关键面积

作品数：11被引量：13H指数：3
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基于版图优化的综合灵敏度模型
《物理学报》2014年第12期431-439,共9页王俊平 戚苏阳 刘士钢 
国家自然科学基金(批准号:61173088;61373172);西安市产业技术创新计划(批准号:CX12485)资助的课题~~
随着集成电路规模的不断扩大和器件特征尺寸的不断缩减,保持和改善集成电路的制造成品率成为优化电路设计和制造工艺研究的热点.为了减少由冗余物缺陷和丢失物缺陷所引起的成品率损失,选择优先优化的线网成为版图优化过程中的一个重要课...
关键词：集成电路 成品率 关键面积 灵敏度 
基于图像处理的版图优化方法
《电子科技》2013年第7期29-32,共4页宁盼 王俊平 张广燕 曹洪花 李锦 李长江 李博 
国家自然科学基金资助项目(61173088);西安市产业技术创新计划基金资助项目(CX1248⑤)
随着集成电路技术进入深亚微米技术节点,提高成品率成为研究热点问题。文中提出了一种基于图像处理的版图优化方法来提高成品率。该方法首先确定两个待优化线网和其可移动空间,再找出两个待优化线网的最佳移动位置,将两个待优化线网移...
关键词：版图优化 图像处理 膨胀算法 关键面积 
一种改进的考虑划痕的关键面积计算模型和方法被引量：1
《电路与系统学报》2013年第2期353-358,共6页叶翼 朱椒娇 张波 史峥 严晓浪 
国家"十一五"高端通用芯片科技重大专项基金资助项目(2008ZX01035-001-06)
关键面积计算对于集成电路成品率的准确预测有着重要的意义。为了得到精确的结果,关键面积计算需要根据缺陷形状的不同选择适当的缺陷模型。针对化学机械研磨引入的划痕,提出了一种线性缺陷模型来计算其关键面积。在此基础上进一步考虑...
关键词：化学机械研磨 划痕 线性缺陷模型 关键面积 成品率 
一种快速计算和优化关键面积提高成品率的方法
《电路与系统学报》2013年第2期371-375,共5页朱椒娇 罗小华 陈利升 叶翼 严晓浪 
成品率驱动设计(DFY)已经成为集成电路设计的必然趋势。基于随机缺陷的DFY设计的主要目标是通过优化版图的关键面积来提高成品率。针对版图局部修改后关键面积的重新计算问题,提出了一种快速计算关键面积的方法,不仅能快速比较各种修改...
关键词：成品率驱动设计(DFY) 关键面积 VORONOI图 
集成电路关键面积研究方法的发展与挑战被引量：4
《微电子学》2009年第5期704-709,共6页张国霞 马佩军 张旭 郝跃 
国家自然科学基金资助项目(60506020);陕西省自然科学基础研究项目(SJ08-ZT13)
关键面积研究方法是集成电路可制造性(DFM)领域的重要研究内容。对主流关键面积研究方法进行了综述与分析,讨论了Monte Carlo方法、多边形算子方法、Voronoi图方法的优缺点;对亚波长光刻阶段关键面积研究面临的挑战进行了分析与探讨。
关键词：集成电路 关键面积 关键面积提取 深亚微米光刻 
65—90nm技术节点的WCA模型和提取算法被引量：4
《物理学报》2009年第6期4267-4273,共7页王俊平 郝跃 
西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200601);西安市科技计划(批准号:CXY08018-1)资助的课题~~
在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降低.为了提升随机成品率,带权关键面积的(WCA)计算和排序是关键.文中基于数学形态学提出了一种随机缺陷轮廓的WCA新模型,该模型不仅考虑了90nm和65nm工艺中缺陷在布...
关键词：缺陷空间分布 缺陷粒径分布 关键面积 版图优化 
基于线性规划的关键面积最小化方法被引量：1
《电子科技》2008年第10期1-4,共4页王强 王俊平 任春丽 
西安AM创新基金资助项目(XA-AM-200601);西安市科技计划资助项目(CXY08018)
随着集成电路(IC)技术的不断发展,尤其在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降。为了提升随机成品率,需要在布线或后布线阶段减小关键面积。文中提出一种基于线性规划降低关键面积的方法,使关键面积在一组...
关键词：关键面积 成品率优化 线性规划 
椭圆缺陷轮廓的成品率估计被引量：2
《西安电子科技大学学报》2006年第3期433-437,共5页王俊平 郝跃 张卓奎 任春丽 李康 方建平 
国家863高科技计划支持研究(2003AA1Z1630)
现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引...
关键词：真实缺陷 椭圆缺陷模型 关键面积 成品率模型 
基于关键面积的冗余集成电路成品率分析被引量：5
《Journal of Semiconductors》2003年第5期544-549,共6页赵天绪 段旭朝 马佩军 郝跃 
国家科技攻关和陕西省教育厅科研计划 ( No.0 2 JK194)资助项目~~
利用关键面积的思想分析了冗余电路的成品率 ,并给出了其计算模型 .实例模拟表明 ,与传统的成品率分析方法相比 ,该模型预测 IC成品率具有更高的精度 .
关键词：关键面积 冗余集成电路 成品率 故障 缺陷 
基于IC互连线开路故障的Y/R模型
《电子学报》2002年第11期1707-1710,共4页赵天绪 郝跃 马佩军 
国家科技攻关项目 (No .96 738 0 1 0 3 1 0 )
在半导体制造业中 ,IC的成品率和可靠性 (Y/R)是倍受关注的两个问题 .研究表明它们之间存在着显著的相关性 .为了表征这种相关性 ,本文从缺陷造成互连线开路的机理出发 ,分析了成品率关键面积和可靠性关键面积 ,提出了IC成品率与可靠性...
关键词：IC 互连线开路故障 Y/R模型 成品率 可靠性 关键面积 半导体制造业 集成电路 
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