原子层沉积

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原子层/分子层沉积技术及其在半导体先进工艺中的应用
《材料导报》2024年第20期55-66,共12页赵波 柳俊 
湖北省自然科学基金青年基金(2022CFB858)。
原子层沉积是一种气相沉积薄膜的技术,基于表面化学饱和吸附的连续自限反应的机理,薄膜沉积过程可以在各式各样的基底上实现原子级的保形性生长。凭借这一优势,原子层沉积成为半导体先进工艺制程中的重要技术,为实现原子级尺寸和精度的...
关键词：原子层沉积 分子层沉积 半导体 先进工艺 薄膜 
湿气阻隔涂层的研究进展被引量：1
《材料导报》2022年第13期222-228,共7页余姝君 田春蓉 
NSAF联合基金(U2030201)。
湿气阻隔涂层是指对水分渗透有一定阻隔性的涂层,可以便捷而有效地阻隔绝大部分湿气的进入,广泛用于对水汽敏感的物品和装置的包装中。无机纳米涂层由于其致密的结构而具有较好的湿气阻隔性能,但在制备和使用过程中不可避免地会产生缺...
关键词：湿气阻隔涂层 无机涂层 聚合物涂层 化学气相沉积 物理气相沉积 原子层沉积 
原子层沉积法制备SnO_(2)薄膜及其对钙钛矿电池性能的影响被引量：1
《材料导报》2022年第7期122-127,共6页明帅强 王浙加 吴鹿杰 冯嘉恒 高雅增 卢维尔 夏洋 
国家重点研发计划(2018YFF0109100);国家自然科学基金(61427901)。
本工作以单晶硅为衬底、四(二甲氨基)锡和水为前驱体,研究原子层沉积技术制备氧化锡薄膜的工艺及其光学和电学性能,并将其应用于钙钛矿太阳能电池。通过调节基底温度,详细研究了沉积温度对SnO_(2)薄膜的沉积速率、电学、光学等特性的影...
关键词：原子层沉积 氧化锡薄膜 生长速率 氧空位 钙钛矿 太阳能电池 
NH_(3)和N_(2)混合等离子体预处理对锗MOS器件性能的影响
《材料导报》2021年第14期14012-14016,共5页乌李瑛 柏荣旭 瞿敏妮 付学成 田苗 马玲 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题(2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题(JCZXSJB2019-005,JCZXSJB2018-022)。
对锗衬底进行NH 3和N 2混合等离子体(V(NH_(3))∶V(N_(2))=5∶1)原位预处理,其自然氧化层GeO_(x)反应生成GeO_(y)N_(z)。XPS结果显示,随着预处理时间的延长,GeO_(y)N_(z)厚度稍有增加。结构为500 nm Al/20 nm Ti/10 nm HfO_(2)/Ge的锗MO...
关键词：锗MOS 原子层沉积 原位等离子体预处理 二氧化铪薄膜 高介电常数 漏电流密度 
基于原子层沉积技术制备氧化钽薄膜及其特性研究被引量：5
《材料导报》2021年第6期6042-6047,共6页明帅强 文庆涛 高雅增 闫美菊 卢维尔 夏洋 
国家重点研发计划(2018YFF0109100);国家自然科学基金青年科学基金(61604175);国家自然科学基金(61427901)。
本工作以单晶硅为衬底,乙醇钽和水分别为钽源和氧源,研究原子层沉积技术制备氧化钽薄膜的工艺,考察了乙醇钽温度、衬底温度、脉冲时间等工艺条件对氧化钽薄膜的生长速率、粗糙度和表面形貌等特性的影响。通过椭偏仪、原子力显微镜、扫...
关键词：原子层沉积 氧化钽薄膜 乙醇钽 生长速率 粗糙度 
原子层沉积氮化钽薄膜的研究进展被引量：1
《材料导报》2020年第19期19101-19110,共10页乌李瑛 瞿敏妮 付学成 田苗 马玲 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题(2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题(JCZXSJB2019-005,JCZXSJB2018-022)。
在集成电路中,铜互连工艺需要沉积一层连续且保形性良好的铜阻挡层。氮化钽是一种过渡金属氮化物,由于其硬度高,导电性可控,对金属元素具有扩散阻挡的作用,在微电子工业领域中氮化钽是铜互连技术中研究最为广泛的扩散阻挡层材料。随着...
关键词：TaN薄膜 原子层沉积 等离子增强型原子层沉积 电阻率 铜阻挡层 
原子层沉积微通道板的研究进展被引量：4
《材料导报》2020年第3期80-89,共10页郭俊江 朱香平 许彦涛 曹伟伟 邹永星 陆敏 彭波 司金海 郭海涛 
国家重点研发计划(2016YFB0303804)~~
微通道板(MCP)是光通讯和光电子技术领域实现电子倍增和信号放大的核心器件,其性能提升主要包括提高增益、延长寿命和降低暗计数。目前国内外普遍使用的商品化微通道板仍是基于传统铅硅酸盐玻璃经氢还原工艺制备的。尽管经过四代玻璃组...
关键词：微通道板 原子层沉积 功能层 增益 寿命 
利用原位压痕技术表征原子层沉积Al2O3超薄纳米薄膜的力学性能被引量：3
《材料导报》2019年第18期3026-3030,共5页刘律宏 刘燕萍 马晋遥 桑利军 程晓鹏 张跃飞 
国家自然科学基金(21676005)~~
通过原子层沉积技术(ALD)在Si基片上制备厚度为20~60nm的Al2O3薄膜,采用三维光学显微镜和透射电子显微镜分别分析了它们的表面粗糙度和微观形貌;采用自主研发的扫描电子显微镜/扫描探针显微镜(SEM/SPM)联合测试系统对样品薄膜进行了原...
关键词：原子层沉积 AL2O3薄膜 原位纳米压痕 力学性能 弹性模量 
大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜被引量：3
《材料导报》2018年第A02期311-314,共4页魏海英 郭红革 秦莹莹 周美丽 陈强 
为了研究纳米氧化铝对双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(BOPET)阻隔性能的影响,利用自行设计加工的大气压介质阻挡放电(DBD)等离子辅助原子层沉积(PAALD)设备,使用三甲基铝(TMA)和氧气等离子体(O_2)在厚度为120μm的BOPET上生长氧化铝(...
关键词：原子层沉积 聚对苯二甲酸乙二醇酯 氧化铝 水蒸气透过率 
原子层沉积技术在新型太阳能电池中的应用被引量：7
《材料导报》2016年第23期9-18,共10页胡航 董兵海 万丽 孔梦琴 赵丽 王二静 王世敏 
国家自然科学基金(51572072;21402045);湖北省科技厅重点项目(2014BAA099)
原子层沉积技术(ALD)是一项正处于发展之中、在许多领域具有巨大应用前景的新型材料制备技术,该技术在纳米结构和纳米复合结构的制备方面显示出独特的优势,在新型薄膜太阳能电池领域呈现出巨大的发展潜力和前景。首先概述了ALD技术的工...
关键词：原子层沉积 纳米功能薄膜 染料敏化太阳能电池 钙钛矿太阳能电池 
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