云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 离子蚀刻

离子蚀刻: 作品数：66被引量：31H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：谭振豪闫志国陈抱雪张华杰万珍平更多>>; 相关机构：国际商业机器公司朗姆研究公司日立环球储存科技荷兰有限公司西门子股份公司更多>>; 相关期刊：《光机电信息》《电镀与涂饰》《光学精密机械》《Journal of Semiconductors》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目广东省重大科技专项宁波市自然科学基金更多>>

GaAs基底上制备圆孔阵列光栅及其影响因素研究: 《桂林电子科技大学学报》2024年第3期323-330,共8页石铸全保刚阚强胡放荣; 国家自然科学基金(62065005,62003107);广西自然科学基金(2018GXNSFAA050043,2020GXNSFDA238019,2020GXNSFBA238012)。; 为解决半导体激光器的偏振问题,提出了一种利用泰尔博特位移光刻曝光技术在Ga As衬底上制作周期光栅的方法,并系统研究了工艺参数和抗反射层对制备的周期光栅质量的影响。利用二次光刻工艺和反应离子蚀刻工艺在Ga As衬底上制备圆孔阵列...; 关键词：泰尔伯特位移光刻曝光技术光栅反应离子蚀刻电感耦合等离子蚀刻半导体激光器

TC4钛合金表面Ni-SiC复合电沉积被引量：5: 《电镀与涂饰》2021年第11期834-837,共4页汪建琦刘浩李家柱; 在离子蚀刻预处理及磁控溅射镀过渡镍层之后,在TC4钛合金上制备了结合力良好的镍−碳化硅复合镀层。扫描电镜表征及摩擦磨损测试的结果表明,在镍镀层中均匀分散的碳化硅颗粒可有效提高其耐磨性。; 关键词：钛合金镍碳化硅复合电沉积离子蚀刻磁控溅射形貌摩擦学

装备: 《中国医院建筑与装备》2017年第1期21-,共1页; 澳大利亚科研人员发明纳米贴剂取代注射器近日,澳大利亚昆士兰大学(University of Queensland)的研究人员发明了一种纳米贴剂,为人们接种疫苗提供了一种全新的方法,或许这种方法能够终结长达160年的注射史。它像邮票一样大,表面布满了...; 关键词：血糖监测系统 FDA 贴剂注射器腕带纳米离子蚀刻疫苗菌苗装备

Sub-micrometer-thick and low-loss Ge_(20)Sb_(15)Se_(65) rib waveguides for nonlinear optical devices~: 《Optoelectronics Letters》2015年第3期203-206,共4页李军陈芬沈祥戴世勋徐铁峰聂秋华; supported by the National Natural Science Foundation of China(No.61377061);the Public Project of Zhejiang Province(No.2014C31146);the Young Leaders of the Academic Climbing Project of the Education Department of Zhejiang Province(No.pd2013092);the Natural Science Foundation of Ningbo City(No.2014A610124);the Open Research Fund of the Most Important Specialty "Information and Communication Engineering" of Zhejiang Province(No.XKXL1321);the Magna Fund sponsored by K.C.Wong in Ningbo University of China; We report the fabrication and optical properties of sub-micrometer-thick Ge_(20)Sb_(15)Se_(65)chalcogenide rib waveguides.The radio-frequency(RF)magnetron sputtering method is used to deposit 0.83μm-thick films.A pro...; 关键词：非线性光学器件亚微米波导低损耗肋反应离子蚀刻磁控溅射法光学性质

市场: 《微纳电子技术》2014年第2期138-138,共1页王玲; SPTS科技DRIE模块订单超过1000件 SPTS科技宣布其深反应离子蚀刻（DRIE）模块的订单数量达到了新的里程碑，销量达1000件。该消息在新加坡MEMS论坛上发布，以彰显该国的MEMS市场飞速增长。DRIE是Bosch公司创始人RobertBosch于1994年利...; 关键词：市场 Bosch公司反应离子蚀刻 MEMS 工艺开发商业系统科技新加坡

Reactive ion etching of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer for flexible piezoelectric devices被引量：3: 《Chinese Science Bulletin》2013年第18期2091-2094,共4页JIANG YongGang SHIONO Syohei HAMADA Hiroyuki FUJITA Takayuki ZHANG DeYuan MAENAKA Kazusuke; A microfabrication process for poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)(P(VDF-TrFE)) based flexible piezoelectric devices is proposed using heat controlled spin coating and reactive ion etching(RIE) techniques.Dry ...; 关键词：反应离子蚀刻压电器件三氟乙烯 P(VDF-TrFE) 偏氟乙烯反应性共聚物 SF6气体

光电印制板(OEPCB)制作工艺浅析被引量：4: 《印制电路信息》2013年第7期63-70,共8页纪成光吕红刚陶伟李民善; 简述了光电印制板的工作原理,介绍了光电印制板用光波导材料及聚合物光波导层成型工艺,并简要介绍了光电印制电路板的测试方法。; 关键词：光电印制板光波导反应离子蚀刻数字喷墨打印技术误码率

基于离子蚀刻技术实现石英晶振的频率微调被引量：1: 《苏州市职业大学学报》2011年第3期34-36,共3页陈强; 近年来随着机器的小型化、成本的降低,各石英晶振生产企业不断追求生产效率的提高以及精度的提高.在石英晶振生产过程中,目标频率的微调较大程度影响着石英晶振的精度.应用石英晶振的原理,基于蚀刻技术实现石英晶振的频率微调,从而提高...; 关键词：石英晶振离子蚀刻频率微调

精准的弹跳 El Primerol/10秒跳秒计时码表: 《优品》2010年第12期113-113,共1页; 每小时振动36,000次;每天864,000次;每年315,360,000次……这就是El Primero的频率。一种常规机芯很难保证万无一失的精准的频率,但在真力时制表厂看来确实极为平常的事情。从1969年开创高振频机芯先河以来,真力时一直保持着坚定的信念。; 关键词：跳秒 EL Primerol/10 振频擒纵齿轮啮合可视度时制动力消耗离子蚀刻佩戴者

采用天然氧化物提高MOSFET截止频率: 《半导体信息》2008年第5期23-24,共2页陈裕权; 关键词：截止频率氧化层厚度相控阵雷达 MOCVD 氧化方法栅电极反应离子蚀刻泄漏问题掩模无线通信

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