等离子体源

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钢管内表面的PSⅡ离子植入
《等离子体应用技术快报》2000年第12期4-5,共2页李兵 
关键词：等离子体源 DLC薄膜 钢管 内表面 PSⅡ 离子植入 
利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ
《等离子体应用技术快报》2000年第12期7-8,共2页蓉佳 
关键词：等离子体源 离子植入 等离子体加工 蚀刻 等离子体势 辉光放电源 PⅢ 清洗 
工艺和技术 UHV相容的空心阴极电弧源的研制
《等离子体应用技术快报》2000年第11期5-7,共3页拾灵 
关键词：超高真空 相容 空心阴极电弧源 等离子体源 
通过对微波电场的分布控制产生高度均匀的ECR等离子体
《等离子体应用技术快报》2000年第11期10-11,共2页余晖 
关键词：蚀刻设备 等离子体源 微波电场 分布 控制 ECR 等离子体 
产生电子和离子束的等离子体
《等离子体应用技术快报》2000年第10期12-13,共2页马兵 
关键词：等离子体源 电子 离子束 等离子体 
用于IPVD的螺旋波等离子体源
《等离子体应用技术快报》2000年第10期13-15,共3页李兵 
关键词：电离物理气相沉积 螺旋波天线 等离子体源 半导体 沉积 铜 
用表面来提高微波氧等离子体的密度
《等离子体应用技术快报》2000年第10期18-19,共2页拾灵 
关键词：微波氧等离子体 密度 表面波 等离子体源 
等离子体源
《等离子体应用技术快报》2000年第9期17-18,共2页李兵 
关键词：等离子体源 微波放电 微波场 
巨大的硅团粒阳离子在远程硅烷等离子体中的形成
《等离子体应用技术快报》2000年第8期13-15,共3页卫冰 
关键词：硅团粒阳离子 硅烷等离子体 等离子体源 
潘宁型磁控管溅射源
《等离子体应用技术快报》2000年第7期13-14,共2页马兵 
关键词：潘宁型 磁控管溅射源 等离子体源 
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