云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(50675025)

国家自然科学基金(50675025): 作品数：21被引量：79H指数：6; 导出分析报告; 相关作者：杜立群朱神渺刘冲喻立川张晓蕾更多>>; 相关机构：大连理工大学大连交通大学教育部更多>>; 相关期刊：《Chinese Journal of Mechanical Engineering》《中国科学：技术科学》《计算机学报》《Science China(Technological Sciences)》更多>>; 相关主题：微电铸SU-8光刻胶内应力SU-8胶SU-8更多>>; 相关领域：化学工程电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

Fabrication of Fuze Micro-electro-mechanical System Safety Device被引量：8: 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》2011年第5期836-841,共6页DU Liqun JIA Shengfang NIE Weirong WANG Qijia; supported by National Basic Research Program of China(973 Program,Grant No. 2007CB714502);National Natural Science Foundation of China (Grant No. 50675025); Fuze micro-electro-mechanical system（MEMS） has become a popular subject in recent years.Studies have been done for the application of MEMS-based fuze safety and arm devices.The existing researches mainly focused on ...; 关键词：fuze MEMS safety device UV-LIGA technology double-layer moveable device micro electroforming

超声处理减小SU-8胶层内应力的研究被引量：1: 《中国科学：技术科学》2011年第4期474-481,共8页杜立群王启佳张晓蕾; 国家自然科学基金(批准号:50675025)资助项目; 目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了...; 关键词：超声时效 SU-8光刻胶内应力轮廓法

聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究被引量：5: 《大连理工大学学报》2010年第6期907-911,共5页杜立群王煜王启佳陈莉; 国家自然科学基金资助项目(50675025); 利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的...; 关键词：超声时效 SU-8光刻胶内应力测量

Reduction of internal stress in SU-8 photoresist layer by ultrasonic treatment被引量：2: 《Science China(Technological Sciences)》2010年第11期3006-3013,共8页DU LiQun WANG QiJia ZHANG XiaoLei; supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No50675025); At present, high internal stress in SU-8 photoresist layer has become one of the most primary problems and restricted structure stability and higher aspect ratio of SU-8 photoresist. However, the existing studies all ...; 关键词：ultrasonic stress relief SU-8 photoresist layer internal stress profile method

交联SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子动力学模拟被引量：3: 《高分子学报》2010年第6期629-634,共6页杜立群郭照沛张晓蕾; 国家自然科学基金(基金号50675025)资助项目; 应用分子动力学模拟软件Materials Studio构建SU-8光刻胶与Ni基底的界面结构,研究后烘温度对界面结合性的影响.结合工艺中所采用的后烘温度,模拟计算了338～368K时Ni基底上SU-8胶的交联反应,在经过反复的能量最小化和分子动力学模拟后,...; 关键词：SU-8胶 Ni基底交联反应结合特性分子动力学模拟

微电铸层内应力超声去除实验(英文): 《纳米技术与精密工程》2010年第2期143-148,共6页杜立群宋磊王启佳刘冲; 国家自然科学基金资助项目(50675025);国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13); 针对Ni微电铸层中内应力过大的问题,提出用超声时效技术去除铸层内应力的方法.利用自行研制的超声设备对铸层内应力进行去除,借助X射线衍射仪和应力测量公式求得超声前后的内应力大小,并对实验结果进行对比.结果显示,铸层内应力在50min...; 关键词：应力超声去除 Ni微电铸层内应力 X射线衍射

SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子模拟被引量：4: 《高分子材料科学与工程》2010年第3期168-171,共4页杜立群郭照沛张晓蕾; 国家自然科学基金资助项目(50675025); 运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni(100)面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界面结合能达到最大,说明此时界面结合最好。通过对SU-8胶与N...; 关键词：SU-8光刻胶 Ni基底结合能分子动力学模拟

Reducing SU-8 hygroscopic swelling by ultrasonic treatment被引量：2: 《Nano-Micro Letters》2010年第3期197-203,共7页Du Liqun Zhang Benzhuang Liu Yaping; supported by the National Natural Science Foundation of China (No:50675025 and 51075057); The volume expansion of SU-8 resist brings serious dimensional errors to electroformed structures.Two approaches have been proposed to reduce resist distortions during electroforming:electroforming at room temperature...; 关键词：SU-8 Hygroscopic swelling Electroform ULTRASONIC HYDROPHILICITY

微电铸中电流-流体耦合的数值分析及实验被引量：5: 《光学精密工程》2009年第9期2184-2190,共7页邵力耕杜立群刘冲王立鼎; 国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(No.50675025); 研究了LIGA/UV-LIGA的核心技术微电铸的内在规律,对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的十字电铸层为研究对象,建立了微电铸的数学模型。给出了描述微电铸体系电流密度和流体流场的偏微分方程...; 关键词：微电铸阴极电流密度流体三维数值仿真

金属基底上三维可动微机构的制作被引量：1: 《纳米技术与精密工程》2009年第1期36-40,共5页杜立群喻立川刘文涛宋磊; 国家自然科学基金资助项目(50675025);国家科技支撑计划项目( 2006BAF04B13); 在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属 Ni 基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺.就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,...; 关键词：SU-8厚胶光刻微电铸牺牲层技术微结构可动机构

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