北京市自然科学基金(4982005)

作品数：7被引量：13H指数：3
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相关期刊：《仪器仪表学报》《红外与激光工程》《半导体技术》《光电工程》更多>>
相关主题：微机械红外探测器新型红外探测器微腔室温更多>>
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MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用被引量：2
《半导体技术》2004年第10期27-30,34,共5页阳启明 张剑铭 杨道虹 徐晨 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(69976004;60276033;北京市自然科学基金资助项目(4982005) ;北京市教委科技发展项目(KM200310005009)
随着微探测器的广泛应用,M E M S 技术因其微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,被越来越多地应用于微探测器的制造工艺中,为该领域的研究提供了新途径。本文简要介绍了 MEMS 技术的工艺及其主要特点,并对 MEMS 技...
关键词：非制冷红外探测器 MEMS技术 工艺兼容性 制造工艺 集成 智能 新途径 领域 主要特点 
微机械气体红外探测器的CFD模拟
《测控技术》2004年第5期14-15,35,共3页吴峻苗 邹德恕 高国 李兰 刘铮 杨道虹 
国家自然科学基金资助项目(69976004);北京自然科学基金资助项目(4982005)
概要地介绍了一种可工作于室温环境下的微型气体红外探测器,它基于气体吸收红外辐射后以无辐射去激励方式产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。为深入研究热效应所产生的微热信号对器件整体性能的控制和影响,...
关键词：微机械 气动红外探测器 流体力学(CFD)模拟 
新型室温微机械红外探测器原理与设计被引量：3
《光电工程》2004年第2期34-36,43,共4页李兰 沈光地 邹德恕 刘铮 邓军 杨道虹 吴畯苗 
国家自然科学基金(69976004);北京市自然科学基金(4982005)资助项目
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的...
关键词：红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体 
新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究被引量：5
《红外与激光工程》2003年第6期651-654,共4页李兰 董典红 刘铮 邓军 徐晨 邹德恕 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(69976004);北京市自然科学基金资助项目(4982005);北京市教委资助项目(KM200310005009)
基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用...
关键词：微机械 红外探测器 湿法腐蚀 EPW腐蚀液 
新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制被引量：3
《红外与激光工程》2003年第5期452-455,共4页刘铮 李兰 邹德恕 杨道虹 徐晨 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(69976004和60276033);北京市自然科学基金资助项目(4982005);北京市教委科技发展项目(KM200310005009)
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品...
关键词：微机械 红外探测器 非制冷 红外吸收气体 
新型室温工作微机械红外探测器
《仪器仪表学报》2003年第z2期140-141,共2页李兰 刘铮 邹德恕 沈光地 
国家自然科学基金(69976004);北京市自然科学基金(4982005)
提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外...
关键词：红外探测器 微机械 弹性敏感薄膜 红外吸收气体 
硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析被引量：2
《传感器技术》2001年第3期48-50,53,共4页董欣 吴畯苗 邹德恕 史衍丽 邓军 杜金玉 高国 沈光地 
国家自然科学基金资助 !(699760 0 4);北京自然科学基金 !(4982 0 0 5 )
在微传感器和微机械结构的静电键合实验中 ,当加电压到键合片对上时 ,外电路的电流迅速上升到一定值后 ,不是逐渐减小 ,而是较缓慢的继续上升 ,或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析 ,认为键合的电流 -时间...
关键词：硅-玻璃 静电键合 电流-时间特性 微机械 微传感器 
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