蒸发制备

作品数:91被引量:224H指数:8
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电子束蒸发制备的TiO_(2)纳米柱的乙醇气敏性能研究
《科技与创新》2024年第6期20-23,30,共5页王强 杜宗泽 虞建辉 郭凌 陈龙泉 
通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料,经过退火处理后,对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试。通过X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)对材料进行表征。SEM结...
关键词:TiO_(2)纳米柱材料 乙醇传感器 电子束蒸发 掠射角沉积 
磁控溅射与电子束蒸发制备Ti薄膜性能的研究被引量:2
《钢铁钒钛》2023年第2期98-102,共5页李兆营 
为了研究不同制备方法对薄膜性能的影响,分别利用磁控溅射法和电子束蒸发法在长有500 nm厚的SiO2薄膜的Si(100)晶圆上制备了生长速度为1.0 nm/s,厚度为100 nm的Ti薄膜,并对薄膜的厚度、表面形貌、电阻、反射率及应力进行了测试。相比于...
关键词:Ti薄膜 磁控溅射 电子束蒸发 电阻 反射率 应力 
电子束蒸发制备TiO<sub>2</sub>/云母薄膜及其光学和光催化性能研究被引量:1
《材料科学》2021年第9期967-975,共9页阿不都哈比尔•木太里甫 买买提热夏提•买买提 王淑英 阿卜杜外力•米吉提 阿不都热苏力•阿不都热西提 
本文研究了退火温度对TiO2/云母薄膜的表面形貌,晶体结构和光学性质的影响和应力对光催化效率的影响。实验结果表明,随着退火温度的升高,晶粒尺寸变大,薄膜的带隙能变小。对比TiO2/云母薄膜受压力影响和自然状态下的光催化降解实验:没...
关键词:电子束蒸发法 TiO2薄膜 光催化性能 
等离子体辅助蒸发制备InN及其光电性能研究
《沈阳理工大学学报》2021年第4期48-52,共5页孙辉 刘俊 陈建金 沈龙海 
辽宁省教育厅自然科学基金(LG201910)。
采用射频等离子辅助蒸发法,在玻璃衬底上制备InN薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的结构和形貌进行表征,使用分光光度计、拉曼光谱仪和霍尔测量系统检测薄膜的光电特性。结果表明:制备的InN薄膜沿非极性晶面择优...
关键词:等离子体辅助蒸发 氮化铟 光电性能 禁带宽度 
电子束蒸发制备高熵合金涂层Al_xFeCoCrNiCu(x=0.25,0.5,1.0)的微观结构和耐腐蚀性能研究(英文)被引量:8
《稀有金属材料与工程》2017年第12期3621-3625,共5页牛雪莲 Jellinek Julius 周丹 杨桂娟 于游 
National Key Technology Research and Development Program of the Ministry of Science and Technology of China(2013BAC05B03);China Scholarship Council([2012]3013)
实验采用电子束蒸发法在钢基体表面制备高熵合金(HEA)涂层,探究不同Al元素对微观结构、表面形貌和电化学性能的影响。涂层表面的X射线衍射、电子探针和原子力显微镜实验结果表明,不同成分的合金涂层均呈典型的树枝晶结构,组织中仍保持...
关键词:高熵合金 涂层 钢筋 耐蚀性 
超短源-衬距离衬底转动蒸发制备自支撑同位素靶的技术研究
《原子能科学技术》2017年第9期1710-1715,共6页孟波 樊启文 杜英辉 张榕 王华 
国家自然科学基金资助项目(11205251;11475264)
研究了超短源-衬距离衬底转动蒸发制备自支撑同位素靶的技术。通过计算不同条件下衬底转动蒸发沉积的靶膜厚度分布、材料利用率及不均匀性,确定了最佳的源-衬距离和源-轴距离的匹配值。研究了蒸发舟材料、蒸发时间和蒸发距离对沉积靶膜...
关键词:真空蒸发 衬底转动 同位素靶 不均匀性 材料利用率 
高温蒸发制备载铁活性炭吸附砷性能研究被引量:4
《应用化工》2016年第9期1650-1654,共5页赖卫东 王琳 何勇 唐敏康 王霆 陈苹 
国家自然科学基金资助项目(51178321)
针对水体中砷污染日益严重问题,选用五种不同的铁盐对活性炭进行改性,采用高温蒸发法制备复合材料(GAC-Fe);利用X射线衍射(XRD)和红外光谱(FTIR)对复合材料进行表征;研究了修饰物投加量、铁盐质量、反应液pH值和温度对砷吸附效果影响。...
关键词:活性炭 铁盐 吸附  
等离子蒸发制备的纳晶镍的压缩变形机理(英文)
《稀有金属材料与工程》2016年第7期1654-1658,共5页朱荣涛 李延锋 
Natural Science Foundation of Jiangsu Province(BK20130192);Fundamental Research Funds for the Central Universities(2012QNA11,2013RC13,2014YC08)
与传统粗晶金属材料相比,纳晶金属具有特殊的变形机理。为了探索纳晶金属的变形机理,以等离子蒸发结合热压烧结制备的块体纳晶镍为研究对象,进行了准静态压缩力学性能测试,并且利用XRD和TEM技术对试样压缩前和压缩后的微结构演化进行了...
关键词:块体纳晶镍 力学行为 变形机理 微结构 
真空蒸发制备的镁/铝复合薄膜及其抗氧化能力
《电镀与涂饰》2016年第4期194-197,共4页孟祥福 曹林洪 蒋晓东 
国防科工局XXX专项(14zg6102)
采用真空蒸发镀膜技术在铝基底上沉积了纯镁薄膜、纯铝薄膜和镁/铝复合薄膜,并用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜和能谱仪对其进行表征。结果表明,铝薄膜和镁薄膜分别具有(111)和(110)晶面织构。恒温恒湿(25℃,相对湿度75%)环境中的...
关键词:  薄膜 真空蒸发 抗氧化 
电子束蒸发制备织构状纳米ZnO∶Al及其光电性能研究
《功能材料》2015年第21期21085-21088,共4页王丽军 孙义清 李剑 王小平 
上海市教委重点创新资助项目(14ZZ137);沪江基金资助项目(B14004);上海理工大学国家级项目培育基金资助项目(14XPM04)
采用真空电子束蒸发沉积设备在不同温度下(350-400 ℃)直接在玻璃基底上一次性生长400nm厚的织构状纳米掺铝ZnO 薄膜.研究了不同的基底温度对掺铝ZnO 薄膜的结构、电学性质以及光学性质的影响. 研究发现,其光学透过率在390-1100nm的...
关键词:掺铝ZnO 电子束蒸发沉积 透明导电薄膜 
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