杨陈

作品数：6被引量：11H指数：3
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供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：电子束蒸发TIO2薄膜光学性质TIO_2薄膜沉积温度更多>>
发文领域：理学金属学及工艺机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《材料导报》《稀有金属材料与工程》《红外与激光工程》《西安工业大学学报》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金陕西省教育厅科研计划项目西安工业大学校长基金更多>>
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氧气气氛对氧化铪薄膜性能的影响被引量：3
《西安工业大学学报》2009年第3期205-208,213,共5页惠迎雪 杨陈 田玉祥 徐均琪 
陕西省教育厅项目(06JK278);西安工业大学校长基金(XGYXJJ0501)
在有氧和无氧气氛条件下,采用真空电子束热蒸发技术在P-Si(100)硅衬底上制备了HfO2薄膜.利用X射线光电子能谱,对薄膜的化学组分进行表征,利用椭偏法对薄膜的膜厚和折射率进行测定,利用紫外可见光谱测量了薄膜的在200 nm^1 200 nm范围内...
关键词：电子束蒸发 HFO2薄膜 透过率 椭偏仪 C-V特性 
等离子辅助电子束蒸发La_2O_3薄膜的制备
《稀有金属材料与工程》2007年第A01期928-930,共3页杨陈 樊慧庆 焦岗成 惠迎雪 
国家自然科学基金(50672075);教育部博士点基金(20050699011);新世纪人才计划(NCET-05-0871);西安市科技攻关计划(GG05015;GG06023)
采用等离子辅助电子束蒸发,在Si(100)衬底上沉积La2O3薄膜。随后对非晶的沉积态薄膜在750℃和900℃分别退火1h。实验结果表明,采用等离子辅助电子束蒸发,可以获得非晶态的La2O3薄膜;经750℃热处理后,薄膜部分晶化;经900℃热处理后,薄膜...
关键词：La2O3薄膜 等离子辅助电子束蒸发 薄膜结构 Ⅰ-Ⅴ矿特性 透过率 
过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响
《材料导报》2007年第8期146-147,共2页杜玉军 杨陈 惠迎雪 
陕西省教育厅项目(05JK220);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室项目(ZSKJ200408)
TiO2作为高介电常数材料已被广泛研究。为了防止TiO2与Si基底发生反应,在Si与TiO2之间加入与TiO2结构相似热稳定性好的ZrO2作为过渡层。改变TiO2薄膜厚度,并在900℃对薄膜进行1h退火处理。通过XRD分析显示,随着TiO2厚度减小,各衍射峰强...
关键词：TIO2薄膜 ZrO2过渡层 电子束蒸发 薄膜厚度 薄膜结构 
离子束辅助反应电子束蒸发TiO_2薄膜的结构和光学性能被引量：4
《材料科学与工程学报》2007年第1期14-17,共4页杨陈 樊慧庆 李创 陈晋 
TiO2具有较高的折射率和介电常数,在光学和电子学方面有着广泛的应用。本论文采用离子束辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料,纯度为99.99%的O2为反应气体,通过电子束蒸发,在玻璃衬底上反应生成TiO2薄膜。使用XRD、SEM分别对50℃1、50...
关键词：TIO2薄膜 电子束蒸发 薄膜结构 光学性质 
沉积温度对反应电子束蒸发TiO_2薄膜结构和光学性能的影响被引量：1
《红外与激光工程》2006年第z2期175-178,共4页杨陈 樊慧庆 惠迎雪 
教育部博士点基金(20050699011);新世纪人才计划项目(NCET-05-0871)
TiO_2具有较高的折射率,在光学方面有着广泛的应用。文中采用等离子辅助反应电子束真空蒸镀法,以 Ti 为膜料、纯度为99.99%的 O_2为反应气体,在玻璃衬底上制备了 TiO_2薄膜。使用 XRD、OM、SEM 分别对50℃、150℃、300℃三个不同沉积温...
关键词：TIO2薄膜 电子束蒸发 沉积温度 薄膜结构 光学性质 
形变、相变交互作用对Ti-17合金等温锻件显微组织和力学性能影响规律研究被引量：3
《稀有金属材料与工程》2003年第7期538-541,共4页姚泽坤 郭鸿镇 杨陈 虢迎光 苏梅英 
主要研究了形变和相变交互作用对等温锻件显微组织和力学性能的影响规律。结果发现形变和相变交互作用对Ti-17合金等温锻件的显微组织、力学性能有重大影响,经1次在β相区等温形变与相变交互作用,锻件高倍组织中的α相呈鱼骨状,在两相...
关键词：TI-17合金 交互作用 显微组织 力学性能 
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