谢建兵

作品数：20被引量：39H指数：3
导出分析报告
供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：微机电系统陀螺微机械陀螺MEMS版图更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《机械设计与制造》《传感技术学报》《中国机械工程》《导航与控制》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金西安应用材料创新基金陕西省“13115”科技创新工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
MEMS集成设计与制造技术进展被引量：1
《机械工程学报》2023年第19期176-186,共11页苑伟政 常洪龙 谢建兵 
芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈,基于微机电系统(MEMS)技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事,必先利其器”,与微电子芯片类似,设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。首先,从MEM...
关键词：MEMS 集成设计 定制化制造 批量化制造 
多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势被引量：6
《导航与控制》2019年第4期1-10,共10页杜宜璋 常洪龙 苑伟政 谢建兵 
国家自然科学基金(编号:51775447)
微机械陀螺是一种新型的陀螺,近年来随着微机电技术的发展,其性能不断得到提高。基于多环谐振微机械陀螺的发展现状,详细评述了多环谐振陀螺的来源以及其由单环到多环的结构发生改变的优点。并基于驻波进动原理,介绍了两种新型的全对称...
关键词：微机械环形陀螺 微加工技术 驻波进动原理 键合 
一种低噪声MEMS加速度计设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第9期88-90,93,共4页宋萌 常洪龙 杜松杰 谢建兵 李鹏程 
国家自然科学基金资助项目(61273052)
为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速度计的机械布朗噪声...
关键词：微电子机械系统 加速度计 低噪声 高灵敏度 绝缘体上硅 
MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现被引量：3
《固体火箭技术》2014年第2期277-280,共4页申强 苑伟政 李太 谢建兵 常洪龙 
国家高技术研究发展计划(863计划);陕西省科技统筹创新工程计划(2011KTCQ01-26)
研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的微型阵列式推进器,并开发了记录其点火过程的音频采集系统。该推进器利用金属溅射、体硅干法刻蚀等工艺制作点火电阻和燃烧室,完成了点火电阻、引线以及焊盘的一体化加工,利用硅-玻璃阳极键合工艺...
关键词：皮卫星 有效载荷 音频采集系统 MEMS阵列式推进器 
Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用被引量：1
《传感技术学报》2013年第2期191-194,共4页常洪龙 周平伟 谢建兵 杨勇 谢中建 袁广民 
国家自然科学基金项目(61273052);安全技术交通行业重点实验室开放课题项目
深反应离子刻蚀(DRIE)工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率和结构轮廓不利的效应,如横向刻蚀(Notching)效应。通过在结构旁布置牺牲结构-硅岛,利用Notching效应...
关键词：MEMS风速仪 悬空硅 横向刻蚀效应 深反应离子刻蚀 
基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真被引量：7
《微纳电子技术》2012年第5期313-317,共5页李小卿 常洪龙 焦文龙 谢建兵 袁广民 
陕西省13115科技创新工程重大科技专项(2009ZDKG-24)
提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度。该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态中,通过杠杆将驱动梳齿位移放大后传递到质量块上,在陀螺驱动模态谐振频率一定的情况下增大了质量块在驱...
关键词：微机械陀螺 杠杆 放大 机械灵敏度 系统级仿真 
电容式微机械陀螺接口电路噪声分析被引量：3
《电子测量技术》2012年第5期25-28,共4页蒋庆华 苑伟政 谢建兵 
电容式微机械陀螺接口电路的噪声抑制特性直接影响了其关键性能指标,是微机械陀螺研究的重点。基于电荷放大器为前置放大电路的微机械陀螺接口电路为研究对象,建立了包含运放输入电容、输入电阻、噪声电流、噪声电压、反馈电阻噪声、寄...
关键词：微机电系统 接口电路 噪声分析 微机械陀螺 
静电梳齿驱动结构的稳定性分析被引量：7
《传感技术学报》2011年第8期1122-1125,共4页张峰 苑伟政 常洪龙 丁继亮 谢建兵 
国家自然科学基金项目(60976087);国家高技术研究发展计划项目(2009AA04Z320)
静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的...
关键词：静电梳齿驱动结构 稳定性 侧向吸合 刚度 
大输出微控制力矩陀螺的设计
《传感技术学报》2011年第8期1126-1130,共5页常洪龙 白滨 焦文龙 谢建兵 秦子明 苑伟政 
国家"863"计划项目(2009AA04Z320);西安应用材料创新基金项目(XA-AM-200801);国家自然科学基金项目(60976087);航空基金项目(20070853012)
为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输出。通过框架角振...
关键词：微机电系统 微控制力矩陀螺 陀螺阵列 姿态控制 
微机械陀螺的误差抑制电路研究被引量：1
《传感技术学报》2010年第6期808-811,共4页周志广 常洪龙 申强 谢建兵 苑伟政 
国家863计划项目资助(2009AA04Z320);航空基金项目资助(20070853012)
分析了微机械陀螺的正交误差和同相误差的来源及特点,提出了利用静电力反馈控制来抑制误差的技术方案。该方案利用反馈静电力在检测模态上产生等效电刚度和电阻尼,从而影响陀螺仪驱动和检测模态之间的刚度和阻尼耦合系数,进而抑制误差...
关键词：闭环检测电路 误差抑制 反馈控制 校正环节 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部