安徽省高校省级自然科学研究项目(2006KJ026A)

作品数：10被引量：13H指数：2
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相关作者：许高斌杨明武叶刘晓矫妹李洋更多>>
相关机构：合肥工业大学中国科学技术大学华东电子工程研究所更多>>
相关期刊：《真空科学与技术学报》《固体电子学研究与进展》《微波学报》《半导体技术》更多>>
相关主题：MEMS开关RF_MEMS开关功率放大器可重构微继电器更多>>
相关领域：电子电信机械工程电气工程冶金工程更多>>
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一种含镜频抑制作用的微带发卡滤波器的设计被引量：3
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2009年第4期550-552,共3页李俊鹏 杨明武 
安徽省自然科学基金资助项目(05040202);安徽省教育厅自然科学重点科研计划资助项目(2006KJ026A)
镜频干扰在变频系统中影响很大,通常使用高品质的射频镜像抑制滤波器和中频的信道选择滤波器来处理高频信号。文章结合传统微带平行耦合滤波器的设计方法,使用ADS软件优化设计出一种具有镜频抑制作用的微带发卡式带通滤波器,同时还可以...
关键词：镜频抑制 发卡式滤波器 ADS软件 
基于RF MEMS开关的新型双频带功率放大器被引量：1
《微纳电子技术》2009年第3期170-173,共4页叶刘晓 许高斌 曹锐 
安徽省高等学校自然科学研究重点项目(2006KJ026A);东南大学微电子机械系统教育部重点实验室开放基金资助项目(2006SEU-MEMS05)
RF MEMS开关具有低损耗、低功耗、尺寸小和易于集成等优点而被广泛应用于各种可重构射频电路及系统中。通过分析比较电容并联式和串联式RF MEMS开关两种电路结构的射频性能,设计了一种基于RF MEMS开关的新型功率放大器,使用RF MEMS开关...
关键词：RF MEMS开关 功率放大器 双频带 匹配网络 可重构 
基于RF MEMS开关的可重构PA设计被引量：1
《微波学报》2008年第S1期180-182,共3页叶刘晓 许高斌 
安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目(2006KJ026A);国家自然科学基金(20771032/B0101)资助项目
介绍了一种结合MEMS开关实现多频带PA的方法,通过电磁场分析软件对RFMEMS串联开关进行模拟和仿真,在此基础上设计实现了一种双频带PA电路,在所设计的两个频带内,功放都有较高效率及输出功率,这种多频带PA可用于未来多频带应用的移动终...
关键词：RF MEMS开关 功率放大器 可重构匹配网络 
基于TCAD软件的单层多晶EEPROM器件模拟分析被引量：2
《半导体技术》2008年第1期15-18,共4页邓勇 宣晓峰 许高斌 杨明武 
安徽省自然科学基金资助项目(05040202);安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
利用TCAD软件对单层多晶EEPROM器件特性进行了模拟分析,介绍了单层多晶EEPROM存储单元结构与原理的基础,针对TCAD软件中模拟分析单层多晶EEPROM器件特性时存在的困难,提出了一种两个MOS管外加电阻的等效模型来替代单层多晶EEPROM存储单...
关键词：单层多晶EEPROM TCAD软件 等效模型 器件模拟 
一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器
《微纳电子技术》2007年第7期255-256,287,共3页李洋 许高斌 
安徽省教育厅自然科学研究重点项目(2006KJ026A)
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,...
关键词：微机电系统 微继电器 梳齿驱动 表面牺牲层工艺 
静电型微继电器的设计与研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2007年第5期405-412,共8页许高斌 李洋 何晓雄 矫妹 
安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(No.2006KJ026A)
静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电...
关键词：微机电系统 静电型 微继电器 驱动电压 驱动模型 
静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用研究被引量：1
《微纳电子技术》2006年第6期284-288,306,共6页许高斌 褚家如 
中国科学院博士点基金资助项目(20030358018);安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
对静电雾化的基本概念、原理和典型喷洒模式作了介绍,对静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用进行了阐述,最后对静电雾化技术在薄膜制备中存在的问题和影响薄膜微观结构和性能的因素作了总结。
关键词：静电雾化 纳米材料 工艺参数 薄膜制备 
表面加工多晶硅薄膜热扩散系数的在线提取
《固体电子学研究与进展》2006年第2期273-278,共6页矫妹 许高斌 
国家"八六三"计划资助课题(2003AA404010)资助;安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
提出了一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量方法,测试结构可随表面器件工艺加工制作,无需附加工艺。通过分析两个长度相同、宽度与厚度相同梁的瞬态冷却特性,获得其冷却时的温度衰减时间常数,便可以提取出表面加工多晶硅薄膜的...
关键词：多晶硅薄膜 热扩散系数 表面加工技术 在线提取 
MEMS表面微加工工艺技术被引量：4
《测控技术》2006年第4期26-29,41,共5页许高斌 
安徽省教育厅自然科学重点科研计划资助项目(2006KJ026A)
在介绍了北大微电子所开发的两层多晶硅表面微加工工艺和源于加州Berkely传感器与执行器研究中心的三层多晶硅表面微加工工艺的基础上,介绍了美国Sand ia国家实验室开发的五层MEMS表面微加工工艺的主要技术特点。给出了利用这三种表面...
关键词：MEMS 表面微加工工艺 多晶硅 器件 
薄膜热扩散系数的在线测试研究
《真空科学与技术学报》2006年第2期88-92,97,共6页许高斌 
安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
提出了一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量方法,测试结构可随表面器件工艺加工制作,无需附加工艺。通过分析两个长度不同、宽度与厚度相同梁的瞬态冷却特性,获取其冷却时的温度衰减时间常数,便可以提取出表面加工多晶硅薄膜的...
关键词：多晶硅薄膜 热扩散系数 表面加工技术 在线提取 
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