国家高技术研究发展计划(2008AA042201)

作品数:17被引量:13H指数:3
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相关作者:刘晓为车录锋尹亮郝一龙陈伟平更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学中国科学院中国科学院研究生院北京大学更多>>
相关期刊:《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》《传感器与微系统》《传感技术学报》更多>>
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偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计(英文)
《北京大学学报(自然科学版)》2014年第4期729-733,共5页黄靖清 赵猛 张婷婷 陈中建 伍峰 洪理琛 刘大河 张雅聪 鲁文高 高成臣 郝一龙 
863计划(2008AA042201)资助
提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器。改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声。读出电路采用0.35μm高压CMOS工艺,并...
关键词:比例积分微分控制器 闭环 加速度计 自检测 微机电系统 
时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构(英文)
《纳米技术与精密工程》2013年第5期418-423,共6页黄靖清 张婷婷 赵猛 伍峰 陈中建 洪理琛 张雅聪 鲁文高 郝一龙 
supported by the National High-Tech Research and Development Program of China (Grant No. 2008AA042201)~~
设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMO...
关键词:加速度计 自检测 闭环 微机电系统 
任意直角梯形截面梁扭转刚度的无穷级数解法(英文)被引量:1
《传感技术学报》2012年第5期594-598,共5页杨纲 郝一龙 胡启方 高成臣 
National High Technology Research and Development Program of China(2008AA042201)~~
分析研究截面为底角10°~80°直角梯形的弹性梁扭转刚度的解法,并用有限元模拟进行了检验。为解决这一弹性梁自由扭转问题(圣维南问题)的特殊情形,在本文中首次采用了基于布赛乃斯克流体力学假设的无穷级数解法。分析解法与软件模拟的...
关键词:圣维南问题 直角梯形截面梁 扭转刚度 流体力学假设 无穷级数法 
提高MEMS检波器技术指标的研究
《仪表技术与传感器》2012年第2期12-14,共3页杨仲华 王书军 陈海波 王义江 唐晓刚 牛德芳 
国家863项目(2008AA042201)
通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性。
关键词:检波器 动态 静态 稳定性 指标 
微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路
《哈尔滨工业大学学报》2011年第11期6-10,共5页尹亮 刘晓为 陈伟平 周治平 
国家高技术研究发展计划资助项目(2008AA042201)
为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题,提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频,有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离,同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电...
关键词:角速率传感器 寄生电容 跨阻放大器 专用集成电路 
新型低噪声微机械陀螺闭环驱动电路
《哈尔滨工业大学学报》2011年第9期38-41,共4页孙明 谭晓昀 李子芃 刘晓为 
国家高技术研究发展计划资助项目(2008AA042201)
为将陀螺结构引入到闭环驱动电路的仿真系统中,建立了与微机械陀螺结构等价的电学模型.微机械陀螺闭环驱动电路基于电荷泵锁相环技术,用低噪声跨阻放大器代替传统的电荷放大器实现I-V转换,有效避免了电荷放大器在实现I-V转换时所产生的...
关键词:闭环驱动电路 微机械陀螺 CCCII+ 
一种电容式闭环微加速度计系统研究
《中北大学学报(自然科学版)》2011年第4期502-506,共5页陈伟平 陈晓亮 郭玉刚 刘晓为 
国家863计划资助项目(2008AA042201)
基于SOG(Silicon on Glass)工艺设计了一种新型电容式加速度传感器结构,分析了该结构的检测和反馈原理.为了提高闭环微加速度传感器的性能,更好地实现闭环控制调节作用,对传感器系统进行了研究.在反馈系统中引入PID控制器,并建立了SIML...
关键词:MEMS 加速度计 闭环系统 PID控制器 
四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析被引量:4
《哈尔滨工业大学学报》2011年第7期38-41,共4页刘晓为 刘云涛 姜一鸣 尹亮 
国家高技术发展计划资助项目(2008AA042201)
为了降低Sigma-Delta(ΣΔ)微机械加速度计量化噪声,提高系统分辨率,完成了一种单环四阶ΣΔ微加速度计的分析与设计,建立了系统的线性模型,并在此基础上,采用根轨迹法分析了系统稳定性.理论分析表明所建立的四阶ΣΔ微加速度计系统在...
关键词:微加速度计 SIGMA-DELTA 系统级 稳定性 
High resolution interface circuit for closed-loop accelerometer
《Journal of Semiconductors》2011年第4期116-123,共8页尹亮 刘晓为 陈伟平 周治平 
Project supported by the National High Technology Research and Development Program of China(No2008AA042201)
This paper reports a low noise switched-capacitor CMOS interface circuit for the closed-loop operation of a capacitive accelerometer.The time division multiplexing of the same electrode is adopted to avoid the strong ...
关键词:closed-loop accelerometer interface circuit switched capacitor low noise 
基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路被引量:4
《传感器与微系统》2011年第2期101-103,106,共4页孙腾 车录锋 黎晓林 吴健 
国家"863"计划资助项目(2008AA042201)
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的...
关键词:高Q值 加速度计 PID反馈 闭环检测 
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