国家自然科学基金(90407020)

作品数:10被引量:49H指数:4
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一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法
《航空制造技术》2007年第6期80-82,89,共4页饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项(90407020)资助项目。
针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pullin)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响。通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动...
关键词:平板电容驱动器 有效行程 拉入 MEMS 
环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较被引量:1
《光电工程》2006年第12期109-112,共4页李开成 苑伟政 乔大勇 姜澄宇 李晓莹 
国家自然科学基金资助项目(90407020)
在波前校正中,环形阵列的分立式微变形镜充分利用了各个单元。环形阵列的分立式微变形镜有等单元面积和等单元宽度两种设计准则,以37单元环形阵列微变形镜为例,从校正波前适配误差和校正后剩余波前的Strehl比两方面对两种设计准则进行...
关键词:微机电系统 环形微变形镜 波前适配误差 Strehl比 
分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计被引量:5
《传感技术学报》2006年第05A期1761-1763,1767,共4页虞益挺 苑伟政 乔大勇 李晓莹 
国家自然科学基金资助项目(90407020);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-05-0869)
利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设...
关键词:微变形镜 分立活塞式 系统级 集成设计平台 
一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究被引量:6
《传感技术学报》2006年第6期2662-2664,共3页乔大勇 苑伟政 马志波 李开成 李晓莹 
国家自然科学基金资助(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助
为了消除静电塌陷对静电吸引力微驱动器冲程的限制,设计了一种基于静电排斥力的纵向微驱动器实现结构,其可动电极和固定电极在工作过程中互相远离,可以从根本上解决静电塌陷问题,且冲程不受牺牲层厚度的限制;借助Maxwell2D软件,采用数...
关键词:静电排斥力 纵向微驱动器 冲程 微机电系统 
一种新型CCD图像采集系统设计被引量:4
《传感技术学报》2006年第4期1250-1252,共3页马志波 乔大勇 虞益挺 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金项目资助(90407020)
结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以...
关键词:ICX038BLA 驱动电路 电荷耦合器件 FIFO 
几种分立式微变形镜的性能模拟与比较
《光学仪器》2005年第5期60-63,共4页饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020)
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Streh l比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形与砖形排列的微变形镜设计简单,但波前校正性能较差;圆形及蜂窝形微变形镜具有较高的波前校正性能,但设计加工...
关键词:微机电系统 波前校正性能 波前校正器 自适应光学系统 
大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究被引量:2
《西北工业大学学报》2005年第5期637-641,共5页乔大勇 苑伟政 饶伏波 
国家自然科学基金(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助
针对微变形镜镜面残余应力变形问题,使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况,得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线,确定了特定应力下最佳的金属反射面大小;此外,还利用弹性系数可变的折叠梁对...
关键词:微机电系统 分立式微变形镜 大冲程 低PV值 
几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较
《航空精密制造技术》2005年第5期14-17,共4页乔大勇 饶伏波 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助项目
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,...
关键词:微机电系统 自适应光学技术 微变形镜 排列方式 
一种新型CCD驱动电路设计方法被引量:27
《传感技术学报》2005年第2期388-390,共3页虞益挺 饶伏波 乔大勇 苑伟政 
国家自然科学基金资助项目(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助项目
在结合直接数字电路驱动法与单片机口驱动法的基础上,设计了一种新型的CCD驱动电路,保留了原有两种方法各自的优点。仿真与实验结果表明该方法能提供多路驱动时序,驱动频率高,硬件电路简单,编程方便,具有较好的性价比及应用推广价值,已...
关键词:CCD ICX038BLA 驱动电路 电荷耦合器件 
自适应光学系统MEMS微变形镜的研究被引量:5
《纳米技术与精密工程》2004年第4期288-293,共6页饶伏波 乔大勇 苑伟政 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020).
指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱 的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题.
关键词:MEMS技术 自适应光学系统 驱动 分立式 电容式 优点 性能 瓶颈 研究所 
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