大连理工大学机械工程学院微系统研究中心

作品数：46被引量：255H指数：9
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发文作者：佟建华张五金赵伟石小培张虹霞更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
发文主题：生物芯片微流控芯片MEMS微机电系统测试系统更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《功能材料与器件学报》《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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基于偏振光传感器的仿鼠脑导航方法
《电光与控制》2023年第3期96-100,共5页褚金奎 佟坤 李金山 张志超 
国家自然科学基金(52175265,51675076);国家自然科学基金创新研究群体项目(51621064);中央高校基本科研业务费(DUT21Z D101,DUT21GF308)。
面对长距离复杂场景下的自主移动机器人导航问题,仿生鼠脑的RatSLAM相较传统SLAM更加高效。但完全依赖视觉信息,导致其精度不高、可靠性不足。通过引入天空偏振光定向,高效地提供精准的绝对航向角,可以弥补RatSLAM的不足。设计并搭建了...
关键词：实时定位与地图构建 仿生导航 偏振光传感器 RatSLAM 自主移动机器人 
一种偏振光/双目视觉仿生组合导航方法被引量：8
《光子学报》2021年第5期184-193,共10页褚金奎 陈建华 李金山 佟坤 李晋 胡瀚珮 
国家自然科学基金(No.51675076);中国高校基本科研业务费(Nos.DUT17GF109,DUT20LAB303)。
针对复杂干扰环境下智能移动机器人自主导航问题,为了实现低成本、高精度、强鲁棒性、完全自主的导航,提出了一种偏振光/双目视觉仿生组合导航方法。首先,设计了图优化紧耦合的组合算法,推导优化函数并将偏振定向传感器/双目视觉传感器...
关键词：实时定位与地图构建系统 仿生偏振定向传感器 仿生组合导航 
分振幅偏振成像相机标定方法研究被引量：9
《光子学报》2020年第7期135-142,共8页李松 张然 陈永台 褚金奎 
国家自然科学基金(No.51675076);中国高校基本科研业务费(No.DUT17GF109)。
在分振幅偏振成像探测器标定过程中,针对标定系统引入的误差和探测器自身误差的超多影响因素的强耦合问题,提出采用一种非线性最小二乘拟合法,将探测器与标定系统的主要误差影响因素以未知参数的方式代入拟合方程中进行标定计算.在波段...
关键词：偏振光学 分振幅偏振成像探测器 标定 偏振成像 非线性最小二乘拟合法 
分焦面偏振探测系统的卷积插值方法被引量：5
《光子学报》2019年第8期172-180,共9页吴晨奇 张然 樊元义 褚金奎 
国家自然科学基金(No.51675076);中央高校基本科研业务费(No.DUT17GF109)~~
为了减小空间分辨率下降以及传统插值方法无法较好地适应单元不匹配等因素对分焦面偏振探测系统的影响,提出了一种基于卷积插值的偏振信息解算方法.用标记、插值方法来提取偏振图像,从而计算偏振信息.然后,通过最小二乘法校正分焦面偏...
关键词：应用光学 偏振光学 卷积插值 分焦面偏振探测系统 校正 图像处理 
添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用被引量：1
《光子学报》2018年第9期108-114,共7页郑永广 张然 刘泽 褚金奎 
国家自然科学基金(Nos.51675076;51505062);国家自然科学基金创新研究群体项目(No.51621064);中央高校基本科研业务费(Nos.DUT17GF109;DUT16TD20)~~
为改善电铸填充高深宽比纳米光栅结构时出现的空洞现象,本文向电铸液中添加平整剂健那绿,利用健那绿分子的静电吸附原理消除该工艺缺陷.结合纳米压印技术及电铸工艺,在柔性基底上完成了纳米压印镍模板的复制.复制过程中,首先通过热压将...
关键词：纳米压印 纳米光栅 电铸填充 健那绿 静电吸附 镍模板 高深宽比 
矩形块微纳结构材料在红外波段的偏振光吸收被引量：5
《光学精密工程》2014年第11期2998-3003,共6页黎永前 郭勇君 苏磊 王斌斌 朱振宇 徐征 
国家自然科学基金资助项目(No.51175436);中国航空运动协会航空科学基金资助项目(No.2012ZC53036,No.20145653029);西北工业大学基础研究基金资助项目(NPU-FFR-JC200811);高等学校创新引智计划资助项目(B13044);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室开放基金资助项目
研究了矩形块微纳结构吸收材料在中远红外波段的光学偏振吸收特性。该吸收材料由金属阵列-电介质层-金属膜组成,在2.0μm^5.0μm波长具有双波长谐振吸收效应,其理论吸收率大于80%。模拟计算和实验测试表明,该吸收材料的短波吸收峰值与...
关键词：微纳结构吸收材料 红外探测 偏振吸收 表面等离子 磁谐振 
基于EKF算法的无线传感器网络定位技术研究被引量：4
《传感技术学报》2010年第12期1810-1814,共5页金仁成 赵伟 石小培 
国家973重点基础研究发展计划资助(2009CB320300);辽宁省教育厅高等学校科技研究项目资助(2006T011)
无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下...
关键词：无线传感器网络 定位 扩展卡尔曼滤波 RSSI 
高g值加速度环境微结构动态特性被引量：3
《机械工程学报》2010年第16期88-94,共7页王涛 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金(50535030);电子测试技术国家重点实验室基金资助项目
为研究微机电系统(Microelectro-mechanical systems,MEMS)中微结构在高g值加速度环境中的动态特性,研究高g值加速度环境微结构动态测试技术,建立高g值环境微结构动态测试装置,研制适用于高g值加速度环境的压电陶瓷底座激励装置,制备集...
关键词：微结构 高G值 动态特性 微机电系统 
压电陶瓷快速响应特性与应用研究被引量：19
《传感技术学报》2009年第6期785-789,共5页王涛 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金重点基金资助(50535030);电子测试技术国家重点实验室基金资助
针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置...
关键词：压电陶瓷 动态响应 MEMS 加速度 
UV-LIGA技术在微型模具型腔加工中的应用研究被引量：8
《哈尔滨工业大学学报》2009年第5期106-109,共4页庄俭 于同敏 王敏杰 杜立群 
"十一五"国家科技支撑计划重点项目(2006BAF04B13);中国博士后科学基金项目(20080440301)
为了实现微小注射模具型腔的精密加工,针对微小尺度模具型腔的加工难点,通过改良常规UV-LIGA工艺技术,选用合适的基底材料5CrNiMo,采用在基底表面上直接进行电铸生长的无背板生长方法,加工出具有50μm和100μm特征尺寸的哑铃型塑件微型...
关键词：UV—LIGA技术 微细加工技术 微注射成型 微流道型腔 
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