国家自然科学基金(90607002)

作品数：23被引量：78H指数：6
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单轴应力下热氧化SiO_2的介电电致伸缩系数研究
《微纳电子技术》2012年第5期302-305,312,共5页董维杰 陈小卫 崔岩 黄见秋 
国家自然科学基金资助项目(90607002);辽宁省教育厅资助项目(LS2010038)
微机电系统和集成电路中常用的热氧化SiO2是各向同性材料,研究了其在单轴应力场中介电常数的变化规律。依据介质在自由和束缚两种边界条件下受到单轴应力作用产生的应变不同,从电动力学基本关系出发推导了各向同性电介质两种边界下的介...
关键词：SIO2薄膜 介电电致伸缩系数 微悬臂梁 单轴应力 机械边界条件 
压电微悬臂梁探针的制作工艺研究被引量：2
《西安交通大学学报》2011年第1期79-82,共4页崔岩 张吕权 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(90607002);辽宁省自然科学基金资助项目(20082169)
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使...
关键词：压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数 
压电陶瓷管的微位移测量与非线性校正被引量：8
《光学精密工程》2009年第9期2212-2217,共6页董维杰 宋志杨 崔岩 
国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
为了对原子力显微镜(AFM)中压电陶瓷管扫描位移进行非线性校正,提出了一种微位移测量与校正的简易方法。采用涡流位移传感器测量微位移,将其放大100倍以提高检测灵敏度;得到了压电陶瓷管的位移-电压曲线,其最高位移分辨率计算值为0.4 n...
关键词：压电陶瓷管 涡流位移传感器 位移测量 非线性校正 虚拟仪器 
掩模偏转方向对硅尖形状的影响被引量：3
《光学精密工程》2009年第8期1865-1869,共5页崔岩 石二磊 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
为制备高纵横比的纳米硅尖,研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程,采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀(100)单晶硅的方法制备硅尖,根据实验结果和{411}晶面模型,分析了硅尖侧壁的组成晶面,讨论了掩模偏转方向对硅...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 掩模 
采用芯片直接安装技术封装的风速风向传感器
《机械工程学报》2009年第1期218-222,共5页沈广平 张骅 吴剑 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点资助项目(90607002)。
提出一种采用芯片直接安装(Direct chip attach,DCA)技术封装的风速风向传感器的设计,制备和测试结果。该传感器采用圆形结构,利用热温差的方法测量二维风速和风向。其利用两步金属剥离工艺直接将在感风陶瓷基板上芯片制作出传感器芯片...
关键词：芯片直接安装 风速传感器 风向传感器 微系统封装 
各向异性腐蚀制备纳米硅尖被引量：4
《微纳电子技术》2008年第12期724-728,共5页石二磊 崔岩 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金(90607002)
采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52～2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 晶面 掩模 
利用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制
《电子工程师》2008年第10期70-73,共4页吉文婷 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点项目(90607002)
介绍了一种本实验室开发的CMOS工艺的电容式传感器的接口电路。重点分析了基于施密特触发器的张弛振荡器接口电路,实现了敏感电容以及参考电容与频率的转换。通过对两频率求差来抑制各种共模干扰。对样片进行了测试,输出频率与理论值基...
关键词：MEMS(微电子机械系统) 微电容式传感器 接口电路 差频电路 温漂特性 
基于磁阻传感器与微处理器的二维磁电子罗盘的设计被引量：12
《功能材料与器件学报》2008年第2期557-560,共4页李怡达 张中平 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点项目(No.90607002)资助课题
介绍了磁电子罗盘的工作原理。利用Honeywell的HMC1022双轴磁阻传感器设计了一种小型化的电子罗盘。信号调理电路采用AD8656高精度放大器。利用C8051F350微处理器完成A/D转换、方位角计算以及数字化输出等工作。采用置位电路配合微处理...
关键词：磁阻传感器 微处理器 二维磁电子罗盘 
一种基于C8051F330的二维风速风向传感器微系统被引量：2
《传感技术学报》2008年第4期695-697,共3页吴剑 沈广平 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点项目资助课题(90607002)
设计了一种利用C8051单片机的二维风速风向测试系统,通过PID控制使传感器工作在恒温差模式,可以测试风速和风向。该系统基于请求式测量,具有面积小(2cm×2cm),通用性强(采用5V电压,10位二进制输出),两线制数字接口全标定输出(可直接送LC...
关键词：C8051F330 恒温差 PID 风速风向传感器 
一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试被引量：2
《传感技术学报》2008年第4期578-580,共3页黄晓东 王斌 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点项目资助课题(90607002)
提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化。同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理。该传感器结构简单,实现了与CMOS接口电路集成。...
关键词：单片集成 电容式压力传感器 接口电路 
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