国家自然科学基金(69978008)

作品数：5被引量：15H指数：3
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可编程相位光栅的结构设计与制作工艺被引量：2
《清华大学学报（自然科学版）》2003年第8期1009-1012,共4页殷玲 陈非凡 
国家自然科学基金资助项目(69978008);教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目
可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变。通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构;并对光栅的光带结...
关键词：可编程相位光栅 结构设计 制作工艺 MEMS 光带结构 表面硅微工艺 微光机电系统 光通讯 
可编程相位光栅结构的微机械特性研究被引量：3
《微细加工技术》2003年第3期72-76,共5页殷玲 陈非凡 
国家自然科学基金资助项目(69978008);教育部高等学校骨干教师基金资助项目(2000年度)
描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果。光栅样机采用硅微机械技术加工而成,其测试结果表明,光栅样机的频响特性基本符合理论推导与仿真结果,光带谐振频率在120Hz...
关键词：可编程相位光栅 微光机电系统 微机电系统 微机械加工技术 光带结构 
一种静电驱动微机械元件的结构模型被引量：5
《清华大学学报（自然科学版）》2002年第11期1466-1468,共3页殷玲 陈非凡 李云龙 
国家自然科学基金资助项目(69978008);教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较...
关键词：微机械元件 结构模型 可编程相位光栅 微机电系统 有限元分析 静电驱动 驱动性能 
微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望被引量：6
《微细加工技术》2002年第3期1-7,共7页陈非凡 殷玲 李云龙 
国家自然科学基金资助项目 (6 99780 0 8) ;教育部高等学校骨干教师基金资助项目 (2 0 0 0年度 )
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特...
关键词：研究现状 微光机电系统 MOEMS 微机电系统 MEMS 微机械加工技术 发展趋势 
微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析被引量：5
《仪器仪表学报》2001年第z2期341-343,共3页陈非凡 殷玲 
国家自然科学基金(699780 0 8);教育部高等学校骨干教师资助计划资助
微纳米技术的迅速发展促使微机电系统 (MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统 (MOEMS) ,从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能。在 MOEMS的设计中 ,仅用传统的分析手段已经不够 ,其建模和仿真需要用到有限元分析。本文提出了一...
关键词：可编程相位光栅 微光机电系统(MOEMS) 有限元分析 
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