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国家自然科学基金(90207003): 作品数：32被引量：67H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：唐祯安金仁成王立鼎张凤田王兢更多>>; 相关机构：大连理工大学中国科学院中国工程物理研究院电子工程研究所辽宁大学更多>>; 相关期刊：《高技术通讯》《功能材料》《电子技术应用》《信息与控制》更多>>; 相关主题：PZT薄膜ZNO微气压传感器微力传感器微热板更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程化学工程更多>>

对痕量甲醛气体敏感的SnO_2-NiO纳米材料的X射线光电子谱研究被引量：2: 《辽宁大学学报（自然科学版）》2016年第1期32-36,共5页吕品张绍成唐祯安; 国家自然科学基金资助项目(90207003); 本文研究了对痕量甲醛气体敏感的SnO_2-NiO纳米材料的X射线光电子谱(XPS).通过对XPS O1s和Sn3d5/2分峰的分析证实了SnO_2-NiO纳米材料是氧化态.在SnO_2-NiO纳米材料的表面观察到了SnO_2、SnO、NiO和Ni_2O_3,而以SnO_2为主要成分,NiO含...; 关键词：X射线光电子谱 SnO2-NiO纳米材料甲醛气体吸附氧

A Monolithic Integrated CMOS Thermal Vacuum Sensor被引量：2: 《Journal of Semiconductors》2008年第6期1103-1107,共5页张凤田唐祯安汪家奇余隽; 国家自然科学基金资助项目(批准号:90207003,90607003)~~; The monolithic integrated micro sensor is an important direction in the fields of integrated circuits and micro sensors. In this paper,a monolithic thermal vacuum sensor based on a micro-hotplate （MHP） and operating...; 关键词：thermal vacuum sensor monolithic integration CMOS micro hotplate

PT种子层对微力传感器性能的影响: 《传感技术学报》2008年第3期461-464,共4页孟汉柏崔岩王兢陈会林王立鼎; 国家自然科学基金资助(90207003,90607002); 为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体...; 关键词：PZT薄膜 PT/PZT/PT薄膜微悬臂梁微力传感器压电系数

SnO_2(110)表面电子结构的第一性原理被引量：1: 《功能材料与器件学报》2008年第1期59-64,共6页金仁成翁雪军王立鼎张五金; 国家重点基础研究发展计划项目(973)〔2006CB300407〕;国家自然科学基金资助重点项目(90207003); 应用第一性原理DFT(密度泛函理论)研究了具有(1×1)和(2×1)对称性的SnO2(110)氧化表面、还原表面和缺陷表面的几何结构与电子结构,重点分析了表面氧空穴(O vacancy)对表面电子结构的影响以及对气体分子吸附的影响。研究结果表明,由于...; 关键词：SNO2 密度泛函理论电子结构能隙

基于MC35i的M2M终端设计与研究被引量：2: 《电子设计应用》2007年第3期102-104,17,共3页王艳辉金仁成朱连柱; 国家自然科学基金重点项目(90207003); GPRS技术在无线数据传输方面有着明显的优势,得到了越来越广泛的应用。本文采用嵌入式ARM处理器,结合GPRS通信模块MC35i,给出了应用于远程监控系统的M2M终端解决方案,重点阐述了基于嵌入式实时操作系统FreeRTOS的软件设计。; 关键词：嵌入式系统 FREERTOS M2M GPRS 无线数据传输

嵌入式无线传感器网络研究被引量：6: 《高技术通讯》2007年第2期216-220,共5页高英明金仁成王立鼎; 国家自然科学基金（90207003）资助项目; 简要叙述了无线传感器网络的发展史，讨论了传感器节点的功耗、成本、组网方面的属性及要求，概述了传感器节点的传感单元、通信单元、处理单元及供电单元等四大基本功能单元和两个辅助单元，介绍了一些常用电池和几款适合嵌入式节点设...; 关键词：无线传感器网络嵌入式传感器节点能量管理

圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制被引量：4: 《应用声学》2006年第4期197-200,共4页杨楚威李俊红黄歆汪承灏; 国家自然科学基金青年科学基金项目(10204021);国家自然科学基金SOC重点基金项目(90207003); 本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成...; 关键词：硅微传声器圆形振动膜压电薄膜 ZNO

MEMS-based ZnO Piezoelectric Tactile Sensor for Minimally Invasive Surgery: 《稀有金属材料与工程》2006年第A03期436-438,共3页Minrui Wang Jing Wang Yan Cui Liding Wang; supported by National Natural Science Foundation of China(No.90207003); This paper reports the design and fabrication of a MEMS-based ZnO piezoelectric tactile sensor,which can be integrated on to the endoscopic grasper used in minimally invasive surgery (MIS).The sensor includes a silico...; 关键词：tactile sensor PIEZOELECTRIC edoscopic grasper

硅微电容传声器的防粘连结构: 《传感技术学报》2006年第05B期2279-2282,共4页潘昕汪承灏徐联魏建辉; 国家自然科学基金SOC重大科研计划重点基金项目资助(90207003); 粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构大都制备在上背板结构硅微电容传声器的...; 关键词：微机电系统硅微电容传声器防粘连微突出

基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片被引量：6: 《压电与声光》2006年第3期335-337,340,共4页佟建华刘梦伟崔岩王兢崔天宏王立鼎; 国家自然科学基金资助项目(90207003); 为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上成功制备了厚度不同（300-800nm）的锆钛酸铅（Pb（ZrxTi1-x）O3）薄膜，薄膜表面均匀，无裂纹。通过...; 关键词：微电子机械系统(MEMS) PZT薄膜微力传感器设计制作

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