微驱动

作品数：233被引量：645H指数：11
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基于电磁驱动的微扑翼飞行器驱动器振动特性被引量：7
《传感器与微系统》2019年第3期11-13,共3页张钰 刘志伟 
国家自然科学基金资助项目(11272025);国防工业技术发展计划资助项目(B2120132006)
电磁驱动的微扑翼飞行器翼端拍打振幅受到驱动电压、磁感应强度、电流角频率等因素的影响。为了探究上述三个因素对微扑翼飞行器翼端拍打振幅的影响规律,提出一种新型电磁驱动器方案,并建立电磁场中微梁振动模型,为验证电磁驱动器方案...
关键词：扑翼飞行 微驱动器 电磁驱动 振动模型 
静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真
《传感器与微系统》2019年第1期4-6,共3页陈筠菲 漆明净 
相较于传统静电微驱动器,基于自激振动的静电微驱动器具有输出位移更大的优点,并且工作过程中出现高阶振动现象。为了对高阶振动进行研究,对其进行数值仿真。根据驱动器中的悬臂梁是否与电极发生接触,悬臂梁的振动被分成两个阶段。当悬...
关键词：微驱动器 高阶振动 自激振动 
毫米级静电微扑翼驱动器的结构设计、工艺与测试被引量：2
《传感器与微系统》2018年第1期91-95,共5页杨艺 车云龙 
国家自然科学基金资助项目(11602010)
针对仿昆虫扑翼飞行器核心动力装置——微驱动器的结构特点和研究难点,设计了一种基于静电驱动原理的毫米(mm)级微扑翼驱动器,并针对各个部件研究了整套加工工艺与测试方法。运动优化与升力测试结果表明:微扑翼驱动器(翼展9 mm,重量3 mg...
关键词：微型飞行器 微机电系统 微驱动器 静电驱动 
用于硅基氮化镓可调微镜的静电梳齿型微驱动器设计
《传感器与微系统》2017年第1期95-97,104,共4页刘昕 王永进 胡芳仁 
国家自然科学基金资助项目(61274121,61574080);江苏省自然科学基金资助项目(BK2012829)
提出并设计了一种用于硅基氮化镓(Ga N)可调微镜的静电梳齿型微驱动器。利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进行了仿真优化。此外,采用微机电系统(MEMS)加工工艺,制作出了用于硅基氮化镓可调微镜的梳齿型微驱动器,...
关键词：微驱动器 静电梳齿结构 氮化镓材料 可调微镜 
纳米级压电微动台的设计研究被引量：1
《传感器与微系统》2009年第6期53-55,58,共4页齐永岳 林玉池 张立 赵美蓉 
国家自然科学基金资助项目(50105016)
提出了一种新颖的"推—拉"接力运动原理,并将其应用于纳米级步距压电微动台的设计中。该原理变传统的单驱动器结构为双驱动器结构,避免了运动过程中的悬空状态,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台能够实现连续、平稳的运动。根据使用...
关键词：尺蠖运动 压电马达 微驱动 微定位 
一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3
《传感器与微系统》2006年第12期85-88,共4页张永华 王艳 丁桂甫 马骏 赵小林 蔡炳初 
国家"863"计划资助项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009);教育部科学技术研究重大项目(0307)
提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。...
关键词：微电子机械系统 电磁型微驱动器 双稳态 有限元法 仿真分析 
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