广西高校百名中青年学科带头人计划项目(RC20060809014)

作品数：9被引量：40H指数：4
导出分析报告
相关作者：王华任明放许积文杨玲刘心宇更多>>
相关机构：桂林电子科技大学郑州铁路职业技术学院更多>>
相关期刊：《电工材料》《湖南科技大学学报（自然科学版）》《兵器材料科学与工程》《功能材料》更多>>
相关主题：磁控溅射透明导电薄膜ZNO光电性能ZAO薄膜更多>>
相关领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
掺杂及溅射功率对ZnO：Al薄膜结构与电性能的影响被引量：2
《兵器材料科学与工程》2010年第2期19-22,共4页任明放 冯湘 王华 许积文 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
采用直流磁控溅射工艺,室温下在载玻片上制备ZnO∶Al透明导电薄膜。研究Al掺杂和溅射功率对薄膜生长取向、微观结构和电阻率的影响。研究表明：不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜均为高度c-轴择优取向生长;在1%～3%（质量分数）的掺杂范围内...
关键词：氧化锌铝 透明导电薄膜 导电性能 磁控溅射 
氧化锌薄膜的p型掺杂及其制备方法被引量：1
《兵器材料科学与工程》2009年第3期99-104,共6页许积文 王华 任明放 杨玲 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
氧化锌(ZnO)是直接宽带隙半导体材料,有高达60 meV的激子束缚能,是下一代短波长光电材料的潜在材料。有效的p型ZnO薄膜掺杂是实现ZnO基光电器件的基础,虽然取得一定的进展,但从性能上来看,远远不及n型ZnO薄膜,而且重复性差。分析难于实...
关键词：ZNO P型掺杂 综述 制备方法 
热处理工艺对室温制备ZnO∶Al薄膜结构与光电性能的影响被引量：2
《人工晶体学报》2009年第5期1189-1192,1198,共5页任明放 王华 许积文 杨玲 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(No.RC20060809014)
采用室温溅射加后续退火工艺制备了ZnO∶Al透明导电薄膜。研究了热处理工艺对薄膜微观结构和光电性能的影响。研究表明:退火有助于减小Al3+对Zn2+的取代造成的晶格畸变,消除应力,促进晶粒长大,有效提高电子浓度和迁移率,降低电阻率;当...
关键词：ZnO∶Al 光电性能 磁控溅射 退火工艺 
室温溅射制备氧化锌铝薄膜及电性能研究被引量：4
《太阳能学报》2009年第3期344-347,共4页任明放 王华 许积文 杨玲 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划(RC20060809014)
采用直流磁控溅射工艺,室温下在载玻片上制备了氧化锌铝透明导电薄膜。研究了溅射功率和氩气压强对薄膜微观结构和电性能的影响。研究表明:溅射功率和氩气压强通过改变晶粒尺寸和晶界所产生的散射作用而影响薄膜的导电性能。溅射功率低...
关键词：氧化锌铝 透明导电薄膜 导电性能 磁控溅射 
掺杂及工艺条件对室温制备ZnO∶Al性能的影响被引量：6
《液晶与显示》2009年第1期52-56,共5页任明放 王华 许积文 杨玲 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(No.RC20060809014)
采用直流磁控溅射工艺,在室温条件下制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜,研究了Al掺杂量和溅射工艺参数等对ZAO薄膜光电性能的影响。结果表明:Al掺杂量和溅射工艺参数均对薄膜的电阻率有显著影响,在Al掺杂质量分数为3%、溅射功率为100W以及Ar压强为...
关键词：氧化锌铝 透明导电薄膜 光电性能 磁控溅射 
常压固相烧结法制备ZAO靶材及其性能的研究被引量：16
《湖南科技大学学报（自然科学版）》2008年第1期27-30,共4页刘心宇 李海麒 江民红 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
采用常压固相烧结法,通过优化烧结工艺,制备出平整、组织均匀、致密的ZAO靶材.研究了掺杂含量、烧结温度对陶瓷靶材微观结构和性能的影响,并使用自制靶材,采用射频磁控溅射法镀膜.结果表明:Al2O3的掺杂没有破坏ZnO晶体结构,Al原子对Zn...
关键词：ZAO薄膜 陶瓷靶材 微观结构 
溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展被引量：3
《电工材料》2008年第1期31-36,共6页徐模辉 王华 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
溶胶-凝胶法是一种高效的制膜技术。本文综述了溶胶-凝胶法制备氧化锌铝(ZAO)透明导电氧化物薄膜(TCO)的原理、特点及研究进展,指出了采用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜今后急需解决的问题。
关键词：溶胶-凝胶法 氧化锌铝(ZAO) 透明导电氧化物薄膜(TCO) 
高密度与低电阻率ZnO:Al靶材的制备及缺陷分析被引量：8
《功能材料》2007年第9期1457-1459,1463,共4页许积文 王华 任明放 杨玲 
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
以纳米量级的ZnO和Al2O3粉体为原料,通过湿式球磨得到了混合粉体,再经过模压成型与常压烧结工艺即可获得致密度超过95%的ZnO∶Al陶瓷靶材,其电阻率可达10-2Ω.cm数量级。高致密度的原因在于纳米粉体具有大的比表面积和粒子数,烧结均匀,...
关键词：ZAO靶材 纳米粉体 致密度 电阻率 黑点 
无反应直流溅射中功率对ZnO：Al薄膜光电性能与形貌的影响
《功能材料》2007年第A01期300-302,共3页许积文 王华 任明放 成钢 
基金项目：广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目（RC20060809014）
采用氧化锌铝陶瓷靶材，在室温下使用无氧直流磁控溅射法于载玻片衬底上制备了ZnO：Al透明导电薄膜，研究了溅射功率对薄膜微观结构、电阻率和透光率的影响。结果表明：薄膜具有六方纤锌矿结构并沿C轴择优取向生长，沉积速率与溅射功率...
关键词：ZAO薄膜 功率 电阻率 透光率 形貌 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部