arnoldi方法提取其宏模型,针对MEMS器件中广泛存在几何形状相同而初始方位不同的结构,采用矩阵坐标变换实现宏模型的角度参数化,解决宏模型的重复提取问题。最后,结合一种微型可编程光...
关键词：微机电系统 宏模型 角度参数化 分块Arnoldi算法 叠加法 系统级仿真 
面向无人机的单芯片惯性测量组合
《航空工程进展》2010年第1期99-102,共4页蒋庆华 苑伟政 常洪龙 
国家863计划(2009AA04Z320)
针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载...
关键词：单芯片惯性测量组合 惯性测量组合 微机电系统 微机械陀螺 微加速度计 
Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真
《微纳电子技术》2009年第8期477-483,共7页兰靖 苑伟政 常洪龙 周志广 崔金强 
航空科学基金项目(20070853012)
为了快速有效地验证接口电路的可行性,对Si微陀螺建模方法及陀螺结构与接口电路的混合仿真方法进行了研究。在Si微陀螺动力学特性分析的基础上,利用硬件描述语言建立一种以低阶微分方程描述的Si微陀螺解析模型,该模型利用Si微陀螺运动...
关键词：Si微陀螺 自激驱动 微机电系统 解析模型 硬件描述语言 
支持任意流程的微机电系统设计工具被引量：3
《机械工程学报》2008年第11期39-46,共8页常洪龙 苑伟政 
国家高技术研究发展计划(863计划;2006AA04Z306)资助项目。
论述了微机电系统设计工具的发展概况,并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器件级物理建模与仿真和工艺级版图设计与工艺仿真三个设计层级为主...
关键词：微机电系统 设计工具 流程 接口 宏建模 结构化设计方法 
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