体硅工艺

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相关机构：北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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低热机械噪声的梳齿式加速度计
《仪表技术与传感器》2011年第10期21-23,共3页杨丹琼 徐静 钟少龙 李四华 吴亚明 
文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不...
关键词：低噪声加速度计 体硅工艺 梳齿电容 滑膜阻尼 
新型侧壁绝缘体硅微机械工艺
《仪表技术与传感器》2005年第1期7-9,共3页程保罗 李昕欣 王跃林 焦继伟 车录锋 张鲲 戈肖鸿 宋朝晖 
国家自然科学基金委资助项目(60204002)
介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能...
关键词：微机电系统 体硅工艺 侧壁扩散 绝缘工艺 加速度传感器 
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