中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

作品数：55被引量：208H指数：6
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发文作者：韩明张健毛敏耀邹强金虎更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文主题：微机械微电子机械系统电容式微电机传感器更多>>
发文期刊：《科学通报》《计算机工程》《功能材料与器件学报》《机械工程学报》更多>>
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XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
《强激光与粒子束》2005年第1期47-50,共4页周斌 孙骐 韩明 熊斌 吴广明 黄耀东 沈军 
国家863计划项目资助课题;同济大学理科发展基金资助课题
研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量了S...
关键词：像传递函数 离子束刻蚀 Si刻蚀膜 
计算机互联网络中的数据压缩技术应用被引量：4
《计算机工程》2002年第12期153-154,186,共3页王平 朱雪梅 
通过设计一个嵌入数据压缩技术的网络通信程序，实现了通过网络的对于用户透明的压缩数据传输，应用程序中实现了Huffman、LZSS、LZW 3种压缩算法，将压缩成功地应用于文件传输过程，发送方发送文件时自动将文件压缩并传输到网络上，接...
关键词：计算机互联网络 数据压缩 算法 计算机网络 压缩率 网络通信程序 
一种基于通孔数最小化的多层通道布线算法被引量：2
《计算机学报》2002年第8期830-836,共7页甘骏人 王小港 罗志宏 
该文提出了一种基于通孔数最小化的多层通道布线算法 .算法采用非预留层模型 ,首先根据线网之间的位置关系利用模拟退火算法将各线网合理地分配到对应的布线层中去 ,然后利用遗传算法得到相关布线层中线网的最佳布线顺序向量 ,最后根据...
关键词：通孔数最小化 多层通道布线算法 超大规模集成电路 模拟退火算法 遗传算法 沉积法 
LZW无损压缩算法的实现与研究被引量：52
《计算机工程》2002年第7期98-99,150,共3页王平 
通过程序设计实现了文本压缩算法,并对其进行了改进以适合于中文压缩,改进后的压缩程序的测试结果证明改进是有一定效LZW果的,相比于标准压缩算法,压缩率有了一定程度的降低,对于中文长文件,其压缩效果更好,对于英文文本的压缩效果也要...
关键词：LZW无损压缩算法 数据压缩 压缩率 字典 图像格式 图像编码 
微机械加速度传感器性能的等效电学模拟被引量：4
《电子机械工程》2002年第2期32-34,共3页车录锋 熊斌 王跃林 
建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加...
关键词：微机械加速度传感器 等效电路模型 压控电容模型 模拟 
一种基于混沌的序列密码生成方法被引量：45
《计算机学报》2002年第4期351-356,共6页王相生 甘骏人 
由于混沌系统对初始条件和混沌参数非常敏感以及生成的混沌序列具有非周期性和伪随机性的特性 ,近年来混沌系统在密码学领域中得到了较多研究 .该文提出一种基于混沌的序列密码生成方法 ,该方法通过随机改变混沌映射的参数来提高混沌的...
关键词：混沌 扰动 M序列 序列密码生成方法 密码学 
航天单粒子事件故障注入系统研究被引量：5
《量子电子学报》2002年第1期57-60,共4页李华旺 刘海涛 杨根庆 
本文介绍了一种基于内存故障注入和总线故障注入相结合的单粒子事件故障注入系统．首先介绍了故障注入系统的功能及框架，然后以通用性和可扩展性为前提，对实现故障注入器的关键技术进行了探讨．测试结果表明。利用本文介绍的故障注入...
关键词：单粒子事件 故障注入系统 测试 容错 航天 
分度头检测加速度计时横向效应对线性度的影响被引量：2
《功能材料与器件学报》2002年第1期40-44,共5页李浩 陆德仁 
对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度。用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中。用非线...
关键词：分度头 检测 加速度计 横向效应 非线性 静态测量 线性度 
振动式微机械陀螺的电学模拟
《功能材料与器件学报》2002年第1期59-62,共4页黄小振 熊斌 车录锋 王跃林 
国家重点基础发展规划项目<集成微光机电系统研究>的资助(No.G1999033101)
根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计。
关键词：振动式 微机械陀螺 电学模拟 等效电学模型 
微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取
《功能材料与器件学报》2002年第1期87-91,共5页杨俊杰 甘骏人 姚林声 
国家自然科学基金项目(No.59775044)
为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型。通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数。仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致。
关键词：微电机 微磨擦 人工神经网络 微电机仿真系统 
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