外差干涉

作品数：217被引量：600H指数：12
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基于FPGA的激光外差干涉仪反正切解调技术被引量：3
《计量学报》2022年第3期399-404,共6页柯伟 冯秀娟 杨平 何龙标 邢广振 王敏 
国家重点研发计划资助(2017YFF0205004)。
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,...
关键词：计量学 声学测量 激光外差干涉仪 反正切解调 FPGA 
计量型扫描电子显微镜测控系统研究被引量：2
《计量学报》2016年第5期457-461,共5页张瑞军 高思田 李伟 陈本永 施玉书 李琪 
国家科技支撑项目(2011BAK15B02)
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，...
关键词：计量学 计量型扫描电子显微镜 量值溯源 运动控制模块 激光外差干涉 图像采集与处理 LabVIEW 
基于锁相环的解调技术研究被引量：3
《计量学报》2015年第4期432-435,共4页罗莹 张志伟 杨宁 
介绍了调相信号的锁相解调技术基本原理以及利用集成锁相环NE564实现对信号的锁相解调。为了解调出不失真的波形，利用集成锁相环NE564和LM725CN芯片设计PM调制解调系统，可以直接实现信号的调制解调功能，利用相位能稳定跟踪的特点避...
关键词：计量学 锁相环 NE564 调制解调 激光外差干涉 
波片和偏振片对外差干涉仪非线性的影响被引量：1
《计量学报》2011年第6期490-494,共5页任晓 侯文玫 
国家教委博士点基金（200802520005）;上海市教委重点学科第五期基金（J50505）
为了减小外差干涉仪的非线性误差，必须明确波片和偏振片对非线性误差的影响机理。通过理论分析和试验发现，波片和偏振片位于偏振分光镜之前和之后对非线性的影响是不同的。如果把有误差的波片和偏振片放置在偏振分光镜前面，其误差将...
关键词：计量学 外差干涉仪 偏振分光镜 波片 偏振片 非线性 
外差干涉仪中偏振分光镜对测量精度的影响被引量：1
《计量学报》2008年第B09期15-18,共4页陈洪芳 谭久彬 钟志 
为了提高激光外差干涉的测量精度，必须明确偏振分光镜（PBS）对激光外差干涉测量精度的影响。基于激光外差干涉非线性误差产生机理，建立了PBS对非线性误差一次谐波和二次谐波的综合影响模型。理论分析表明，选用偏振透射率稍弱、偏振...
关键词：计量学 激光外差干涉 非线性误差 偏振分光镜 
外差激光干涉仪非线性的细分和消除被引量：12
《计量学报》2007年第3期210-215,共6页侯文玫 王俊 
国家自然科学基金(50675141);上海市重点学科建设项目(T0501)
通过理论推导得到一个消除外差激光干涉仪非线性的理论,只要改变干涉仪的结构,也就是增加光程倍数,就可以减小激光干涉仪的非线性误差。实验证明,这个方法可以有效地减小双频激光干涉仪的各种非线性误差,不论这个误差是一阶的还是二阶的...
关键词：计量学 外差干涉仪 非线性 混频 
偏振分光镜旋转角度误差的确定被引量：1
《计量学报》2006年第z1期73-76,共4页钟志 杨刚 陈洪芳 单明广 
国家自然科学基金(50275041)
偏振分光镜存在旋转角度误差是引起激光外差干涉非线性误差的来源之一.提出了一种确定激光外差干涉偏振分光镜旋转角度误差的方法.通过分析偏振分光镜旋转角度误差在其它条件下对激光外差干涉非线性误差的影响,得出偏振分光镜存在的旋...
关键词：计量学 激光外差干涉 非线性误差 频谱分析 偏振分光镜 二次谐波 一次谐波 
外差干涉仪频率混叠误差分析被引量：12
《计量学报》1999年第3期166-171,共6页赵慧洁 
航空基础科学基金
研究了激光外差干涉仪中存在的频率混叠现象、误差形成机理和变化规律。重点分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和Ｗｏｌａｓｔｏｎ棱镜的安装方位角引起的频率混叠误差的大小及变化规律。对进一步提高共光路外差干涉测...
关键词：频率混叠 外差干涉 误差分析 干涉仪 
一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法被引量：13
《计量学报》1995年第1期31-36,共6页赵洋 李达成 
介绍了一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法。用此方法不仅可使干涉测量的分辨率提高到λ／１０００～λ／２０００，而且扩大了测量范围，解决了大范围、动态测量位移的问题。文中还给出了用此方法进行信号处理的外...
关键词：外差干涉仪 相位测量 整数相位测量 激光干涉仪 
准外差干涉计量算法分析及应用被引量：1
《计量学报》1994年第3期226-231,共6页郑文 
采用最小二乘方法，在更一般的意义下推导了准外差干涉计量的相位计算公式，提出了测量误差与采样方式、采样次数、信噪比及相位漂移的关系，提出了相位算法选择的基本依据。建立了准外差全息干涉计量系统，能对条纹图进行全场、高精度...
关键词：干涉计量 准外差 相位 算法 
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