云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家重点基础研究发展计划(2003CB716201)

国家重点基础研究发展计划(2003CB716201): 作品数：56被引量：294H指数：9; 导出分析报告; 相关作者：李玉和李庆祥雒建斌胡元中王慧更多>>; 相关机构：清华大学上海大学重庆大学中南大学更多>>; 相关期刊：《科学通报》《光电子．激光》《润滑与密封》《计算机工程与设计》更多>>; 相关主题：化学机械抛光分子动力学模拟微装配摩擦学碳纳米管更多>>; 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

原子级光滑表面的制造技术与机理研究被引量：1: 《数字制造科学》2011年第4期1-20,共20页潘国顺雒建斌路新春郭丹段芳莉徐进陈入领张伟胡元中; 中国国家重点基础研究发展计划（973计划）项目《高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法》（No.2003CB716201）; 报告中国国家重点基础研究发展计划（973计划）项目《高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法》中有关于原子级光滑表面制造的基础研究中所取得的进展和阶段性成果。包括CMP的若干关键技术的突破，化学机械抛光的机理研究...; 关键词：先进电子制造化学机械抛光纳米粒子行为抛光液材料去除机理摩擦学分子动力学模拟非晶化相变

基于BP神经网络的二维精密扫描台控制技术及试验研究: 《新技术新工艺》2008年第11期64-66,共3页刘梅李玉和郑静琳林浩山; 973国家重大基础研究项目(2003CB716201); 扫描控制系统是纳米测量系统的重要组成部分,其性能影响整个系统的测量精度。本文介绍了二维精密扫描台的设计——柔性铰链与压电控制结合的方式,综述了BP神经网络的概念,并通过BP神经网络建模,设计了扫描台的控制方法,最后介绍了试验设...; 关键词：压电陶瓷 BP网络神经元隐层

氨基乙酸-H_2O_2体系抛光液中铜的化学机械抛光研究被引量：5: 《摩擦学学报》2008年第4期366-371,共6页张伟路新春刘宇宏潘国顺雒建斌; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716201);国家自然科学基金委与广东省政府自然科学联合基金资助项目(2003CB716201);国家自然学基金资助项目助项目(50775122); 在CP-4型CMP试验机上采用5μm厚的铜镀层片研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为,分别采用Sartorius 1712MP8型电子天平和WYKO MHT-Ⅲ型光干涉表面形貌仪检测抛光去除率和抛光后表面粗糙度,用CHI660A型电化学工作站的...; 关键词：化学机械抛光动电位极化扫描氨基乙酸腐蚀坑

Cu互连及其关键工艺技术研究现状被引量：2: 《半导体技术》2008年第5期374-377,共4页赵超荣杜寰刘梦新韩郑生; 国家973计划资助项目(2003CB716201); 低介电常数材料和低电阻率金属的使用可以有效地降低互连线引起的延时。Cu因其具有比Al及Al合金更低的电阻率和更高的抗电迁移能力而成为新一代互连材料。论述了Cu互连技术的工艺过程及其研究发展现状。对Cu互连技术中的阻挡层材料、电...; 关键词：铜互连阻挡层材料电化学镀铜化学机械抛光

纳米SiO2／CeO2复合磨粒的制备及其抛光特性研究被引量：21: 《摩擦学学报》2008年第2期103-107,共5页肖保其雷红; 国家自然科学基金资助项目(50575131);国家973计划资助项目(2003CB716201);上海市自然科学基金资助项目(07ZR14039);上海市教委第五期重点学科资助项目(J50102); 以尿素[CO(NH2)2]、(NH4)2Ce(NO3)6和SiO2为原料,采用均相沉淀法制备1种新型纳米SiO2/CeO2复合磨粒,通过X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、飞行时间二次离子质谱仪和扫描电子显微镜等分析手段对其结构进行表征,并将SiO2/CeO2复合磨粒配...; 关键词：化学机械抛光(CMP) 玻璃基片复合磨粒

硅基底上图形化自组装膜的构筑被引量：1: 《高分子材料科学与工程》2008年第4期136-138,共3页彭倚天胡元中王慧; 国家重点基础研究发展计划项目(2003CB716201);国家自然科学基金资助项目(50390060); 为在硅基底上得到不同化学基团修饰的图形,采用传统的光刻技术与自组装相结合的方法,成功地制备了由甲基与氨基末端官能团组成的图形化自组装膜。将图形化自组装膜泡入碳纳米管DMF(N,N-二甲基甲酰胺)分散液中,图形化自组装膜的氨基区域...; 关键词：多壁碳纳米管自组装单层膜(SAMS) 图形化光刻

石英光纤端面的化学机械抛光实验研究被引量：5: 《摩擦学学报》2008年第1期11-17,共7页顾欣张晨辉雒建斌路新春; 国家重大基础研究项目资助(2003CB716201); 将化学机械抛光（CMP）技术引入光纤端面的加工过程并设计其抛光工艺，探讨了抛光垫和抛光液的类型、浓度及抛光压力、抛光盘的转速及抛光液的流速等参数对抛光性能的影响，设定了两步抛光的优选工艺．结果表明：在颗粒浓度为1％～2％...; 关键词：光纤端面光纤激光器化学机械抛光(CMP)

氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能被引量：4: 《微细加工技术》2008年第1期45-48,共4页雷红张泽芳; 国家自然科学基金资助项目(50575131);国家973计划项目资助(2003CB716201);上海市自然科学基金资助项目(07ZR14039);上海市教委第五期重点学科资助项目(J50102); 在化学机械抛光(CMP)中,为了提高氧化铝磨料的分散稳定性及减少抛光划痕,通过硅烷偶联剂在其表面接枝了聚甲基丙烯酸(PMAA)制得了一种新型的复合粒子(-αAl2O3-g-PMAA)。SEM结果表明,制得的复合粒子分散稳定性明显提高。进而用SPEEDFAM-...; 关键词：氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子化学机械抛光玻璃基片

Tribological properties of diamond-like carbon films deposited bv pulsed laser arc deposition被引量：2: 《Chinese Physics B》2007年第12期3790-3797,共8页张振宇路新春雒建斌; Project supported by the National Key Basic Research Program of China （Grant No 2003CB716201）, the Major Research Plan of the National Natural Science Foundation of China （Grant No 50390060）, the National Natural Science Foundation of China （Grant No 50575121）, the National Science Foundation for Post-doctoral Scientists of China （Grant No 20060390064）, the Electro- Mechanic Technology Foundation of NSK Ltd. of Japan, the Scientific Startup Research Foundation for the New Staff of Dallan University of Technology, and the Open Foundation of Key Laboratory for Precision and Non-Traditional Machining Technology of the Ministry of Education, Dalian University of Technology （Grant No JMTZ200703）.; A novel method, pulsed laser arc deposition combining the advantages of pulsed laser deposition and cathode vacuum arc techniques, was used to deposit the diamond-like carbon （DLC） nanofilms with different thickness...; 关键词：pulsed laser arc deposition diamond-like carbon tribological property physical property

Tribological properties of La_2O_3 and CeO_2 doped CoCrW coatings deposited by supersonic plasma spraying被引量：4: 《Chinese Science Bulletin》2007年第23期3292-3298,共7页ZHANG ZhenYu LU XinChun LUO JianBin; Supported by the National Key Basic Research Program of China (Grant No. 2003CB716201);the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 50575121);the National Science Foundation for Post-doctoral Scientists of China (Grant No. 20060390064);the Scientific Startup Research Foundation for the New Staff of Dalian University of Technology, and the Open Foundation of Key Labora-tory for Precision and Non-Traditional Machining Technology of the Ministry of Education of Dalian University of Technology (Grant No. JMTZ200703); A novel supersonic plasma spraying was used to prepare rare earth oxides doped CoCrW coatings. X-ray diffractometer, contact surface profiler, hardness tester, micro-friction and -wear tester and en- vironmental scann...; 关键词：超声波喷雾磨擦性质地球科学

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