体硅工艺

作品数：53被引量：142H指数：6
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙张大成吴亚明钟莹张国雄更多>>
相关机构：北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关期刊：《仪器仪表学报》《遥测遥控》《西安交通大学学报》《中国惯性技术学报》更多>>
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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量：5
《光学精密工程》2013年第2期400-407,共8页刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA03Z406;2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(60877066)
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 
基于体硅工艺的集成式定位平台
《光学精密工程》2009年第2期333-340,共8页王家畴 荣伟彬 李昕欣 孙立宁 马立 
国家杰出青年基金资助计划项目(No.50725518);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z315);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对纳米定位平台的构型和定位精度问题,采用体硅加工技术成功地研制出了一种基于单晶硅并带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台,定位平台采用侧向平动静电梳齿驱动。利用力电耦合和能量守恒原理分析了静电致动器的致动机理,对...
关键词：体硅工艺 纳米级定位平台 静电驱动 致动机理 特性分析 
基于体硅工艺的定位平台制作工艺分析被引量：6
《光学精密工程》2008年第4期636-641,共6页王家畴 荣伟彬 李昕欣 孙立宁 
国家杰出青年基金资助项目(No.50725518);国家“863”高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z315);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对纳米定位平台的构型和定位精度问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅并带有位移检测功能的新型二自由度纳米级定位平台。介绍了定位平台的相关制作工艺,并对关键工艺进行了分析,总结了导致器件失效的主要原因,探讨了减...
关键词：体硅工艺 深度反应离子刻蚀 背片技术 面内侧面压阻 纳米级定位平台 
基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析被引量：6
《光学精密工程》2003年第2期109-113,共5页李勇 李玉和 李庆祥 訾艳阳 
清华大学机械工程学院985研究基金
介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工...
关键词：体硅工艺 静电致动微夹持器 电感耦合等离子体 蚀刻 制作工艺 微细加工 
体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究被引量：1
《光学精密工程》2003年第1期1-5,共5页李勇 李玉和 李庆祥 訾艳阳 
清华大学机械工程学院研究基金资助
对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试。采用显微镜 -CCD -微机测试方案 ,微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取 ,得到“电压 -位移”特性曲线并建立了数学方程。对特性方程的分析表明理论设计与试验结果的一致性与合...
关键词：微夹持器 图像处理 实验分析 
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