云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 汽相沉积

汽相沉积: 作品数：140被引量：176H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：靳九成朱丽萍卞进良赵炳辉叶志镇更多>>; 相关机构：中国科学院浙江大学上海交通大学国际商业机器公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

AIXTRON凭硅基氮化镓系统AIX G5+C获颁商业杂志荣誉奖项: 《电子与封装》2016年第5期6-6,共1页李星悦张礼怿赵博; 全球半导体行业沉积设备供应商AIXTRON凭借其全自动新产品——金属氧化物化学汽相沉积（MOCVD）系统AIX G5＋C,获商业杂志Compound Semiconductor颁授2016年CS High-Volume Manufacturing Award奖项。该奖项是业界对国际化合物半导体行...; 关键词：MOCVD系统 AIX 氮化镓 SEMICONDUCTOR 硅基杂志商业化学汽相沉积

Growth kinetics controlled rational synthesis of germanium nanotowers in chemical vapor deposition: 《Science China Materials》2015年第11期877-883,共7页陈本松孟国文李祥东李安平朱晓光; supported by the National Key Basic Research Program of China (2013CB934304);the National Natural Science Foundation of China (21107113 and 11274312);the Postdoctoral Science Foundation of China (2012M510164);conducted at the Center for Nanophase Materials Sciences, which is funded by the US Department of Energy (DOE) Scientific User Facilities Division; This study demonstrated a simple method for gold(Au) catalyzed atmospheric pressure chemical vapor deposition(CVD) of tower-like germanium(Ge) nanostructures(denoted as Ge nanotowers) on silicon substrate. The Ge nano...; 关键词：纳米化学气相沉积化学汽相沉积化学沉积 VLS VSS

SiC薄膜的制备工艺研究进展: 《纳米科技》2015年第5期13-18,共6页艾学正范梦慧谢泉王凯; 国家自然科学基金项目（61264004）,科技部国际科技合作专项项目（2008DFA52210）,贵州省科技攻关项目（黔科合GY字[201113015）,贵州省科技创新人才团队建设专项资金项目（黔科合人才团队[201114002）,贵州省国际科技合作项目（黔科合外G字[2012]7004.[2013]7003）.贵州省教育厅“125”重大科技专项项目（黔教合重大专项字[20121003）,贵阳市科技计划项目（筑科合同[2012101]2-16）,贵州省自然科学基金项目（黔科合J字[201412052）,贵州大学引进人才科研资助项目（贵大人基合字[20121022）,贵州省青年英才培养工程项目（黔省专合字[20121152）,贵州省科技厅、贵州大学联合资金项目（黔科合LH字[2014]7610）.; 作为新一代的半导体材料，SiC具有优良的化学物理性质，因此，SiC薄膜的制备工艺也越来越受到人们的关注。本文主要对当前SiC薄膜的制备工艺进行详细的研究介绍，并进一步总结讨论了各种制备工艺的优缺点。; 关键词：SiC薄膜结构性质物理汽相沉积化学汽相沉积

VAD法高速沉积制备芯棒的研究被引量：3: 《现代传输》2015年第1期34-36,共3页简晓松陈海斌李秀鹏李应张冲陈剑; 近年来,光纤预制棒的制造在中国呈爆炸式的发展,各大光纤光缆厂家为了摆脱对进口光纤预制棒的依赖,都纷纷将目光瞄准光纤预制棒项目,光纤预制棒项目已成为增强竞争力的有力措施之一。但目前国内光纤预制棒制造技术发展缓慢,特别是对光...; 关键词：大规模制备高速沉积 VAD 芯棒光纤预制棒 PCVD法制造技术汽相沉积

中科院上海微系统所制备出六方氮化硼单晶畴: 《红外》2015年第2期F0004-F0004,共1页; 据《中国科学报》报道，1月25日，记者从中科院上海微系统所获悉，该所卢光远和吴天如等科研人员采用化学汽相沉积（CVD）方法，成功在铜镍合金衬底上制备出了单层高质量六方氮化硼（h-BN）单晶畴，其单品面积较之前文献报道的高出约两...; 关键词：六方氮化硼微系统中科院晶畴制备上海化学汽相沉积科研人员

金刚石电子材料生长的研究进展被引量：1: 《半导体技术》2013年第9期641-650,680,共11页袁明文; 简述了金刚石兼具物理的和化学的优良性质,尤其是金刚石的半导体电气性质,即宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率,成为固态功率器件最有前途的半导体材料之一。介绍了金刚石基的电子器件及其材料生长的研究进展,分析了金刚石...; 关键词：材料生长金刚石膜化学汽相沉积（CVD）超纳米结晶金刚石（UNCD）宽带隙表征

紫外光辅助化学汽相沉积在InSb焦平面探测器中的应用: 《内江科技》2012年第7期100-100,95,共2页李小宏; 本文系统描述了利用紫外光辅助化学汽相沉积(UVCVD)技术在InSb芯片背面减薄抛光后沉积SiO_2薄膜,作为减反膜以减少芯片表面对红外光的反射。通过测量SiO_2薄膜的光谱透过率,并利用红外焦平面测试系统测试SiO_2膜对器件性能的影响,表明UV...; 关键词：紫外光辅助化学汽相沉积 SiO_2膜减反

高密度诱导耦合等离子制备P型ZnO半导体薄膜: 《曲阜师范大学学报（自然科学版）》2012年第1期68-70,共3页隋鹏飞黄士勇戴振宏; 山东省自然科学杰出青年基金(JQ200802);教育部新世纪优秀人才支持计划; 利用一种定制设计的诱导耦合等离子体辅助射频(RF)磁控溅射沉积技术,在玻璃衬底上制备了N掺杂的P型氧化锌(ZnO∶N)薄膜体系,并使用了反应Ar+N2混合气体烧结的ZnO靶材.在不同技术条件下制备了不同表面平整度的薄膜体系,并利用扫描隧道显...; 关键词：化学汽相沉积纳米结构氯化锌半导体

《新型炭材料》第24卷总目次: 《新型炭材料》2009年第4期I0001-I0006,共6页; 关键词：炭材料英文多壁碳纳米管炭纤维化学气相沉积化学汽相沉积化学沉积石墨化炉复合材料 SWCNT 目次

Internal stress in MPCVD diamond films on the Si substrate based on XRD line shape被引量：3: 《Optoelectronics Letters》2009年第4期273-275,共3页李晓伟李翠平高成耀黄梦雪杨保和; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60576011);Key Laboratory Foundation of Tianjin(No.06TXTJJC14701);Colleges and Universities Foundation of Tianjin(No.20050519); The diamond films adherent to Si substrate are deposited with the microwave plasma CVD(MPCVD) at microwave powers of 6000 W and 4000 W from 6 h to 10 h,respectively,the internal stresses of the films are measured by X...; 关键词：X射线衍射测量金刚石薄膜化学汽相沉积微波等离子体化学气相沉积法硅衬底内应力宏观应力线形

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