二元光学元件

作品数：147被引量：394H指数：10
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超表面三维彩色全息被引量：1
《光电工程》2017年第1期2-2,共1页Li, Xiong Chen, Lianwei Li, Yang Zhang, Xiaohu Pu, Mingbo Zhao, Zeyu Ma, Xiaoliang Wang, Yanqin Hong, Minghui Luo, Xiangang 
全息光学是近代光学领域的一个重要分支。全息技术充分利用完整的电磁场振幅和位相信息实现对电磁场的重构。近些年来发展起来的计算全息技术通过电磁算法来计算得到包含振幅和位相信息的全息图，在外界光源的照射下可以产生预先设计的...
关键词：彩色全息 三维 计算全息技术 计算全息图 表面 空间光调制器 二元光学元件 位相型 
二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响被引量：8
《光电工程》2011年第9期46-49,54,共5页殷可为 黄智强 林妩媚 邢廷文 
横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明...
关键词：衍射光学元件 二元光学元件 横向误差 衍射效率 标量衍射理论 MATLAB 
基于免疫遗传算法的二元光学元件的位相设计被引量：8
《光电工程》2006年第9期42-47,105,共7页方亮 叶玉堂 吴云峰 陆佳佳 杨先明 成志强 
国家自然科学基金资助项目(60277008);教育部重点科技项目(03147);四川省科技厅资助课题(04GG021-020-01)
在激光诱导扩散中,需要利用二元光学元件对激光器输出的高斯光束进行整形,以实现曝光区的温度分布均匀化。为了得到二元光学元件的位相分布,采用免疫遗传对相位分布进行设计。免疫遗传算法中采取变频率的交叉操作、变异操作,克服了遗传...
关键词：二元光学元件 免疫算法 遗传算法 免疫疫苗 位相设计 
微小激光曝光区域温度分布均匀化整形方法
《光电工程》2006年第4期55-58,共4页王华明 叶玉堂 吴云峰 刘霖 方亮 刘学智 
国家自然科学基金资助项目(60277008);教育部重点项目(03147);四川省科技厅资助项目(04GG021-020-01)
提出了实现光束曝光区温度分布均匀化的方法。该方法主要是充分利用二元光学法和液晶空间光调制的各自优点,并按照设计系统的要求,最大程度避免二元光学法使用不灵活而液晶空间光调制激光能量利用率不高的缺点,实现温度分布均匀化系统...
关键词：温度均匀化 二元光学元件 液晶空间光调制器 
二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法被引量：2
《光电工程》2001年第2期4-6,18,共4页熊木地 张慧敏 肖文礼 邢忠宝 
中国科学院重大设备改造项目
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判...
关键词：二元光学元件 激光直写设备 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制 
半导体激光器列阵二元光学准直器的设计和制作被引量：3
《光电工程》1998年第A12期38-41,共4页周崇喜 邱传凯 郑永超 杨志卿 
阐述了二元光学元件用于半导体激光器列阵准直的新方法 ,并设计制作了二元光学准直器。针对半导体激光器列阵的特点 ,采用综合平衡方法进行设计和制作 ,使其理论衍射效率超过 5 1 %。
关键词：二元光学元件 半导体激光器 准直仪 
ISI-2802激光直写系统简介
《光电工程》1997年第S1期113-113,共1页
ＩＳＩ┐２８０２激光直写系统简介微细加工光学技术国家重点实验室于１９９６年从加拿大引进了国内第一台激光直写系统（又称激光图形发生器），型号为ＩＳＩ－２８０２，生产厂家是ＩｎｔｅｒｔｅｃｈＳｙｓｔｅｍｓＩｎｃ．。１系统...
关键词：激光直写系统 二元光学元件 掩模版 微细加工 国家重点实验室 激光图形发生器 二元光学器件 技术服务 净化水设备 光学技术 
用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件被引量：1
《光电工程》1997年第S1期42-46,共5页张锦 杜春雷 冯伯儒 王永茹 周礼书 侯德胜 郭勇邱 传凯 林大键 
国家863高技术和中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室基金
介绍了利用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件的原理和方法，给出了制作结果。
关键词：离子束光刻 离子腐蚀 二元光学 衍射光学元件 
二元光学元件的耦合波分析被引量：4
《光电工程》1997年第2期18-22,共5页张国平 叶嘉雄 李再光 
基于Ｍａｘｗｅｌ方程组和电磁场的边界连续条件，本文导出了二元光学器件的严格的耦合波方程，指出各级次衍射波之间存在着相互耦合效应。用严格的耦合波衍射理论对二元位相光栅的衍射特性进行了分析，并与标量衍射理论分析的结果作了...
关键词：光学元件 二元光学 耦合波 位相光栅 衍射分析 
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