国家自然科学基金(90923001)

作品数:15被引量:39H指数:4
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相关机构:西安交通大学中国工程物理研究院中国计量科学研究院中国计量大学更多>>
相关期刊:《科学通报》《机械工程学报》《Journal of Advanced Dielectrics》《现代电子技术》更多>>
相关主题:计量学线宽测量原子力显微镜MEMS压力传感器更多>>
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大长径比台阶钨探针制备方法研究被引量:3
《计量学报》2017年第S1期47-50,共4页高思田 施玉书 李伟 徐靖涛 景蔚萱 杨树明 王琛英 
质检公益性行业科研专项(10-1);国家自然科学基金(90923001);国家重点研发计划(2016YFF0200602; 2016YFA0200901)
研究了基于电化学腐蚀法的大长径比台阶钨探针针尖制备方法,该探针可用于针尖增强拉曼光谱测控系统。在实验室自主设计研制的包含电化学腐蚀控制电路的探针制备装置上,通过精密压电陶瓷控制探针腐蚀时间和位移,获得了长径比可控、重复...
关键词:计量学 电化学腐蚀 钨探针 长径比 
新型多铁层合异质结及其在可调微波器件中的应用被引量:4
《科学通报》2014年第36期3591-3602,共12页刘明 
高等学校学科创新引智计划(B14040);国家自然科学基金(90923001);中央高校基本科研业务费专项资金资助
电压调控磁序的研究,对于实现超快响应、微型化和低功耗的电子器件具有重要的理论和实践意义.同时具有铁电和铁磁特性的多铁异质结可通过基于应变诱导的磁电耦合效应实现由电压调控磁特性,从而引起了学术界的广泛关注.在多铁异质结中,...
关键词:多铁异质结 磁电耦合 非易失性调控 微波器件 铁氧体 
数字化校园主页信息管理系统的设计和实现
《现代电子技术》2013年第18期69-72,共4页冯兴利 锁志海 徐墨 
国家自然科学基金重点项目(90923001)
旧版西安交通大学主页为静态网站,无数据库支持,制作、维护、升级和扩展的工作量巨大。为此,采用Smarty模板引擎设计开发了基于MySQL的学校主页信息管理系统,大大提高了网站的建设和运行效率。系统集成了学校统一身份认证平台,方便了用...
关键词:模板引擎 静态网站 同步 信息系统 数字化校园 
点衍射干涉仪系统误差标定算法研究被引量:4
《机械工程学报》2013年第16期48-56,共9页蒋庄德 高芬 李兵 
国家自然科学基金(51275398);国家自然科学基金重点(90923001);国家科技重大专项(2011ZX04004-061);高等学校学科创新引智计划(B12016);教育部科学技术研究重大(311001);长江学者和创新团队发展计划(IRT1033)资助项目
为评估面形检测点衍射干涉仪的检测精度,提出用被检镜倾斜旋转法标定点衍射干涉仪的系统误差,研究可同时分离出被检球面镜旋转对称及旋转非对称面形误差的标定算法。将被检球面镜绕初始光轴及相对成小角度的倾斜光轴作两次平分角度旋转...
关键词:点衍射 面形误差 衍射波面 旋转对称 旋转非对称 
A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology
《Journal of Zhejiang University-Science C(Computers and Electronics)》2013年第4期274-278,共5页Li-bo ZHAO Long-qi XU Gui-ming ZHANG Yu-long ZHAO Xiao-po WANG Zhi-gang LIU Zhuang-de JIANG 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Nos. 50836004,50905139,and 90923001);the Fundamental Research Funds for the Central Universities (No. xjj20100140);the Science and Technology Research Project of Shaanxi Province (No. 2012KJXX-01);the Program of Changjiang Scholars and Innovative Research Team in University (No. IRT1033);the 111 Program (No. B12016),China
A trapezoidal cantilever density sensor is developed based on micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology. The sensor measures fluid density through the relationship between the density and the resonant frequ...
关键词:Micro-electro-mechanical systems (MEMS) Density sensor Trapezoidal cantilever Resonant frequency 
Enhanced ferroelectric properties of highly(100)oriented Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_(3) thick films prepared by chemical solution deposition
《Journal of Advanced Dielectrics》2013年第2期39-46,共8页Wanlin Zhu Wei Ren Hong Xin Peng Shi Xiaoqing Wu 
supported by the Natural Science Foundation of China(Grant No.90923001);the International Science&Technology Cooperation Program of China(Grant Nos.2010DFB13640 and 2011DFA51880);the Shaanxi Province International Collaboration Program(Grant Nos.2009KW-12 and 2010KW-09).
Ferroelectric Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_(3)(PZT)thick films with highly(100)preferential orientation have been prepared by chemical solution deposition process on Pt/Ti/SiO_(2)/(100)Si substrates and pyrolyzed at 350℃-...
关键词:PZT films (100)preferred orientation PbO excess pyrolysis temperature electrical properties 
特种微机电系统压力传感器被引量:13
《机械工程学报》2013年第6期187-197,共11页蒋庄德 田边 赵玉龙 赵立波 
国家自然科学基金(90923001);国家科技重大专项(2011ZX04004-061);高等学校学科创新引智计划(B12016);教育部科学技术研究重大(311001);长江学者和创新团队发展计划(IRT1033)资助项目
通过对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器设计方法与封装制作工艺问题的研究,针对不同应用环境下对压力传感器的性能、尺寸及封装要求,提出相应的传感器力学结构模型——微压结构、梁膜结构及倒杯结构,通过...
关键词:微机电系统 压力传感器 封装 微型 倒杯 梁膜 
典型纳米结构制备及其测量表征被引量:5
《中国工程科学》2013年第1期15-20,27,共7页蒋庄德 王琛英 杨树明 
国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923001);教育部科学技术研究重大计划项目(311001);高等学校学科创新引智计划项目(B12016)
针对纳米器件中的典型几何特征,制备了3种纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,...
关键词:纳米栅线 纳米台阶 EBL ICP FIB 
复合式叶片型面测量系统的误差分析与补偿被引量:6
《中国工程科学》2013年第1期39-44,共6页李兵 陈磊 丁建军 蒋庄德 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2007CB707703);国家自然科学基金重点项目(90923001);国家自然科学基金面上项目(51075322)
针对具有复杂型面的叶片类零件检测中所面临的数字化测量问题,提出了一种复合式的测量原理与方法。分别采用接触式的电感原理和非接触式的激光三角原理测量叶片的叶根基准以及叶身型面,并基于此原理设计研制了叶片型面四坐标测量系统。...
关键词:叶片型面 复合式测量原理 误差分析 误差补偿 激光干涉测量 
THICKNESS-DEPENDENCE OF RESIDUAL STRESS IN LEAD-FREE FERROELECTRIC K_(0.5)Na_(0.5)NbO_(3) FILMS
《Journal of Advanced Dielectrics》2012年第4期55-61,共7页LINGYAN WANG WEI REN PHOI CHIN GOH KUI YAO PENG SHI XIAOQING WU 
the support from the Natural Science Foundation of China(Grant No.90923001);the International Science and Technology Cooperation Program of China(Grant Nos.2010DFB13640 and 2011DFA51880);the Shaanxi Province International Collaboration Program(Grant Nos.2009KW-12 and 2010KW-09);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(Grant No.0105-08143078);supported by the research grant,SERC of A*STAR(Agency for Science,Technology and Research),Singapore(No.0921150112)。
Lead-free ferroelectric K_(0.5)Na_(0.5)NbO_(3)(KNN)films with different thicknesses were prepared by polyvinlypyrrolidone(PVP)-modified chemical solution deposition(CSD)method.Their residual stresses were studied with...
关键词:K_(0.5)Na_(0.5)NbO_(3)films different thicknesses residual stresses XRD method nanoindentation fracture method 
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