廖荣

作品数：16被引量：34H指数：3
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供职机构：华南理工大学电子与信息学院更多>>
发文主题：薄膜晶体管原子层沉积半导体氧化锌绝缘栅更多>>
发文领域：电子电信文化科学电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《物理学报》《电子设计工程》《材料导报》更多>>
所获基金：国家级大学生创新创业训练计划广东省自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金广东省大学生创新实验项目更多>>
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原子层沉积技术的应用现状及发展前景被引量：11
《传感器与微系统》2021年第10期5-9,共5页廖荣 康唐飞 邓世杰 吴海洋 王敬云 
2020年华南理工大学校级一流本科课程项目(微电子工艺实习);2021年华南理工大学“学生研究计划”项目。
介绍了原子层沉积(ALD)技术的应用现状及发展前景,包括ALD原理、ALD技术的主要优势、ALD在各方面的应用,如半导体及纳米电子学应用、光电材料及器件、微机电系统(MEMS)、纳米结构及其它应用。ALD工艺所需温度比其他化学气相沉积方法远...
关键词：原子层沉积 纳米结构 半导体 介电层 芯片 
CF4流量及射频功率等对反应离子刻蚀硅基材料的影响被引量：1
《真空》2021年第4期93-97,共5页廖荣 崔继耀 董景尚 陈栋 何蔚筠 
2020年华南理工大学“学生研究计划”项目(X202010561130);2018年华南理工大学第五批“探索性实验”项目(Y9180400)。
通过一系列的刻蚀实验,研究了在反应离子刻蚀(RIE)过程中,CF4流量及射频功率等工艺参数对刻蚀硅基材料的影响,采用不同工艺条件,得出了对应的刻蚀速率、均匀性、选择比等刻蚀参数,并对结果进行了比较与分析,得到了相对最佳的工艺条件,...
关键词：反应离子刻蚀 各向异性 硅 均匀性 选择比 
基于HI3518EV200的无线视频监控设计被引量：1
《电子设计工程》2021年第15期179-183,共5页廖荣 陶表辉 
2020年华南理工大学校级一流本科课程项目(x2wd-C9214034);2021年华南理工大学“学生研究计划”项目(x2wd-C9212680)。
随着人们对社会安全水平要求的提高,国内外安防产品市场巨大,安防工程是一个庞大复杂的工程,该设计是以海思HI3518EV200芯片为基础的一款无线视频监控产品,基于ARM926的嵌入式Linux系统开发,硬件设计包括产品的芯片选型、各种Sensor传...
关键词：海思HI3518EV200 监控 无线网络 云端 
高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究
《真空》2019年第5期52-55,共4页廖荣 邓永健 王家驹 赵飞兰 郑若茜 刘慧君 柯嘉聪 
2019年华南理工大学“学生研究计划”项目(X201910561135);2018年华南理工大学第五批“探索性实验”项目(Y9180400);2018年华南理工大学“国家级大学生创新创业训练计划”(Y9180210)项目
采用磁控溅射法分别在Si片和玻璃片上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD、XPS、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对HfO2薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、光学特性和电学特性进行了分析。得出了以下结论:HfO2薄膜表面较为平坦致...
关键词：HFO2 薄膜 磁控溅射 介电常数 
钛铌酸锶膜光敏传感元件的制备与特性分析被引量：2
《传感器与微系统》2019年第8期15-17,24,共4页廖荣 刘慧君 柯嘉聪 李涌春 廖鸿韬 罗志勇 
2018年华南理工大学第五批“探索性实验”项目(Y9180400);2018年华南理工大学“国家级大学生创新创业训练计划”资助项目(Y9180210);2018年华南理工大学“学生研究计划”资助项目
利用镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛铌酸锶(Sr NbxTi1-xO3)薄膜,然后制备成平面型薄膜光敏传感器。对钛铌酸锶薄膜的吸收光谱进行测定,得到其禁带宽度为2. 70 e V,对可见光有良好的敏感性。样品在稳定光照下,...
关键词：光敏传感器 钛铌酸锶 光谱 照度 光电导 
原子层沉积Al2O3薄膜的制备与性能研究
《功能材料与器件学报》2019年第2期94-98,共5页廖荣 刘慧君 柯嘉聪 李涌春 廖鸿韬 罗志勇 
2018年华南理工大学第五批“探索性实验”项目(Y9180400);2018年华南理工大学“国家级大学生创新创业训练计划”(Y9180210);2019年华南理工大学“学生研究计划”项目
采用原子层沉积法分别在Si片和玻璃片上制备了Al2O3薄膜,并用SEM、XRD、XPS、椭偏测厚仪、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对Al2O3薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、薄膜厚度、光学特性和电学特性进行了分析。得出了以下...
关键词：AL2O3 薄膜 原子层沉积 介电常数 
原子层沉积法制备氧化锌纳米管被引量：1
《功能材料》2018年第10期12-15,共4页廖荣 刘慧君 柯嘉聪 李涌春 廖鸿韬 罗志勇 
2018年华南理工大学第五批"探索性实验"资助项目(Y9180400);2018年华南理工大学"国家级大学生创新创业训练计划"资助项目(Y9180210)
采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2μm,壁厚150n...
关键词：氧化锌 纳米管 原子层沉积法 聚碳酸酯薄膜 生长机理 
溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究进展被引量：3
《半导体技术》2018年第5期321-334,380,共15页吴宝仔 廖荣 刘玉荣 
广东省自然科学基金资助项目(2016A030313474)
金属氧化物薄膜晶体管（MOTFT）因具有迁移率高、可见光透明、工艺简单、可低温制备等优势,在高性能平板显示、可穿戴柔性电子、集成传感器等领域具有广阔的应用前景。主要回顾了溶液法制备MOTFT的研究进展。首先介绍了溶液法制备MOTFT...
关键词：薄膜晶体管 金属氧化物半导体 溶液法 电学性能 优化方法 
VHDL数字系统设计实验教学研究被引量：6
《实验室研究与探索》2017年第12期227-229,289,共4页廖荣 李蓓 张振杰 李宇威 
2015年"中央高校基本科研业务费本科生自主选题项目"(10561201511);华南理工大学第一批"探索性实验"教学项目(x2dx-Y1140610)
VHDL数字系统设计实验课程已建成立体化教学资源,自主开发了EDA实验平台,建成含课堂视频、实验指导视频、电子教案、网上信息发布、师生互动等的课程网站;还精心设计了实验内容,安排了由浅入深的基本模块电路设计、简单综合设计、接近...
关键词：超高速集成电路硬件描述语言 数字系统设计 现场可编程门阵列 实验教学 系统化 
聚酰亚胺MOSFET湿度传感器研究被引量：1
《传感器与微系统》2017年第9期32-33,37,共3页廖荣 李蓓 张振杰 李宇威 
2015中央高校基本科研业务费本科生自主选题项目(10561201511);华南理工大学第一批"探索性实验"教学项目(X2d X-Y1140610)
将聚酰亚胺(PI)薄膜制作在金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)的栅极上,当环境湿度发生变化时,将引起PI吸湿量的变化,电容量改变,据此可制成湿度传感器件,测试结果显示:该湿度传感器具有明显的湿度敏感特性。
关键词：聚酰亚胺(PI) 湿度传感器 半导体平面工艺 扩展栅极结构 相对湿度 
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