激光剥离

作品数：55被引量：94H指数：6
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基于激光剥离的SiC晶锭电阻率的在线检测平台
《电子工艺技术》2025年第2期49-51,共3页李晓燕 张志耀 邢夏斌 段云森 
SiC作为第三代半导体材料,生产成本高,所以要求SiC晶锭切出尽可能多的晶片,就对切割工艺提出更高的要求。但是,SiC晶锭不可避免会有“小面”,这将影响晶锭到晶片激光剥离的良率及效率。为此,研究用检测晶锭表面电阻率的方法,把小面区域...
关键词：激光剥离 晶锭电阻率 小面 
基于激光垂直技术的碳化硅晶锭切割工艺研究
《机械工程与自动化》2025年第1期162-164,共3页吕麒鹏 
与传统硅基半导体器件不同,单晶衬底材料占SiC器件成本的50%,SiC材料的高硬度特性导致切割速度慢、晶体与切割线损耗大、加工良品率低,大幅增加了衬底的成本,并影响衬底的产能提升。利用激光技术在晶体内部实现高密度光吸收,发生化学键...
关键词：碳化硅 晶锭切片 激光改质 激光剥离 激光诱导 
地质岩矿稀有金属元素的ICP-MS分析及含量测定研究
《世界有色金属》2024年第24期187-189,共3页余吹儿 黄京柠 蔡雅雯 陈旗标 
地质岩矿样本中稀有金属元素的分析与测定,对于地质学、科研以及技术工程的发展至关重要。本研究旨在探讨地质岩矿中稀有金属元素的具体分析方法,并采用了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行分析与测定。通过结合激光剥离技术的ICP-MS...
关键词：地质岩矿 稀有金属元素 ICP-MS 测定分析 激光剥离 
激光剥离与器械剥离声带白斑的疗效对比研究
《浙江实用医学》2024年第3期186-190,207,共6页景晶 李斌 唐旭霞 
目的 研究对比CO_(2)激光剥离术与器械剥离术治疗声带白斑的疗效。方法 回顾性分析2017年5月~2022年6月在浙江省中医院接受手术治疗的声带白斑患者158例。根据手术方法将患者分为激光剥离组(n=85)和器械剥离组(n=73),比较两组的治疗效...
关键词：声带白斑 CO_(2)激光黏膜剥离术 器械剥离术 
激光剥离EA4T钢车轴涂层研究
《热加工工艺》2024年第8期135-141,共7页杜宏昱 成健 李子文 丰凯 
湖北省自然科学基金项目(2019CFB509);航空科学基金(201818X5002);湖北工业大学高层次人才基金项目(BSQD2019001);装备预先研究基金项目(6141C25)。
对光纤激光器剥离EA4T钢车轴表面涂层进行实验研究,对激光剥离涂层的作用机理进行分析。研究功率密度、扫描速度、填充间距等对剥离质量、效率的影响规律。结果表明,进行两次剥离,第一次功率密度为2.25×10^(6)W/cm^(2)、扫描速度为16 ...
关键词：激光剥离 激光参数 EA4T钢 表面处理 
透明硬脆材料激光剥离关键问题研究(特邀)
《红外与激光工程》2024年第1期17-30,共14页赵树森 何宏智 韩世飞 姜璐 杜家宝 于海娟 林学春 张谷令 
国家重点研发计划项目(2022YFB3605800);国家自然科学基金项目(62225507,U2033211)。
透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,...
关键词：超快激光 硬脆材料 剥离 非线性吸收 缺陷扩展 光场调控 
SiC激光改质剥离工艺材料损耗控制技术被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第3期22-25,共4页张志耀 牛奔 
论述了激光改质剥离技术的基本原理,分析了激光改质加工过程中造成材料损耗的问题,针对性提出了球差校正、温度控制、形位误差综合补偿等方法,有效减小了SiC激光改质剥离工艺过程中的材料损耗。
关键词：SIC衬底 激光剥离 材料损耗 
高成品率和平整度的GaN基Micro LED芯片激光剥离工艺的研究
《人工晶体学报》2023年第5期805-811,共7页岳龙 徐俞 王建峰 徐科 
国家自然科学基金面上项目(62174173)。
使用波长248 nm的准分子激光器实现了GaN基微型发光二极管(Micro LED)的大面积激光剥离(LLO)。分离器件所需要的临界激光能量密度为800~835 mJ·cm^(-2),分离的器件完好无损,分离表面光滑,残余应力为0.0714 GPa,均方根粗糙度仅为0.597 ...
关键词：GAN 微型发光二极管 激光剥离 准分子激光器 成品率 平整度 
Micro-LED蓝宝石衬底AlN上GaN激光剥离研究被引量：2
《激光技术》2023年第1期25-31,共7页张俊 张为国 
为了比较分析纳秒激光和皮秒激光剥离微型发光二极管(micro-LED)时AlN上GaN的热传导效果,采用了改进的实时紫外光吸收和热传导的激光剥离理论模型进行计算分析的方法,取得了在不同的激光波长、激光脉冲宽度、激光能量密度下的紫外波段...
关键词：激光技术 激光剥离 仿真 微型发光二极管 皮秒激光 
SiC单晶材料的激光剥离技术研究进展被引量：6
《电子工艺技术》2022年第4期192-195,222,共5页胡北辰 张志耀 张红梅 牛奔 
SiC具备优异的物理特性,可显著提升微波射频、电力电子等器件的性能与能效,但高昂的衬底成本影响了SiC的广泛应用。除了长晶速度慢、良率低外,晶体加工也是其价格居高不下的重要原因。激光剥离技术结合激光垂直改质与可控晶体剥离,可实...
关键词：SIC 晶体加工 激光垂直改质 可控晶体剥离 
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