国家重点基础研究发展计划(2007CB613401)

作品数:25被引量:44H指数:4
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退火温度对硅/氧化硅多层膜微结构的影响
《南京邮电大学学报(自然科学版)》2012年第4期97-100,109,共5页陈德媛 冒昌银 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2007CB613401);国家自然科学基金(10874070;60721063;50872051);江苏省高校自然科学基金(09KJB510008;09KJB510010;09KJB510014;10KJB510015);江苏省青蓝计划(NY210037);南京邮电大学引进人才启动基金(NY208056)资助项目
采用等离子体增强化学气相淀积系统,应用原位氧化和原位掺杂技术制备出了非晶硅/二氧化硅多层膜结构。对多层膜结构进行不同温度下热退火后处理,通过傅里叶变化红外吸收光谱和拉曼散射光谱对其微结构的变化进行了表征。结果表明,原始淀...
关键词:傅里叶变换红外吸收 拉曼散射 退火 横向光学模式 
衬底掺杂浓度对p-i-n结构电致发光的增强作用被引量:1
《南京邮电大学学报(自然科学版)》2011年第5期97-100,共4页陈德媛 冒昌银 刘宇 孙红程 
国家自然科学基金(10874070;60721063;50872051);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2007CB613401);江苏省高校自然科学基金(09KJB510008;09KJB510010;09KJB510014);南京邮电大学引进人才启动基金(NY208056)资助项目
采用等离子体增强化学气相淀积系统,应用原位氧化和原位掺杂技术制备出了以非晶硅/二氧化硅多层膜结构为本征i层、分别以磷和硼掺杂的非晶硅作为n型和p型区的p-i-n结构。经过三步后退火处理,i层晶化得到纳米硅/二氧化硅多层膜结构,磷和...
关键词:电致发光 开启电压 注入势垒 串联电阻 
硫系相变材料Ge_1Sb_2Te_4和Ge_2Sb_2Te_5薄膜相变速度及电学输运性质研究
《固体电子学研究与进展》2011年第3期310-314,共5页刘文强 仝亮 徐岭 刘妮 杨菲 廖远宝 刘东 徐骏 马忠元 陈坤基 
国家自然科学基金资助项目(60976001和50872051);国家自然科学基金重点资助项目(61036001);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20090091110010);江苏省国际科技合作计划资助项目(BZ2010068);国家重点基础研究发展规划资助项目(2007CB935401和2007CB613401)
利用磁控溅射方法制备了Ge_1Sb_2Te_4和Ge_2Sb_2Te_5两种相变存贮材料的薄膜。原位X射线衍射(XRD)的结果表明,随着退火温度的升高,Ge_1Sb_2Te_4和Ge_2Sb_2Te_5薄膜都逐步晶化,材料结构发生了从非晶态到面心立方结构、再到六角密堆结构...
关键词:相变存贮材料 Ge_1Sb_2Te_4 Ge_2Sb_2Te_5 
SiO_x∶Er薄膜材料光致发光特性的研究
《半导体技术》2010年第9期877-880,938,共5页沈海波 郭亨群 徐骏 陈坤基 王启明 
国家重点基础研究发展“973”计划(2007CB613401);集成光电子国家重点联合实验室开放课题(20080301)
采用射频磁控反应溅射技术,以Er2O3和Si为靶材,制备了SiOx∶Er薄膜材料,在不同温度和不同时间下进行退火处理,室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,观察到Er3+在1 530,1 542和1 555 nm处波长的发光,发现退火能明显增强Er3+的发光。研究了...
关键词:射频磁控反应溅射 SiOx∶Er薄膜 光致发光 
脉冲激光晶化超薄非晶硅膜的分子动力学研究
《物理学报》2010年第8期5681-5686,共6页陈谷然 宋超 徐骏 王旦清 徐岭 马忠元 李伟 黄信凡 陈坤基 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613401;2007CB935401);国家自然科学基金(批准号:10874070);江苏省自然科学基金(批准号:BK2008253)资助的课题~~
利用准分子脉冲激光晶化非晶硅薄膜是制备高密度尺寸可控的硅基纳米结构的有效方法之一.本文将脉冲激光对非晶硅超薄膜的影响处理为热传导问题,采用了基于Tersoff势函数的分子动力学方法模拟了在非晶氮化硅衬底上2.7nm超薄非晶硅膜的脉...
关键词:非晶硅 分子动力学 脉冲激光晶化 
基于Si-rich SiN_x/N-rich SiN_y多层膜结构的量子点构筑及发光特性被引量:3
《物理学报》2010年第8期5823-5827,共5页黄锐 王旦清 宋捷 丁宏林 王祥 郭艳青 陈坤基 徐骏 李伟 马忠元 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB932202,2007CB613401);国家自然科学基金(批准号:60806046)资助的课题~~
利用等离子体增强化学气相沉积法制备Si-rich SiNx/N-rich SiNy多层膜,分别使用热退火和激光辐照技术对多层膜进行退火,以构筑三维限制、尺寸可控、有序的硅纳米晶.实验结果表明,经退火后,纳米硅晶粒在Si-rich SiNx子层内形成,其尺寸可...
关键词:氮化硅 多层膜 限制结晶 纳米晶硅 
Ni增强Er在富硅氮化硅薄膜中的光致发光被引量:1
《北京大学学报(自然科学版)》2010年第1期12-16,共5页孙凯 徐万劲 冉广照 
国家重点基础研究发展计划项目(2007CB613401);国家自然科学基金(50732001;10574008;10674012;10874001;60877022)资助
采用反应磁控溅射技术沉积了掺Er的富硅氮化硅(SRN:Er)薄膜和SRN:Er/Ni3个周期的超晶格,两种薄膜都在1100℃进行退火实验。SRN:Er薄膜的光致发光谱为一个峰位在665~750nm的发光带和一个峰位在1.54μm的发光带,前者来源于SRN薄膜中的纳...
关键词:富硅氮化硅 ER NI 光致发光 
Z扫描法研究nc-Si/SiNx多量子阱材料非线性光学特性被引量:1
《半导体光电》2009年第6期878-882,共5页沈海波 郭亨群 王国立 王加贤 吴志军 宋江婷 徐骏 陈坤基 王启明 
国家自然科学基金项目(60678053);国家“973”计划项目(2007CB613401);集成光电子国家联合重点实验室开放课题;国家自然科学基金重点项目(60838003);华侨大学科研基金资助项目(07BS108)
采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了nc-Si/SiNx多量子阱材料。对样品进行了小角度XRD、Raman光谱、吸收光谱测试,研究了其结构和光学性质。采用皮秒脉冲激光单光束Z-扫描技术研究了样品在非共振吸收区的三阶非线性光学特性。...
关键词:nc-Si/SiNx多量子阱材料 Z-扫描 非线性折射率 非线性吸收 
硅基掺锰富硅氧化硅薄膜的电致发光
《光谱学与光谱分析》2009年第7期1736-1739,共4页文杰 陈挺 冉广照 
国家自然科学基金项目(10574008;10674012;50732001);国家重点基础研究发展计划"973"计划项目(2007CB613401)资助
硅光子学中的关键问题是研制高效率的硅基光源,文章为此提出了一种实现硅基发光的方法。采用共溅射的方法在n+型重掺杂硅衬底上制备了富硅氧化硅(SiO2∶Si)薄膜,然后用热扩散法进行了锰(Mn2+)掺杂和光学活化。高分辨透射电镜观察表明薄...
关键词:纳米硅 Mn2+ 电致发光 光致发光 
不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质被引量:6
《物理学报》2009年第11期7878-7883,共6页宋超 陈谷然 徐骏 王涛 孙红程 刘宇 李伟 陈坤基 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613401);国家自然科学基金(批准号:10874070);高等学校博士学科点专项基金(批准号:20070284020)资助的课题~~
采用等离子体化学气相沉积技术制备氢化非晶硅薄膜,经过不同温度下的热退火处理,使薄膜由非晶结构向晶化结构转变,得到含有纳米晶粒的晶化硅薄膜.在晶化过程中,采用Raman技术对样品的结构进行表征.通过变温电导率的测试,对薄膜的电学输...
关键词:氢化非晶硅 退火 纳米硅 电输运 
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