国家自然科学基金(60977029)

作品数：6被引量：11H指数：3
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数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
《光电工程》2013年第7期57-62,共6页刘海勇 周金运 雷亮 刘丽霞 刘志涛 郭华 
国家自然科学基金资助项目(60977029);国家自然科学基金青年基金(61107029)
针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且...
关键词：数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计 
一种新型投影曝光调焦方法被引量：1
《应用光学》2013年第3期430-435,共6页冉坐 周金运 雷亮 周亚梅 邓亚飞 
国家自然科学基金(60977029);国家自然科学基金青年基金(61107029);广东工业大学重大项目培育专项(092010)
为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于...
关键词：投影光刻 Zemax光学设计软件 调制传递函数 离焦 调焦 
新型大面积PCB光刻投影物镜设计被引量：3
《光电工程》2013年第2期100-104,共5页邓亚飞 周金运 雷亮 冉坐 周亚梅 
国家自然科学基金资助项目(60977029);国家自然科学基金青年基金(61107029);广东工业大学重大项目培育专项(092010)
针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=0.06,单次曝光面积Φ=80mm,具有优于7μm的分辨力和120μm的焦深。通过对该镜头进行公差分析,表明...
关键词：光刻 投影物镜 印制电路板(PCB) ZEMAX光学设计 
基于拉普拉斯滤波的形态相关器
《光电工程》2010年第8期139-144,共6页王衢 陈丽 周金运 
国家自然科学基金资助项目(60977029)
本文提出了一种基于拉普拉斯滤波的形态相关器(LBMC),用来改进传统光学形态相关器的性能。与形态相关器不同,在执行最后的傅里叶变换之前,LBMC还须对传统形态相关器的联合功率谱做拉普拉斯能谱强度滤波处理。计算机模拟测试结果表明,与...
关键词：形态相关器 拉普拉斯滤波 椒盐噪声 鲁棒性 
准分子激光线宽对光刻性能的影响
《应用激光》2010年第2期139-141,共3页刘逸轩 周金运 欧阳琴 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:60977029);广东省科技计划项目(项目编号:2009B010900049);广东工业大学重大项目培育专项(项目编号:092010)
描述了激光线宽对光刻过程的影响模型建立过程中所使用的方法。成像透镜产生的色差结合实际激光光谱可以把激光线宽的影响包括在光刻模拟的模型中,使用PROLITH软件模拟了线宽对空间像的临界尺寸、焦深、曝光宽容度的影响,孤立线和半孤...
关键词：准分子激光 线宽 色差 光刻模拟 
非物理专业量子力学教学方法探讨被引量：5
《高师理科学刊》2010年第2期99-101,共3页王衢 陈丽 周金运 
国家自然科学基金项目(60977029)
针对非物理专业学生的数学和普通物理基础通常比较薄弱情况,从量子力学发展史、物理思想实质的掌握、理论与实际的联系、类比教学法等4个方面对如何在非物理专业开展量子力学教学进行了探讨,以此培养学生对这类理论性课程学习的兴趣和...
关键词：量子力学 非物理专业 物理思想实质 
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