国家自然科学基金(60376038)

作品数：11被引量：39H指数：3
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集成悬臂梁／探针阵列在PMMA薄膜上微纳摩擦的尺寸和温度效应
《功能材料与器件学报》2007年第6期593-598,共6页刘斌 鲍海飞 李昕欣 
国家自然科学基金(No.60376038)
在微纳米尺度下,摩擦行为受到针尖尺寸和温度两个重要参数的影响。本研究利用基于Si的微加工制造技术制作了三种不同尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列,用来研究在聚合物PMMA薄膜上摩擦的针尖尺寸效应和温度效应。在PMMA薄膜中存在...
关键词：MEMS集成探针阵列 微纳摩擦 尺寸效应 温度效应 
开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关被引量：13
《Journal of Semiconductors》2007年第8期1295-1301,共7页贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60376038)~~
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过Cov...
关键词：MEMS 冲击加速度开关 开关点电可调节 锁定 机电耦合 
基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统被引量：3
《机械强度》2007年第2期223-227,共5页鲍海飞 李昕欣 张波 郭久福 韩建强 
国家863项目资助(2004AA4045);国家自然科学基金资助项目(60376038)~~
原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软...
关键词：原子力显微镜 微纳结构 硬件软件 悬臂梁 力学测试 
微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析被引量：3
《传感技术学报》2007年第1期101-106,共6页金大重 李昕欣 刘剑 于海涛 王跃林 左国民 李鹏 
国家重点基础研究发展规划项目资助(973计划2006CB300405);国家自然科学基金项目资助(60376038)
本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频...
关键词：微电子机械系统 噪声机制 微机械悬臂梁 分辨率 
曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究被引量：3
《光电工程》2006年第9期138-144,共7页杨尊先 李昕欣 于映 
国家自然科学基金项目(60376038);福建省自然科学基金项目(A0510011);福州大学科技发展基金(2005-XQ-26);福建省教育厅科技项目(JB05068)
利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动...
关键词：高g加速度传感器 压膜阻尼 曲面过载保护 冲击响应 
高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2006年第8期1496-1502,共7页刘剑 李昕欣 金大重 刘民 王跃林 左国民 余海涛 包菡涵 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB300405);国家自然科学基金(批准号:60376038)资助项目~~
开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器.在悬臂梁上面实现了使用惠斯通压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构.与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提高传感器特异性反应吸附质量以...
关键词：悬臂梁 压阻敏感 电磁激励 AGC式闭环电路 谐振模态 质量检测分辨率 
新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
《仪器仪表学报》2006年第7期693-697,共5页杨尊先 于映 林丽华 李昕欣 
国家自然科学基金(60376038);福建省自然科学基金(A0310012;A0510011);福州大学科技发展基金(2005-XQ-26);福建省教育厅科学基金(JB04042;JB05068)资助项目
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机...
关键词：纳米针尖 集成探针阵列 存储特性 电阻加热器 
微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析被引量：11
《测试技术学报》2006年第1期21-26,共6页鲍海飞 李昕欣 王跃林 
国家863计划资助项目(2004AA404045);国家自然科学基金资助项目(60376038)
微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成...
关键词：微悬臂梁/探针 标定 原子力显微镜 微机电系统 
MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析被引量：1
《电子元件与材料》2006年第1期19-22,26,共5页杨尊先 李昕欣 
国家自然科学基金资助项目(60376038);福建省自然科学基金资助项目(A0510011);福州大学科技发展基金资助项目(2005-XQ-26)
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有...
关键词：电子技术 MEMS 高量程加速度传感器 阻尼效果 近似叠加理论 
用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制
《真空科学与技术学报》2005年第6期422-426,共5页杨尊先 于映 李昕欣 
国家自然科学基金项目(No.60376038);福建省自然科学基金项目(No.A0510011);福州大学科技发展基金(2005-XQ-26)
本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制...
关键词：纳米硅尖制造技术 电阻加热器 压阻灵敏 度高密度存储技术 
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