长江学者和创新团队发展计划(IRT0609)

作品数:71被引量:171H指数:6
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Cl_2/Ar/O_2环境下使用光刻胶掩膜的感应耦合等离子体(ICP)刻蚀GaAs的研究被引量:3
《真空科学与技术学报》2017年第3期286-289,共4页范惠泽 刘凯 黄永清 蔡世伟 任晓敏 段晓峰 王琦 刘昊 吴瑶 费嘉瑞 
信息光子学与光通信国家重点实验室(北京邮电大学)基金项目(IPOC2016ZT10);国家重点基础研究发展计划项目(2010CB327600);国家自然科学基金项目(61020106007);国家自然科学基金项目(61274044);北京自然科学基金项目(4132069);重点国际科技合作项目计划(2011RR000100);111工程计划(B07005);教育部长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0609)
自1970年,元件制造首先采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术后,至今30多年,它的发展与集成电路和光电子器件发展密不可分,很大程度上,干法刻蚀的水平决定了整个产业的水平和规模。在本文中,本课题组使用ICP刻蚀技术刻蚀GaAs材料,在Cl_2/A...
关键词:GAAS 感应耦合等离子体刻蚀 CL2 O2 刻蚀速率 表面的粗糙度 
高速高饱和单行载流子光探测器的设计与分析
《物理学报》2014年第20期361-366,共6页臧鸽 黄永清 骆扬 段晓峰 任晓敏 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2010CB327600);国家自然科学基金(批准号:61020106007;61274044);北京市自然科学基金(批准号:4132069);教育部长江学者和创新团队发展计划(批准号:IRT0609)资助的课题~~
设计了一种In P基的背入射台面结构的单行载流子光探测器.通过在吸收层中采取高斯型掺杂界面及引入合适厚度和掺杂浓度的崖层,使得光探测器同时具备了高速和高饱和电流特性.理论分析表明,在光敏面为14μm2、反向偏压为2 V条件下,该器件...
关键词:单行载流子光探测器 单行载流子 高速 饱和电流 
电信级以太网PBT和T-MPLS数据平面互通机制被引量:4
《光通信技术》2012年第12期9-12,共4页于国艳 林鹏飞 张永军 顾畹仪 
国家863计划项目(2006AA01Z246)资助;教育部“长江学者和创新团队发展计划”(IRT0609)资助;教育部留学归国人员教学、科研经费建设项目资助
运营商骨干传送网和传送-多标签交换网络都是针对电信级以太网提出的解决方案,主要应用于核心网络中。目前国际上对这两种网络之间的互通还没有形成最终方案。重点阐述了这两种网络在用户平面互通的问题及其解决方法,旨在不影响传输质...
关键词:运营商骨干网 传送MPLS 网络互通 数据平面 
一种具有平顶陡边响应的长波长光探测器被引量:2
《光电子.激光》2012年第4期615-619,共5页范鑫烨 黄永清 段晓峰 周英飞 蔡世伟 孙瑾 王琦 张霞 郭欣 任晓敏 
国家"973"计划(2010CB327600);国家自然科学基金(61020106007);中央高校基本科研业务费专项资金(BUPT2011RC0403);高等学校学科创新引智计划(B07005);教育部长江学者和创新团队发展计划(IRT0609)资助项目
在PIN型光探测器的基础上制备了一种适用于波分复用系统的具有平顶陡边响应的长波长光探测器。利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)设备在GaAs衬底上二次外延生长了具有台阶结构的GaAs/AlGaAs滤波腔和InP基PIN光探测器。高质量的GaA...
关键词:光电探测器 平顶陡边响应 异质外延 长波长 
具有平顶陡边响应的级联微环结构光探测器被引量:3
《红外与激光工程》2011年第5期905-909,共5页叶蕾 黄辉 黄永清 任晓敏 辛海明 
国家"863"计划(2007AA03Z418);教育部"长江学者和创新团队发展计划"(IRT0609)
微环探测器具有高速、高量子效率、窄线宽、易于集成等显著优点,在未来的光通信系统和光电集成中有广阔的应用前景。提出了一种新型级联微环光探测器(CMRPD),从理论上推导出了其透射特性和量子效率。通过调节级联微环之间的耦合系数,使...
关键词:级联微环结构 透射谱 响应特性 
新型双吸收层光探测器量子效率的理论分析被引量:2
《激光与光电子学进展》2011年第5期114-116,共3页谢三先 黄永清 刘庆 段小峰 王伟 黄辉 任晓敏 
国家973计划(2010CB327600);国家863计划(2009AA03Z405;2009AA03Z417);111计划(B07005);国际科技合作重点计划项目(2006DFBllll0);新世纪优秀人才支持计划(NCET-08-0736);长江学者和创新团队发展计划(IRT0609);中央高校基本科研业务费专项资金(BUPT2009RC0409;BUPT2009RC0410)资助课题
随着光纤通信技术的发展,高量子效率、高速响应光电探测器在长距离高速光纤通信系统中的作用尤显突出。利用传输矩阵法(TMM)对新型双吸收层光电探测器(RCE-PINIP)的量子效率进行了理论计算,然后对其进行了相应的理论仿真。结果显示,在50...
关键词:探测器 双吸收层光探测器 优化结构模型 传输矩阵法 量子效率 
光网络中基于路径计算单元的路由机制研究被引量:3
《光电子.激光》2010年第10期1495-1498,共4页韩大海 沈剑峰 赵时煜 
国家"863"计划资助项目(2009AA01Z255);国家自然科学基金资助项目(60772022);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-05-0112);教育部长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0609);高等学校学科创新引智计划资助项目(B07005)
针对大规模多层多域光网络群故障发生时的网络受损情况,提出基于路径计算单元(PCE)架构的跨域路由算法进行快速恢复,并基于OMNet平台对多层多域路由方案进行了性能仿真分析。结果表明,基于PCE架构的路由策略在群故障发生时能够大大减少...
关键词:多层多域光网络 路径计算单元(PCE) 群故障 路由机制 
InGaAs/Si雪崩光电二极管被引量:5
《半导体光电》2010年第5期702-704,708,共4页宋海兰 黄辉 崔海林 黄永清 任晓敏 
国家"973"计划项目(2010CB327600);国家"863"计划项目(2006AA03Z416;2007AA03Z418;2009AA03Z405;2009AA03Z417);北京市教育委员会共建项目(XK100130637);北京市"科技新星计划项目"(2006A46);国际科技合作重点计划项目(2006DFB11110);高等学校学科创新引智计划项目(B07005);教育部"长江学者和创新团队发展计划"项目(IRT0609)
采用Si/InP低温晶片键合技术,设计并制作了InGaAs/Si雪崩光电二极管。器件利用InGaAs做吸收层,Si做增益层,光敏面大小50μm×70μm;测试结果表明器件有正常的光响应特性,击穿电压为41V,暗电流为99nA,此时光电流比暗电流高3个数量级。
关键词:雪崩光电二极管 InGaAs/Si 键合 
基于T-MPLS网络的多等级分组业务传送特性研究被引量:1
《高技术通讯》2010年第10期996-1000,共5页曹畅 张永军 陈瑞 黄善国 张杰 顾畹仪 
863计划(2007AA012Za4;2009AA01Z218);国家自然科学基金(60877052;60702005);教育部长江学者和创新团队发展计划(IRT0609)资助项目
基于国际电信联盟制定的传送多协议标记交换(T-MPLS)标准,在T-MPLS网络中电路业务和分组业务并存的情况下,对业务开关时间和数据包长服从帕雷托、对数正态、威布尔和指数分布的多等级分组业务传送质量进行了研究。理论分析表明,电路业...
关键词:传送多协议标记交换(T-MPLS) 电路业务 分组业务 自相似性 
基于硼酸溶液处理的GaAs/InP低温晶片键合技术被引量:1
《光电子.激光》2010年第10期1511-1514,共4页宋海兰 黄辉 王文娟 黄永清 任晓敏 
国家重点基础研究发展计划“973”资助项目(2010CB327600);国家高技术发展研究计划项目“863”资助项目(2006AA03Z416,2007AA03Z418,2009AA03Z405,2009AA03Z417);北京市教育委员会共建资助项目(XK100130637);北京市“科技新星计划”资助项目(2006A46);国际科技合作重点项目计划资助项目(2006DFB11110);高等学校学科创新引智计划资助项目(B07005);教育部“长江学者和创新团队发展计划”资助项目(IRT0609)
提出了一种基于硼酸溶液的GaAs/InP低温晶片键合技术,实现了GaAs/InP基材料间简单、无毒性的高质量、低温(290℃)晶片键合。GaAs/InP键合晶片解理截面的扫描电子显微镜(SEM)图显示,键合界面整齐,没有裂缝和气泡。通过键合过程,InP上的In...
关键词:低温键合 GAAS/INP 二次离子质谱(SIMS) 
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