国家自然科学基金(60378021)

作品数：8被引量：21H指数：3
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相关作者：王洪昌陈玲燕王占山王风丽张众更多>>
相关机构：同济大学中国科学技术大学中国科学院更多>>
相关期刊：《Optoelectronics Letters》《光学精密工程》《Chinese Optics Letters》《光学仪器》更多>>
相关主题：多层膜周期多层膜MO/SIMAGNETRON_SPUTTERINGMULTILAYERS更多>>
相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
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用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)被引量：8
《光学精密工程》2007年第12期1838-1843,共6页徐垚 王占山 徐敬 张众 王洪昌 朱京涛 王风丽 王蓓 秦树基 陈玲燕 
Supported by the National Natural Science Foundation of China( No 60378021 and 10435050);the Programfor New Century Excellent Talents in University(No NCET-04-0376)
介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子...
关键词：X射线衍射仪 低原子序数材料 反射率测试 薄膜 
极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)被引量：4
《光学精密工程》2007年第12期1886-1893,共8页朱京涛 王占山 王洪昌 张众 王风丽 秦树基 陈玲燕 崔明启 赵屹东 孙丽娟 周洪军 霍同林 
Supported by the National Natural Science Foundation of China (No 60378021 and 10435050);the Programfor New Century Excellent Talents in University (No NCET-04-0376)
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征...
关键词：偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射 
Investigation of nanometer-scale films using low angle Xray reflectivity analysis in IPOE被引量：1
《Optoelectronics Letters》2007年第2期88-90,共3页WANG Zhan-shan XU Yao WANG Hong-chang ZHU Jing-tao ZHANG Zhong WANG Feng-li CHEN Ling-yan 
This work was supported by the National Natural Science Foun-dation of China(10435050,60378021);the National 863-804Sustentation Fund(2006AA12Z139);the Program for New Cen-tury Excellent Talents in University(NCET-04-037);the RoyalSociety,London(NC/China/16660);Tongji University scien-tific fund.
The X-ray low angle reflectivity measurement is used to investigate single and bilayer films to determine the parameters of nanometer-scale structures,three effectual methods are presented by using X-ray reflectivity ...
关键词：IPOE 纳米级薄膜 X线反射率分析 多层结构 参数 
B_4C/Mo/Si high reflectivity multilayer mirror at 30.4 nm
《Chinese Optics Letters》2006年第10期611-613,共3页王占山 张淑敏 吴文娟 朱京涛 王洪昌 李存霞 徐垚 王风丽 张众 陈玲燕 周洪军 霍同林 
This work was supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 60378021 and 10435050)the Program for New Century Excellent Talents in University (No. NCET-04-0376)the Science Fund of Tongji University.
The B4C/Mo/Si high reflectivity multilayer mirror was designed for He-II radiation （30.4 nm） using the layer-by-layer method. The theoretical peak reflectivity was up to 38.2% at the incident angle of 5°. The B4C/M...
关键词：Magnetron sputtering MULTILAYERS REFLECTION Synchrotron radiation 
Determination of the deposition rate of DC magnetron sputtering in fabrication of X-ray supermirrors被引量：2
《Chinese Optics Letters》2006年第9期550-552,共3页王风丽 王占山 朱京涛 张众 吴文娟 张淑敏 陈玲燕 
This work was supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 10435050, 60378021)the National "863" Program of China (No. 2005AA843031),the Program for New Century Excellent Talents in Uni-versity, and the Science Foundation of Tongji University.
X-ray supermirror is a non-periodic multilayer structure, whose optical performance is greatly affected by the stability and accuracy of the deposition rate in the fabrication using the direct current （DC） magnetron...
关键词：DEPOSITION Magnetron sputtering MULTILAYERS Optical properties SUBSTRATES X rays 
最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响被引量：3
《光学仪器》2006年第4期48-51,共4页王风丽 张众 朱京涛 王洪昌 吴文娟 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(60378021);同济大学理科发展基金资助项目
选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1.40°~1...
关键词：非周期多层膜 光学性能 最小膜层厚度 掠入射角 X射线超反射镜 
磁控溅射材料沉积速率的定标方法的研究被引量：1
《光学技术》2005年第4期537-539,共3页吴文娟 王占山 张众 王洪昌 王风丽 秦树基 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(60378021);上海市科技发展基金资助项目(022261049;0352nm090)
介绍了一种利用磁控溅射制备多层膜速率的定标方法。用高精度磁控溅射镀膜设备在同一块基片上先后镀制了两种周期的多层膜,用X射线衍射仪对其进行掠入射衍射测量,测量数据经线性拟合,可同时求得两种多层膜的周期,进而得到镀膜速率。与...
关键词：多层膜 磁控溅射 定标 
窄光谱带宽X射线刻蚀多层膜光栅被引量：3
《光学精密工程》2004年第2期226-230,共5页吴文娟 王占山 秦树基 王风丽 王洪昌 张众 陈玲燕 徐向东 付绍军 
国家自然科学基金资助课题(No.60378021);国家863 804 7 5资助课题
结合X射线荧光分析和同步辐射单色器对窄光谱带宽多层膜的需求,开展了窄光谱带宽刻蚀多层膜光栅的理论和实验研究。用平均密度法从理论上阐明将多层膜刻蚀成不同刻蚀比的多层膜光栅后,光谱分辨率将得到提高。用磁控溅射方法制备了W/C多...
关键词：多层膜 光栅 带宽 刻蚀 光谱分辨率 刻蚀比 X射线荧光分析 同步辐射 单色器 
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