云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 轰击

轰击: 作品数：439被引量：524H指数：9; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关作者：王震遐刘艳梅王铁钢王金淑洪义麟更多>>; 相关机构：中国科学院清华大学中国科学院近代物理研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>

离子轰击二次发射电子枪束流引出问题的仿真与实验研究: 《电子显微学报》2024年第3期309-316,共8页谢洋刘莹刘俊标王鹏飞王大正高召顺李亮; 中国科学院科研仪器设备研制项目(Nos.GJJSTD20200004,YJKYYQ20200068).; 为应对电子束荧光技术对电子枪的需求,本文开展了离子轰击二次发射电子枪的研究工作。首先介绍了离子轰击二次发射电子枪的工作原理,将工作过程划分为离子产生及引出、二次电子产生和引出两个部分并展开理论分析;基于辉光放电原理建立...; 关键词：电子枪离子轰击二次电子发射气体放电电子束荧光技术

永磁约束二极管阳极管头轰击现象研究: 《现代应用物理》2023年第4期162-167,共6页谭维兵李小泽李爽杨德文王东阳朱晓欣; 国家自然科学基金资助项目(12175182)。; 针对永磁磁场约束下的二极管中阳极管头处出现的螺旋状轰击痕迹现象,理论研究了电子在轴向引导磁场约束下的空间运动轨迹,指出空间运动轨迹是大回旋运动与小回旋运动的合成。通过进一步3维粒子运动模拟验证了粒子运动过程,并给出了不同...; 关键词：轰击永磁约束阳极二极管

第二十二讲化学气相沉积(CVD)技术: 《真空》2023年第6期87-88,共2页张以忱; (接2023年第5期88页)(1)可大大减轻因高强度离子轰击造成的衬底损伤。如在上述的射频等离子体反应器中,离子能量可达100e V,很容易使那些具有亚微米尺寸的线路特征的器件中的衬底(如砷化锌、磷化铟、碲镉汞等Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半...; 关键词：微波放电等离子体反应器离子轰击离子能量磷化铟射频放电碲镉汞微米尺寸

多晶硅棍状(Stick Particle)缺陷的分析与优化: 《集成电路应用》2023年第9期38-40,共3页胡伟玲; 阐述HK制程多晶硅P1HM步骤后的棍状(stick particle)的缺陷。因腔体作业所需条件,整个腔体侧壁与底部静电吸盘上都附着SICL4+O2生成的SIO2的coating材料,刻蚀过程中可能会有聚合物(polymer)掉落或静电吸盘吸附的晶圆背面掉落到下片导致...; 关键词：射频轰击棍状缺陷静电吸盘 coating材料 De-chuck

HCPEB轰击对热障涂层结构及抗CMAS腐蚀性能的影响被引量：2: 《稀有金属材料与工程》2023年第6期2147-2153,共7页韩志勇李雪晓卢博文严慧羽; 国家自然科学基金(U1933124)。; 利用强流脉冲电子束(HCPEB)对大气等离子喷涂(APS)制备的热障涂层进行表面改性,分别对原始涂层和电子束改性涂层进行1250℃的钙镁铝硅酸盐(CMAS)腐蚀试验,采用XRD、SEM和EDS表征腐蚀前后原始涂层和电子束改性涂层的物相组成、微观结构...; 关键词：CMAS APS 热障涂层 HCPEB

基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟被引量：1: 《太原理工大学学报》2023年第1期48-55,共8页李祥田林海姚晓红林乃明王振霞秦林吴玉程; 国家自然科学基金资助项目(52020105014)。; 轰击离子的产生、输运以及离子对靶材的溅射过程是实现双层辉光等离子渗金属的重要一环。基于辉光放电的理论以及COMSOL Multiphysics软件对典型的双层辉光等离子渗金属装置进行了建模,分析了轰击离子的能量范围,结合经典散射理论和蒙...; 关键词：双层辉光离子渗金属等离子体溅射蒙特卡罗计算机模拟

离子轰击对致密T区结构Cr薄膜残余应力的影响: 《稀有金属材料与工程》2023年第2期737-744,共8页李玉阁赵宜妮屈亚哲冷云杉雷明凯; 国家重点基础研究发展计划(2018YFA0704603);国家自然科学基金(51601029,U21B2078);中央高校基本科研业务费专项资金(DUT19JC52)。; 对于能量沉积技术,离子轰击是独立于晶粒尺寸之外影响残余应力的重要因素,沉积束流能量和通量是决定残余应力演化的关键参数。本研究分别采用高功率调制脉冲磁控溅射(modulated pulsed power magnetron sputtering,MPPMS)和高功率深振...; 关键词：高功率调制脉冲磁控溅射高功率深振荡磁控溅射 Cr薄膜残余应力离子轰击

清洗工艺对GH4099蜂窝夹层结构钎焊性能的影响被引量：1: 《表面技术》2023年第1期372-380,393,共10页马平义陈旭韩兴刘海建石文展彭赫力; 上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1433900);航天八院产学研合作基金项目(USCAST2020-3)。; 目的研究激光清洗和离子轰击对GH4099蜂窝夹层结构钎焊性能的影响,优化GH4099蜂窝夹层结构焊前清洗工艺。方法分别用400#砂纸、不同激光功率(60~200 W)、不同离子轰击时间(1~2 h)对GH4099带材表面进行了砂纸打磨、激光清洗和离子轰击试...; 关键词：GH4099 蜂窝夹层结构激光清洗离子轰击钎焊

极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹: 《光学学报》2022年第19期210-214,共5页李金昱杨高元臧昊峰陈火耀霍同林周洪军鲁拥华刘颖洪义麟付绍军; 国家自然科学基金(11675169)。; 离子轰击固体表面诱导的纳米结构具有小周期(10~100 nm)、大面积、准周期的特点。利用氩离子轰击在减反膜上制备出横向特征尺寸在100 nm附近、横向周期性与纵向连续性逐步明显的准周期纳米波纹结构。为了增大表征面积,利用极紫外散射法...; 关键词：极紫外散射测量同步辐射离子轰击自组织纳米结构准周期

质子轰击钨靶表面时的电子发射产额与靶温度的相关性研究被引量：2: 《原子核物理评论》2022年第2期232-237,共6页曾利霞周贤明梅策香程锐张小安徐忠锋; 国家自然科学基金资助项目(11605147,11375138,11505248);陕西省自然科学基金资助项目(2019JQ-493,2021JQ-812);陕西省教育厅科研计划资助项目(20JK0975,16JK1824);陕西高校青年杰出人才支持计划项目;咸阳师范学院“中青年拔尖人才”项目(XSYBJ202004);咸阳师范学院“学术带头人”项目(XSYXSDT202109);咸阳师范学院专项科研基金资助项目(XSYK19042,XSYK19043);咸阳师范学院校级金课建设项目;咸阳师范学院2020年课程思政示范课项目。; 在中国科学院近代物理研究所兰州重离子加速器国家实验室测量了能量为50~250 keV的质子入射不同温度下钨靶表面的电子发射产额。实验结果发现,不同能量的质子引起的电子发射产额均随着靶温度的升高而降低;利用功函数对温度的依赖性定性...; 关键词：质子电子发射产额阈值速度功函数

轰击