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国家自然科学基金(60506015): 作品数：12被引量：26H指数：3; 导出分析报告; 相关作者：董林玺孙玲玲钱忺陈金丹刘国华更多>>; 相关机构：杭州电子科技大学更多>>; 相关期刊：《Journal of Semiconductors》《传感技术学报》《电子学报》更多>>; 相关主题：MEMSNOVELBIAXIALSLIDESENSING更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>

MEMS圆盘谐振器形变对电气刚度影响分析被引量：1: 《传感技术学报》2014年第7期881-885,共5页董林玺俞权包金艳陶家平; 国家自然科学基金项目(60506015);浙江省自然科学基金项目(Y107105);GHz频率机械耦合阵列组合的盘结构电容式微机械谐振器关键技术研究项目(61376117);规模集成振动微机械谐振器的静电调谐技术研究项目(LY13F040004); 电气刚度是影响MEMS谐振器谐振频率精度的因素之一。但是对于谐振器受到应力时,产生的形变量对电气刚度的影响的理论研究报道甚少。鉴于此,本文对电容式盘结构谐振器受径向静电力和纵向惯性力下的形变量以及电气刚度的改变量进行了系统...; 关键词：MEMS圆盘谐振器静电力惯性力形变量电气刚度

倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究被引量：4: 《传感技术学报》2013年第10期1357-1363,共7页董林玺楼进峰; 国家自然科学基金项目(60506015);浙江省自然科学基金项目(Y107105);GHz频率机械耦合阵列组合的盘结构电容式微机械谐振器关键技术研究项目(61376117);规模集成振动微机械谐振器的静电调谐技术研究项目(LY13F040004); 研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的...; 关键词：电容式加速度传感器自我标定正负侧壁倾斜角

新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究被引量：3: 《电子学报》2010年第5期1053-1057,共5页董林玺焦继伟颜海霞孙玲玲; 国家自然科学基金(No.60506015);浙江省自然科学基金(No.Y107105);传感技术联合国家重点实验室开发基金; 增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器...; 关键词：电容式加速度计惯性传感器高精度深度粒子反应刻蚀

Characteristics of a novel biaxial capacitive MEMS accelerometer: 《Journal of Semiconductors》2010年第5期63-68,共6页董林玺李永杰颜海霞孙玲玲; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60506015);the Zhejiang Provincial Natural Science Foundation of China(No.Y107105).; A novel MEMS accelerometer with grid strip capacitors is developed.The mechanical and electrical noise can be reduced greatly for the novel structure design.ANSOFT-Maxwell software was used to analyze the fringing ele...; 关键词：MEMS biaxial accelerometer capacitor fringe effect slide-film damping

不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：2: 《传感技术学报》2010年第4期501-507,共7页董林玺李寿洛陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲; 国家自然科学基金资助项目资助(60506015);浙江省自然科学基金资助项目资助(Y107105); 改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑...; 关键词：MEMS 微电容式惯性传感器检测电容结构

A novel MEMS inertial sensor with enhanced sensing capacitors被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2009年第5期36-42,共7页董林玺颜海霞霍卫红许立李永杰孙玲玲; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60506015);the Zhejiang Provincial Natural Science Foundation of China(No.Y107105); A novel MEMS inertial sensor with enhanced sensing capacitors is developed. The designed fabricated process of the sensor is a deep RIE process, which can increase the mass of the seismic to reduce the mechanical nois...; 关键词：capacitive accelerometer inertial sensor high precision DRIE

A novel capacitive micro-accelerometer with grid strip capacitances and sensing gap alterable capacitances: 《Journal of Semiconductors》2009年第3期72-77,共6页董林玺陈金丹颜海霞霍卫红李永杰孙玲玲; supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 60506015);the Zhejiang Provincial Natural ScienceFoundation of China (No.Y107105).; The comb capacitances fabricated by deep reactive ion etching （RIE） process have high aspect ratio which is usually smaller than 30 ： 1 for the complicated process factors, and the combs are usually not parallel du...; 关键词：capacitive accelerometer inertial sensor high precision deep RIE

低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析被引量：1: 《传感技术学报》2009年第3期331-336,共6页陈金丹董林玺颜海霞霍卫红李永杰孙玲玲; 国家自然科学基金资助项目(60506015);浙江省自然科学基金资助项目(Y107105); 一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点。通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析,着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性...; 关键词：MEMS 高精度微传感器阶跃响应分析倾斜梳齿

倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究被引量：12: 《电子学报》2008年第5期1035-1040,共6页董林玺颜海霞钱忺孙玲玲; 国家自然科学基金(No.60506015);浙江省自然科学基金(No.Y107105); DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器...; 关键词：高精度微传感器倾斜梳齿惯性脉冲响应 MEMS

A Novel Capacitive Biaxial Microaccelerometer Based on the Slide-Film Damping Effect被引量：1: 《Journal of Semiconductors》2008年第2期219-223,共5页董林玺颜海霞钱忺孙玲玲; 国家自然科学基金资助项目(批准号:60506015)~~; A novel capacitive biaxial microaccelerometer with a highly symmetrical microstructure is developed. The sensor is composed of a single seismic mass, grid strip, supporting beam, joint beam, and damping adjusting comb...; 关键词：capacitive accelerometer inertial sensor high resolution MEMS

国家自然科学基金(60506015)