王惠民

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：单片集成光电探测器氧化钛氧分压离子束增强沉积更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《Journal of Semiconductors》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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氧分压对动态离子束辅助沉积合成的氧化钛膜的影响被引量：3
《功能材料与器件学报》2001年第1期54-58,共5页王向晖 张峰 李昌荣 郑志宏 陈莉芝 王惠民 柳襄怀 
采用离子束增强沉积的方法，改变氧分压，在硅基体表面制备出了不同组分及不同取向的 氧化钛薄膜。采用 XRD，掠角衍射以及 XPS分析方法对薄膜的成分、结构和取向进行了分析，并 通过 RBS分析计算出了薄膜的 O/Ti比。实验结果发现，所...
关键词：氧化钛 离子束增强沉积 氧分压 薄膜 合成 
InGaAsP/InP单片集成波长解复用器件
《半导体光电》1998年第1期44-47,共4页赵春华 朱祖华 陈抗生 杨易 王惠民 程宗权 陈兴国 胡雄伟 
国家"863"资助
报道了基于二维凹面光栅的单片集成波长解复用器件，器件刻蚀在ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ平板波导上，通过凹面光栅的色散作用实现不同波长光的分离，光的输入输出耦合由波导阵列来完成，器件的工作波长在１．５μｍ附近，通道间隔约４．...
关键词：集成光学器件 凹面光栅 罗兰圆 波分复用 
InP系波导和光电探测器单片集成
《Journal of Semiconductors》1996年第1期51-54,共4页杨易 陈兴国 程宗权 王惠民 吕章德 蒋惠英 王晨 施惠英 吴学海 朱祖华 胡征 
国家自然科学基金
本文主要报道ＩｎＰ光波导和ＩｎＧａＡｓ－ＰＩＮ光电探测器的单片集成，包括材料生长、器件工艺、器件测试三个部份．器件的结构和制作方法较为简单，而代表器件性能的主要参数可与国外同类器件相接近，如光波导损耗最小为８．６ｄＢ...
关键词：磷化铟 光波导 光电探测器 单片集成 
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