物镜

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双波段共口径消热差枪瞄物镜光学系统设计
《应用光学》2025年第1期32-40,共9页白鑫如 蒋世磊 弓旭航 蒋大成 冯江 
陕西省教育厅重点实验室科研计划(18JS053)。
为满足光电瞄准具昼夜合一、轻量化、稳定性优良的需求,本文设计了一款可见光和近红外双波段、共口径,且使用CMOS相机接收成像光束的共口径数码瞄准物镜。物镜光学系统设计波段为0.4μm~0.65μm和0.7μm~0.85μm,焦距为50 mm,F数1.4,系...
关键词：共口径枪瞄物镜 消热差 公差灵敏度 调制传递函数 光学系统 
用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计
《压电与声光》2024年第6期995-1000,共6页邹有云 布一帆 杜文杰 邓杰 马剑强 
国家自然科学基金资助项目(52475109)。
针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernik...
关键词：DUV光刻机物镜 变形镜 像差校正 
某型热像仪高低温试验后的光轴稳定性控制研究
《云光技术》2024年第1期40-44,共5页管照阳 李学宽 张麟 钱程 张建新 杨智雄 郑余飞 杨锡柱 黄声 刘国平 
热像仪光轴稳定性是衡量红外光学系统探测、跟踪和瞄准精度的重要指标,在热像仪的应用中,光轴稳定性控制在高低温环境下显得尤为重要。某光电系统以热像仪光轴作为基准,高低温环境应力引起的热像仪光轴稳定性超差将直接影响整个光电系...
关键词：高低温 光轴稳定性 物镜压条 
大景深显微镜的实现方式
《电子工业专用设备》2024年第3期33-36,63,共5页刘冰鑫 李康平 周占福 
大景深显微镜能够在不同焦平面上获取清晰的图像,为晶圆的对准提供了强大的支持。为了扩展景深,研究人员提出了多种技术,包括缩小系统孔径、波前编码和光学切趾等。提出了一种扩展景深的新方法,即双焦点物镜对准,该方法操作简单直观,并...
关键词：集成电路制造 显微镜 大景深 双焦点物镜对准 
大量程高线性光谱共焦位移测量系统
《激光杂志》2024年第6期33-38,共6页肖康 陈小君 吴永前 
兼具高精度、高稳定性并能实现非接触测量的光谱共焦位移测量系统在工业、医疗、科研等许多领域得到了广泛应用。目前制约光谱共焦位移测量系统应用发展的因素是大量程和高线性度。讨论了光谱共焦位移测量系统中色散物镜实现线性轴向色...
关键词：光谱共焦 色散物镜 位移测量 非接触 光学设计 
具有可变真空结构的物镜优化设计及性能分析
《光学学报》2024年第5期193-202,共10页史丽娜 王鹏飞 刘俊标 王岩 殷伯华 韩立 
微纳加工技术共性关键技术研发团队项目(GJJSTD20200003);广东省重点领域研发计划(2020B0101320002)。
环境扫描电子显微镜(ESEM)能够在低真空环境模式下对含水、含油以及生物等样品进行高分辨率观测。由于电子束通道与样品室间存在着极大的真空压差,采用真空差分结构会导致出现物镜的工作距离增加、偏转范围缩小、电子束和气体碰撞概率...
关键词：电子光学 物镜 可变真空结构 压差光阑 节流管 
基于光纤束传像系统的设计与加工研究
《科技资讯》2024年第3期61-64,共4页何晓杰 卜鑫链 王春明 汪枫林 
针对传统的传像系统易受电磁干扰的问题,设计并实现了在特殊环境下使用的光纤束传像系统。利用ZEMAX光学仿真软件,设计出了一个工作波段为可见光,全视场80°,焦距为5 mm的监控物镜。该物镜各视场光学调制传递函数(Modulation Transfer F...
关键词：光纤束 物镜 传像系统 电磁干扰 
应用于划痕检测的白光共聚焦色散物镜设计
《应用光学》2023年第5期992-997,共6页张进 向阳 黄雷 窦艳红 
中央引导地方科技发展资金吉林省基础研究专项(202002059JC)。
白光共聚焦位移传感器在机车轮轴划痕深度测量中有很好的适用性,色散物镜是决定传感器检测范围与分辨率的关键器件。根据检测需求,结合白光共聚焦原理和线性色散条件选择合适的初始结构,利用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化与分析...
关键词：划痕检测 色散物镜 光学设计 白光共聚焦 
一种投影物镜测试台的设计
《集成电路应用》2023年第4期300-302,共3页宋兴龙 
阐述投影物镜测试台用于对投影物镜性能和接口进行测试验证,投影物镜测试台作为一种测量工具,其自身精度,操作便利性,维护性与最终物镜的交付质量也有着密切关系。探讨对测试台部分结构、投影物镜集成流程的优化设计,从而提高了测试台...
关键词：投影物镜 测试台 便利性设计 集成流程 
光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析被引量：1
《光电工程》2023年第2期88-100,共13页杜婧 刘俊伯 全海洋 胡松 
国家重点研发计划(2021YFB3200204);中国科学院青年创新促进会(2021380)。
在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物...
关键词：畸变检测 波前检测 位移测量 投影物镜 
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