国家自然科学基金(50775090)

作品数：8被引量：13H指数：2
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相关作者：刘世元谢勇君史铁林沈宏伟张传维更多>>
相关机构：华中科技大学暨南大学武汉光电国家实验室(筹)武汉光电国家实验室更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《光谱学与光谱分析》《Science Bulletin》《计量与测试技术》更多>>
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Fabrication of high aspect ratio microfiber arrays that mimic gecko foot hairs
《Chinese Science Bulletin》2012年第4期404-408,共5页LIU ShiYuan ZHANG Peng LUE Hao ZHANG ChuanWei XIA Qi 
supported by the National Natural Science Foundation of China(91023032,51005091,50775090);the Fundamental Research Funds for the Central Universities of China(2010ZD004);the Postdoctoral Science Foundation of China(20100470052)
In nature, geckos have developed complex adhesion structures capable of smart adhesion, which is the ability to cling to different smooth and rough surfaces, even ceilings, and detach at will. The hierarchical structu...
关键词：微孔阵列 超细纤维 高宽比 壁虎 模仿 聚二甲基硅氧烷 电感耦合等离子体 表面附着力 
基于条纹图的微结构离面运动特性测量
《计量技术》2010年第3期3-6,共4页谢勇君 史铁林 刘世元 
国家自然科学基金（50775090）;新世纪优秀人才支持计划（NCET-06-0639）;广东省自然科学基金博士研究启动项目（9451063201002281）;广东高校优秀青年创新人才培育项目（LYM08019）;广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题基金;暨南大学青年基金项目（51208027）.
为了测量微结构离面（Out—of—plane）运动特性，利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统，首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图，并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理，再利用5步相移算法...
关键词：微结构 条纹图 离面运动 SUSAN滤波算法 相位去包裹 
微/纳结构三维形貌高精度测试系统被引量：4
《光电工程》2010年第1期19-24,共6页谢勇君 史铁林 刘世元 
国家自然科学基金重点项目(50535030);国家自然科学基金(50775090);新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0639);国家博士后科学基金(20070410930);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题基金;暨南大学青年基金项目(51208027)
为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法...
关键词：微/纳结构 显微干涉 偏振技术 三维形貌 
基于协调同步控制的MEMS微运动测量被引量：4
《测控技术》2010年第1期35-38,共4页谢勇君 史铁林 刘世元 
国家自然科学基金(50775090);新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0639);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);暨南大学青年基金项目(51208027)
为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-me-chanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser dio...
关键词：MEMS 协调同步控制 离面微运动 面内微运动 
一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
《中国机械工程》2010年第1期67-70,共4页谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康 
中国博士后科学基金资助项目(20070410930);国家自然科学基金资助项目(50775090);国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA4Z325);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题
利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0....
关键词：MEMS微结构 动态变形 环境控制 显微干涉 
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究被引量：2
《光谱学与光谱分析》2009年第4期935-939,共5页刘世元 张传维 沈宏伟 顾华勇 
国家"863"计划项目(2006AA04Z325);国家自然科学基金项目(50775090);新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0639)资助
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高...
关键词：傅里叶变换红外光谱仪 红外反射谱 动态随机存储器 深沟槽结构 
利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性被引量：1
《计量与测试技术》2009年第4期4-6,共3页谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康 
国家自然科学基金(50775090);国家博士后科学基金(No.20070410930);国家自然科学基金重点项目(No.50535030);新世纪优秀人才支持计划(No.NCET-06-0639)
为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点。首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离...
关键词：微结构 Linnik 显微干涉 离面运动 幅频特性 
基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究被引量：2
《物理学报》2008年第9期5996-6001,共6页刘世元 顾华勇 张传维 沈宏伟 
国家高技术研究发展计划(863)(批准号:2006AA04Z325);国家自然科学基金(批准号:50775090);国家重点基础研究发展计划(批准号:2003CB716207);新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-06-0639)资助的课题~~
利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反...
关键词：深沟槽结构 严格耦合波理论 等效介质理论 反射率 
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